零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法的研究
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法的研究摘要：20世纪60年代初,三坐标测量机(CoordinateMeasuringMachine,简称CMM)首次面市,这是一种精密的高效测量仪器。
三坐标测量级的技术基础是计算机,数控,电子技术的极大发展。
需求来源是由于数控机床以及零件形状复杂化而产生的配套测量设备的需求。
时至今日,三坐标测量机已经由简单的配套设备转变为加工控制设备。
在现如今的航天航空、汽车、机加工等行业中被广泛应用。
已成为现代工业检测和质量控制不可缺少的测量设备。
因此,使用好CMM,使其在生产中发挥其应有的作用,显得至关重要。
测量误差在工程实践中不可避免,让测量人员了解三坐标测量过程中的误差来源及如何消除误差,使测量值更接近于实际值,具有较强的工程实践意义。
关键词：三坐标测量机；测量误差；补偿方法作为精密测量仪器,三坐标测量机在产品设计、加工制造、检测等领域得到广泛的应用与推广。
但在实际的测量过程中,仍然会有测量误差的产生,如测头测针磨损、测量路径选择不当等因素。
因此,分析误差源并采取合适的补偿方法,是提高测量精度行之有效的途径。
1三坐标测量机误差分类根据误差特性的不同,可将误差分为准静态误差和动态误差。
准静态误差是指由于外界因素和自身结构引起的误差,而动态误差引起的原因是多方面的,会随时间变化而变化。
2三坐标测量机误差源分析2.1准静态误差源分析三坐标测量机静态误差的原因是多方面的,如测量环境的温度、湿度、振动、机导向机构的运动、测头磨损,以及测量方法等不确定因素造成的。
2.2动态误差源分析三坐标测量机是一个由机体、驱动部分、控制系统、导轨支承、侧头部分、计算机及软件等组成的整体。
测量速度会随着测量任务的变化而经常性的变化,在测量过程中,会受到较大的惯性力。
由于三坐标测量机的运动部件和导轨是弱刚度性,因此运动部件会在惯性力的作用下产生偏转,测针会偏离正交位置并产生动态误差。
由于三坐标测量机的导轨支承的运动精度会随着三轴的移动速度变化而变化,在此过程中会伴随着测头接触力、测头等效半径和冲击力的变化,导致三坐标测量机的移动速度和逼近距离产生偏差,动态误差随之产生。
纳米三坐标测量机的误差分析与分离
ｒ ｅｔ ｓｒｎｅｆ ｏ ｅｅ ｄｔｅｃｒ ｌｔ ｅａｊｓ ｂｅｔ ｌ ． ｈｃ ａ ｚ ｅｓ ｃｒｎ ｕ ｅ ａ ｔ ｎｏ ｅ ｅ ｃｏ ｌ ｅ ｔ ｅ ｍ ｔ ａ ｏ ｅ ｉ ｄｕｔ ｌ ａ ｅ ｗ ｉ ｒ ｌ ｅｔ ｎ ｈｏ ｏ ｓ ｐ ｒ ｉ ｆ ｌ ｆ ｒａ ｉ ｒｒ ｒ ｎ ｈ ｒ ａｖ ａ ｂ ｈｅｉ ｈ ｙ ｓ ａｏ ｈ ｔ
关 键词 ： 纳米三坐标测量机； 误差源分析； 三光束平面干涉仪； 误差分离 中图分类 号 ：Ｈ ４ Ｔ ７１ 文献标 识码 ： Ａ 文章 编号 ： ７ — ０８２ １）３ ０３ — ５ １ ２ １ （００ ０ — ０６ ０ ６ ９
Ａｎ ｌｓｓ ａ ｄ Ｓ ｐ ｒ ｔｏ ｆＮａ ｏ— ＣＭＭ ｒ ｒ ａ ｙ ｉ ｎ ｅ ａ ａｉ ｎ ｏ ｎ ． Ｅｒｏ
