(优选)新一代工艺及器件仿真工具.
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*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
Sentaurus Process Simulator
22/110
Synopsys Inc.的Sentaurus Process 整合了：
Avanti 公司的TSUPREM系列工艺级仿真工具 （Tsupremⅰ，Tsupremⅱ，Tsupremⅲ只能进行一维仿 真，到了第四代的商业版Tsuprem4能够完成二维模拟）
重装license指令
su - （进入root，密码向机房管理员索取） /opt/sentaurus09/linux/bin/lmdown –c
/opt/license/synopsys.dat (关闭license) /opt/sentaurus09/linux/bin/lmgrd –c
/opt/license/synopsys.dat （安装license） exit (退出root权限)
Sentaurus Workbench介绍与使用
7/110
Getting Started
Creating Projects
Building Multiple Experiments
SWB的工具特征
8/110
Workbench基于集成化架构模式来组织、实施 TCAD仿真项目的设计和运行，为用户提供了图 形化界面，可完成系列化仿真工具软件以及诸 多第三方工具的运行，以参数化形式实现TCAD 项目的优化工程。
TCAD概述
5/110
TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
（优选）新一代工艺及器件仿 真工具
课程内容
2/110
Sentaurus TCAD介绍与概述 Sentaurus Workbench介绍与使用 Sentaurus Process Simulator介绍与使用 Sentaurus Structure Editor介绍与使用 Sentaurus Device Simulator介绍与使用 Sentaurus其他工具介绍
SE 器件绘制以 网格定义
SD 器件特性 仿真
Creating Projects
16/110
Building Multiple Experiments
17/110
Building Multiple Experiments
18/110
Building Multiple Experiments
19/110
Getting Started
10/110
安装在137服务器下 利用putty软件在137中取得端口号：
vncserver –geometry 1280x960
利用VNC软件登陆137服务器
Getting Started
11/110
打开软件指令：source /opt/demo/sentaurus.env GENESISe&
TCAD概述
3/110
什么是 TCAD？
TCAD计算机辅助技术(Technology Computer Aided Design) Process Simulation；Device Simulation
TCAD工具有哪些？
Sentaurus Workbench (SWB) Sentaurus Process (sprocess) Sentaurus Structure Editor (sde) Sentaurus Device (sdevice) Tecplot SV/Inspect
TCAD概述
6/110
TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
Synopsys公司简介
4/110
Synopsys公司总部设在美国加利福尼亚州 Mountain View，有超过60家分公司分布在北美、 欧洲与亚洲。
2002年并购Avant公司后，Synopsys公司成为提供前 后端完整IC设计方案的领先EDA工具供应商。
Sentaurus是Synopsys公司收购瑞士ISE(Integrated Systems Engineering)公司后发布的产品，全面继承 了ISE TCAD,Medici和Tsuprem4的所有特性及优势。
Creating Projects 主菜单
12/110
仿真工具菜单Hale Waihona Puke Baidu
项目编辑环境
Creating Projects
13/110
Creating Projects
14/110
新建文件夹和项目
Creating Projects
15/110
构造仿真流程
SP 工艺仿真
SE 网格策略和 电极定义
SD 器件特性 仿真
SWB的工具特征
9/110
SWB被称为“虚拟的集成电路芯片加工厂” SWB环境科集成Synopsys公司的系列化TCAD仿真
工具，使用户在集成环境下实现TCAD仿真及优 化。
SWB基于现代实验方法学和现代实验设计优化 的建模。用户可根据进程进行实验结果的统计 分析、工艺及器件参数的优化。
SWB支持可视化的流程操作，用户可方便地安 排和检测仿真的动态过程。
Building Multiple Experiments
20/110
Parameter在cmd文件中的定义与使用:
TCAD概述
21/110
TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
Avanti公司的Taurus Process 系列工艺级仿真工具； ISE Integrated Systems Engineering公司的ISE TCAD工艺级
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
Sentaurus Process Simulator
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Synopsys Inc.的Sentaurus Process 整合了：
Avanti 公司的TSUPREM系列工艺级仿真工具 （Tsupremⅰ，Tsupremⅱ，Tsupremⅲ只能进行一维仿 真，到了第四代的商业版Tsuprem4能够完成二维模拟）
重装license指令
su - （进入root，密码向机房管理员索取） /opt/sentaurus09/linux/bin/lmdown –c
/opt/license/synopsys.dat (关闭license) /opt/sentaurus09/linux/bin/lmgrd –c
/opt/license/synopsys.dat （安装license） exit (退出root权限)
Sentaurus Workbench介绍与使用
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Getting Started
Creating Projects
Building Multiple Experiments
SWB的工具特征
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Workbench基于集成化架构模式来组织、实施 TCAD仿真项目的设计和运行，为用户提供了图 形化界面，可完成系列化仿真工具软件以及诸 多第三方工具的运行，以参数化形式实现TCAD 项目的优化工程。
TCAD概述
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TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
（优选）新一代工艺及器件仿 真工具
课程内容
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Sentaurus TCAD介绍与概述 Sentaurus Workbench介绍与使用 Sentaurus Process Simulator介绍与使用 Sentaurus Structure Editor介绍与使用 Sentaurus Device Simulator介绍与使用 Sentaurus其他工具介绍
SE 器件绘制以 网格定义
SD 器件特性 仿真
Creating Projects
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Building Multiple Experiments
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Building Multiple Experiments
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Building Multiple Experiments
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Getting Started
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安装在137服务器下 利用putty软件在137中取得端口号：
vncserver –geometry 1280x960
利用VNC软件登陆137服务器
Getting Started
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打开软件指令：source /opt/demo/sentaurus.env GENESISe&
TCAD概述
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什么是 TCAD？
TCAD计算机辅助技术(Technology Computer Aided Design) Process Simulation；Device Simulation
TCAD工具有哪些？
Sentaurus Workbench (SWB) Sentaurus Process (sprocess) Sentaurus Structure Editor (sde) Sentaurus Device (sdevice) Tecplot SV/Inspect
TCAD概述
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TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
Synopsys公司简介
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Synopsys公司总部设在美国加利福尼亚州 Mountain View，有超过60家分公司分布在北美、 欧洲与亚洲。
2002年并购Avant公司后，Synopsys公司成为提供前 后端完整IC设计方案的领先EDA工具供应商。
Sentaurus是Synopsys公司收购瑞士ISE(Integrated Systems Engineering)公司后发布的产品，全面继承 了ISE TCAD,Medici和Tsuprem4的所有特性及优势。
Creating Projects 主菜单
12/110
仿真工具菜单Hale Waihona Puke Baidu
项目编辑环境
Creating Projects
13/110
Creating Projects
14/110
新建文件夹和项目
Creating Projects
15/110
构造仿真流程
SP 工艺仿真
SE 网格策略和 电极定义
SD 器件特性 仿真
SWB的工具特征
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SWB被称为“虚拟的集成电路芯片加工厂” SWB环境科集成Synopsys公司的系列化TCAD仿真
工具，使用户在集成环境下实现TCAD仿真及优 化。
SWB基于现代实验方法学和现代实验设计优化 的建模。用户可根据进程进行实验结果的统计 分析、工艺及器件参数的优化。
SWB支持可视化的流程操作，用户可方便地安 排和检测仿真的动态过程。
Building Multiple Experiments
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Parameter在cmd文件中的定义与使用:
TCAD概述
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TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
Avanti公司的Taurus Process 系列工艺级仿真工具； ISE Integrated Systems Engineering公司的ISE TCAD工艺级