M2型手持式数字式四探针测试仪简介

M-2型手持式数字式四探针测试仪简介

一、M-2型手持式数字式四探针测试仪

二、概述

M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准。

仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。

主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！

探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可

对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

三、基本技术参数

1. 测量范围、分辨率

电阻：0.010 ～9999Ω, 分辨率0.001 ～1 Ω

电阻率：0.010～2000Ω-cm，分辨率0.001 ～1 Ω-cm 方块电阻：0.050～2000Ω/□分辨率0.001 ～1 Ω/□

2. 材料尺寸

手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定

直径：SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15～130mm。

SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。

长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm。.

测量方位: 轴向、径向均可.

3. 量程划分及误差等级

4) 适配器工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或电池供电

5) 外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm

净重：≤0.5kg