ｒｑ ｉ ｍｅ ｔ ｆ ｈ ｎ ｅ ｕｒ ｅ ｎ ｅ Ｎａ ｏ—Ｃ ｏ ｔ ＭＭ ，ｔ ｅ ｅ ｒ ｒｓ ｐ ｒ ｔ ｇ ｔｏ ａ ｏ ｓｉ ｔ ｄ ｗｉ ｅ ｍｉｒ ｒ ｅ ｌ ｈ ｅ ｍ ｌ ｎ ｒ ｈ ｒｏ ｅ ａ ａｉ ｌ ｓ ｃ ｎ ｔ ｕ ｅ ｔ ｔ ｃｏ ｔ ｅ ｉ ｔ ａ ｐ ａ ａ ｎ ｏ ｗ ｔ ｈ ｈ ｈ ｇ ｂ
第３ ０卷 第 ３ 期 ２１ ０ ０年 ９月
安徽理 工大学 学报 （ 自然科 学版 ）
Ｊｕｎｌ ｆ ｎ ｕ Ｕ ｉ ｒｔ ｆ ｃ ｎｅａｄＴ ｃｎｌｇ（ ａｕａ Ｓｉｎｅ ｏｒａ ｏ ｈｉ ｎ ｅｓｙｏ ｉ ｃ ｎ ｅｈｏｏｙ Ｎ ｔｒ ｅｃ ） Ａ ｖ ｉ Ｓｅ ｌｃ
Ｖ０ ． Ｏ Ｎｏ ３ １３ ． Ｓ ｐ． ０１ ｅ ２ ０
Ｉｓ ｕ ｅｔ ｏ ｉｎｅａｄＯ ｔ — ｌ ｔ ｎｃ ｎｉｅｒ ｇ Ｈ ｆ ｎ ｅ ｉ ｆ ｅｈ ｏ ｇ ， ｅ ｉ ｎ ｕ ２ ００ ， ｈｎ ） ｎｔ ｍ ｎ ｔ ｎＳ ｅｃ ｎ ｐｏ ｅｅ ｒｉ ｓ ｇ ｅｉ ， ｅｅ Ｕ ｖｒ ｔ ｏ ｃｎ ｌ ｙ Ｈ ｆ ｈ ｉ ３０ ９ Ｃ ａ ｒ ａ ｃ ｉ ｃｏ Ｅ ｎ ｎ ｉ ｉ ｓｙ Ｔ ｏ ｅＡ ｉ
纳米领域中常见误差分析与校正方法
纳米领域中常见误差分析与校正方法纳米科技作为当今科技领域的热点之一，其应用范围涵盖了许多领域，如电子器件、材料科学、生物医学等。
然而，由于纳米尺度下的特殊性，常常会伴随着误差的出现，给实验结果的准确性带来挑战。
因此，在纳米领域中，对误差进行分析与校正是非常重要的一环。
一、误差分析方法1. 仪器误差分析：在纳米科技实验中，使用各种仪器和设备进行测量是常见的操作。
然而，仪器本身可能存在固有误差，会引入测量结果中。
因此，对仪器误差进行分析和校正是必要的。
常见的方法如校正曲线法、零偏调整法、平均法等。
2. 标准品误差分析：标准品作为纳米领域中常用的参照物，其误差也会影响到实验结果的准确性。
因此，对标准品误差进行分析和校正是关键。
常见的方法包括与已知参考标准偏差的比对、反演法等。
3. 环境误差分析：纳米科技的实验环境通常对实验结果有一定影响。
而温度、湿度、振动等环境参数的变化都会引起误差。
因此，对环境误差进行分析和校正是必不可少的。
常用方法包括环境控制、实验平台稳定化、退偏计算等。
二、误差校正方法1. 纳米尺度修正方法：由于纳米领域的特殊性，常规的误差校正方法可能不适用。
因此，针对纳米尺度下的误差问题，针对性的修正方法是必要的。
常见的纳米尺度修正方法有扫描隧道显微镜扫描斜率校正法、近场光学显微镜矢量场校正法等。
2. 统计分析修正方法：在纳米领域中，由于实验数据可能存在随机误差，对实验数据进行统计分析是一种常见的校正方法。
例如，使用均值统计分析法、回归分析法等统计方法对数据进行修正和处理。
3. 模型修正方法：在纳米领域中，由于物理模型的简化或者实验条件的限制，可能会引入误差。
因此，基于物理模型的修正方法非常重要。
例如，根据纳米材料的特性，建立数学模型进行误差分析和修正。
4. 多重校正方法：由于纳米尺度下误差可能来源多样，单一的校正方法往往不能完全解决问题。
因此，采用多重校正方法是一种常见的策略。
通过综合运用不同的校正方法，可以提高实验结果的准确性。
三坐标测量机的误差分析及其补偿
收稿日期: 1996- 03- 06 © 1994-2006 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved.
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沈 阳 工 业 学 院 学 报 1997 年
1. 2 三坐标测量机测头位置误差表达式
式 (1) 对坐标平移和旋转的坐标变换可应用到三坐标测量机中各滑台的平移和转动误差 向绝对坐标系的转换.
图 3 坐标系 向坐标系 的变换
图 4 三坐标测量机的坐标变换示意图
在图 1 中的 X 、Y、Z 的滑尺上分别建立三个坐标系 、 、 , 且使三坐标测量机的测头
xp
y=
- ex y + A - M y m - ey y + A -
- ezy + A -
yp
(3)
z
- ex z
- ey z
zm - ezz
zp
式 (3) 中的各误差项均是以绝对坐标系原点为起点, 在单一运动方向上测量的, 其误差评定基
准是理想的坐标轴方向. 因此, 式 (3) 中的误差分量包含三个滑尺运动方向的相互垂直度误差.
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沈 阳 工 业 学 院 学 报 1997 年
x = x m - ex x - ey x - y m Ηx z (5)
y = y m - ex y - ey y
工作台数显装置为光栅尺, 误差测量装置和坐标值检定用双频激光干涉仪. 实验数据如表
2 所示.
表 2 测量数据
从实验中看出补偿后坐标值更接近于坐标检定值, 显示误差分别为 exm = 010479 mm , eym = - 010039 mm , 而补偿后坐标定位误差为 ex = 010038 mm , ey = 010005 mm.
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法的研究
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法的研究摘要：在20世纪60年代初，坐标测量机首次被投放到一个准确高效的市场齿轮坐标测量机这一水平的技术基础是计算机、数控和电子技术的重大发展。
数控设备的复杂形状和部件。
如今，三坐标测量机已成为其加工而设计的简单支撑装置的控制器。
它广泛应用于航空、汽车、工业和民用领域，机械及其他工作在工业界。
得到了现代工业鉴定和质量控制不可缺少的测量设备供使用。
因此，搞好三坐标测量机的使用，使其在生产中发挥应有的作用是非常重要的。
将三坐标测量机过程中的误差来源以及如何修正误差，使测量值更接近实际值，对技术实践具有重要意义。
关键词：三坐标测量机；测量误差；补偿方法三坐标测量机广泛应用于设计、制造、测试等领域。
在现实生活的测量过程中，仍存在着样品探针磨损、测量路径选择等测量误差因素。
因此是提高精度的有效方法，分析了误差来源，介绍了一种合适的补偿方法。
1坐标测量机误差分类根据故障特征的不同，误差可分为准静态误差和动态误差准误差-静态误差是指由外部因素及其结构引起的缺陷，而许多动态误差是由时间变化的因素引起的。
2三坐标测量机误差源分析2.1准静态源分析三坐标测量机的静态故障是由温度、湿度、振动、机床控制机构的运动、磨损和测量方法等多种因素引起的。
2.2.动态误差源分析三坐标测量机由机体、驱动、控制系统、导轨、横向部件、计算机和软件组成。
测量过程产生很大的惯性力。
测量过程将有一条大惯性河但是，因为三坐标测量机的运动部件和控制轨刚度较低，运动部件在惯性作用下运动，测针偏离其正交位置，产生动态缺陷。
由于三坐标测量机控制轨架运动的精度随三轴运动速度的变化而变化，接触力、探头等效半径和冲击力随这一过程的变化而变化，导致运动速度的偏差和三坐标测量机接近度的变化而产生动态误差。
3三坐标测量机的误差补偿方法3.1三坐标测量机温度补偿方法三坐标测量机的温度补偿主要由三部分组成：标准温度下结构参数的标定，实时温度采集系统及误差补偿方案系统。
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法发布时间：2021-01-12T05:24:05.499Z 来源：《中国科技人才》2021年第1期作者：田晓春[导读] 为了更好地对三坐标测量机测量的误差进行分析和研究，所以本文首先主要对三坐标测量机的含义以及测量原理进行了明确，其次，在多方面对三坐标测量机的测量误差展开分析，这样能够有效地提高分析的效果。
中车齐齐哈尔车辆有限公司黑龙江齐齐哈尔 161002摘要：为了更好地对三坐标测量机测量的误差进行分析和研究，所以本文首先主要对三坐标测量机的含义以及测量原理进行了明确，其次，在多方面对三坐标测量机的测量误差展开分析，这样能够有效地提高分析的效果。
与此同时，在对三坐标测量机误测量误差展开分析时，主要从以下三个方面展开：第一是环境温度误差，第二是光栅误差，第三是装配误差，这三方面都能够有效的对测量误差进行分析，并且能够取得较好地效果。
本文还针对三坐标测量机测量误差的补偿方法展开了研究，在研究过程中，主要从两方面开展，第一是温度补偿法，第二式动态误差补偿法。
关键词：三坐标测量；误差分析；补偿1 三坐标测量机的含义及测量原理三坐标测量机是属于当前时代发展背景下的新型高精度的测量仪器，相比传统的测量以及三坐标测量机，能够更加稳定地提高测量的效果，防止出现测量失误，并且能够提高测量的精准程度。
与此同时，本文针对三坐标测量机的测量原理也展开了研究和分析，可以明显地发现，三坐标测量机主要是通过坐标测量的原理来进行实物测量，首先，在生活中寻找需要测量的物体，并且将物体当中的几何元素提取出来，明确几何元素中的具体测量坐标，根据所寻找到的坐标展开集中测量。
在进行测量时，应当按照严格的测量标准来进行，主要测量几何元素的具体尺寸以及形状大小等。
截至目前，三坐标测量机已经逐渐广泛地应用在各大车间的测量过程中，并且取得了较好的效果，突破了传统测量方式的限制，在测量精准程度上做出了很大的提升。
浅析三坐标测量机校准的问题及误差
浅析三坐标测量机校准的问题及误差摘要：随着智能制造的发展，三坐标测量机作为一种精密计量设备，也向着智能化、自动化和高精度、高效率发展，广泛应用于精密电子、航空航天零部件等的几何参数测量。
三坐标测量机的综合测量精度不准确，可能影响零部件的测量结果，进而可能导致零件合格性的误判，造成经济损失甚至安全事故。
因此，需要准确评定三坐标测量机的综合测量精度，从而根据产品公差要求选择相应精度的设备进行测量。
目前，国内外对于三坐标测量机精度的研究主要集中在测量误差分析与补偿，以及在复杂曲面零件测量中的应用。
测量误差主要包括由环境因素、测头磨损引入的静态误差，及由运动轴、余弦误差等引入的动态误差。
通常通过严格控制温湿度、震动等工作环境参数减少静态误差的影响，通过21项误差原理补偿其动态误差。
但是，评价一台三坐标测量机性能是否良好，必须经过专门的校准才能做出结论。
关键词：三坐标测量机；校准问题；误差引言随着近年来我国制造业转型升级的加快，企业对产品质量和测试精度的需求越来越大。
三坐标测量机操作效率高、自动化程度高、兼容性高、测量精度高，是精密测量领域最常用的检测设备，广泛应用于机械加工、设备制造和精密仪器等许多领域。
为了保证三坐标测量机测量的准确性和可追溯性，有必要根据我国现行技术规范JJF1064-2010的相关要求定期标定三坐标测量机。
本文从三坐标测量机的组成和运行入手，根据作者的校准和校准规范的要求分析了校准过程中遇到的问题，并提出了确保高效可靠地完成校准的适当解决方案。
1校准的必要性作为精密计量器具，必须定期对三坐标测量机进行校准，以保证设备的计量性能良好。
三坐标测量机在使用过程中，由于运动轴故障，光栅信号衰弱，测头磨损等原因，测量精度会发生一定的变化。
依据国家校准规范JJF1064—2010《坐标测量机校准规范》，利用标准器分别对三坐标测量机的探测误差、尺寸测量示值误差(以下简称示值误差)、扫描探测误差进行校准，得到准确的设备几何精度。
三坐标测量机的误差分析
三坐标测量机的误差分析三坐标测量机误差分析概述三坐标测量机的静态误差来源主要有：三坐标测量机本⾝的误差，如导向机构的误差（直线、回转）、基准坐标系的变形、测头误差、标准量的误差；与测量条件相关联的各种因素引起的误差，如测量环境的影响（温度、尘埃等）、测量⽅法的影响以及⼀些不确定因素的影响等。
三坐标测量机的误差源纷繁复杂，很难将它们⼀⼀检测分离出来并加以修正，⼀般只修正那些对三坐标测量机精度影响⽐较⼤的误差源和那些⽐较容易分离的误差源。
⽬前研究最多的是三坐标测量机的机构误差。
⽣产实践中使⽤的三坐标测量机绝⼤多数是正交坐标系三坐标测量机，对于⼀般的三坐标测量机⽽⾔，机构误差主要是指直线运动部件误差，包括定位误差、直线度运动误差、⾓运动误差、以及垂直度误差。
三坐标测量机主要误差分析对三坐标测量机精度评定或实施误差修正，要以坐标测量机固有误差的模型为基础，其中，必须给出各误差项的定义，分析，传递及误差合成后的总误差。
所谓的总误差，在三坐标测量机的精度检定中，是指反映坐标测量机精度特性的综合误差，即指⽰精度，重复精度等：在三坐标测量机的误差修正技术中，则是指空间点的⽮量误差。
机构误差分析三坐标测量机的机构特征，导轨对被它引导的部件限制五个⾃由度，测量系统控制运动⽅向上的第六个⾃由度，因此导向部件在空间的位置，由导轨及其所属的测量系统确定。
测头误差分析三坐标测量机的测头分为两种：接触式测头按其结构⼜分为开关式（⼜称触发式或动态发讯式）和扫描式（⼜称⽐例式或静态发讯式）两⼤类。
开关式测头的误差由开关⾏程，测头各向异性，开关⾏程分散性，复位死区等引起。
扫描式测头的误差由测⼒⼀位移关系，位移⼀位移关系，交叉耦合⼲扰等引起。
测头的开关⾏程为测头与⼯件接触⾄测头发讯，测头所偏摆的⼀段距离。
这是测头的系统误差。
测头的各向异性是开关⾏程在各个⽅向上的不⼀致性。
它是系统误差，但通常作随机误差处理。
开关⾏程的分解性指重复测量时开关⾏程的离散程度。
三坐标测量机测量误差来源分析
三坐标测量机在使用中，测量结果与实际值之间的差异称为误差。
真实值是客观存在的。
在某些时空条件下，它是物的真正价值，但很难准确地表达它。
测量值是测量所得的结果。
两者之间总是存在一定的差异，即测量误差。
测量误差的测量方法分为：绝对误差，相对误差和参考误差！测量误差的分类可分为三类：系统误差，随机误差和粗差！三坐标测量机引起严重误差的主要原因今天，主要原因是三坐标测量机产生误差的主要原因，误差指：超出在规定条件下预期的误差，现在从以下5个方面去总结和探讨误差的来源。
一、人为因素1）是否熟悉形状和位置公差？2）是否研究过测量软件参考手册？3）学过培训手册了吗？4）是否多次阅读过坐标测量机工作簿？5）熟悉工件图纸和公差要求吗？6）熟悉测量程序的编程思想？7）是否熟悉测量程序的参数评估原理？二、机器系数1）机器的光栅尺，标准球，探针（针）等不清洁;2）探针（针）未校准；三、工件系数1）待测部件不干净；2）工件定位面不干净；3）工件夹紧不可靠；4）待测工件有加工缺陷；5）工件不在计量室内恒温；四、测量方法1）手动测量粗糙坐标系的参数时，严重偏离真实值；2）测杆与工件干涉；3）测量时触摸或靠在测量机上；4）测量程序对特征参数的评估不正确；5）手动测量时参考选择误差和结构特征不正确；五、环境因素1）环境温度与要求有很大差异；2）温度梯度大；3）湿度大；4）有局部热源或冷源；5）直射阳光机；6）空调风吹动机器；粗大误差的发现A、用于测量更精确的工件：1、测量圆时，评估其圆度。
如果超出公差（大于0.01），则测量的功能不正确；2、测量气缸时，评估其圆柱度。
如果公差大于（大于0.01），则测量的功能不正确；3、测量表面时，评估平整度。
如果差异大于（大于0.03），则测量的功能不正确；4、测量直线时，评估其直线度。
如果超出公差（大于0.01），则测量的功能不正确；5、测量圆圈时，观察其直径。
如果明显超出公差（大于0.10），则测量的功能不正确；B、使用其他测量方法查看测量的特征以确定粗略误差。
浅析三坐标测量机测量同轴度的误差分析
浅析三坐标测量机测量同轴度的误差分析作者：高陈明来源：《科学与财富》2016年第22期摘要：用三坐标机测量同轴度误差是目前常用，且快速、准确的方法之一。
但在实际测量工作中，对长距离孔的同轴度测量，有时会出现测量结果误差大、不真实并且重复性测量差的现象，即测量结果并不能真实反映零件真实的同轴度误差。
因此，在使用三坐标测量同轴度时要考虑到各种影响因素，使用科学合理的测量方法才能使测量结果更准确。
关键词：三坐标测量；同轴度；方法；测量误差前言三坐标测量机是目前测量空间几何量大尺寸的精密测量仪器，广泛应用于各个领域，是现代机械产品质量控制与检测的重要测量设备。
三坐标测量机检测同轴度具有高效率和高精度的特点，然而，在实际测量中，测量方法是影响测量结果的重要因素之一。
如长距离孔的同轴度误差测量看似简单，但决不可掉以轻心，尤其大尺寸长距离零件多是贵重关键件，决不可因似是而非、不准确的测量而轻率发错结论导致重大质量事故。
在零件实际加工测量中，往往会遇见如机床主轴等大型零件及其他一些特殊内孔，这时就无法采用常规方法测量同轴度了。
在这种情况下，往往要借助三坐标测量机（CMM）来完成同轴度的测量任务。
但在借助CMM 测量同轴度时，也会出现测量误差较大、重复性较差的结果。
导致测量同轴度误差的主要影响因素有：基准轴线理解差异、测量同轴度方法不同、评价同轴度方法不同、CMM 采点误差影响等。
针对这些情况，就要借助三坐标测量机快速有效测量零件的同轴度误差。
1.三坐标测量箱体孔同轴度的影响因素根据同轴度的定义，可以明确同轴度公差带，并可知影响测量箱体孔同轴度误差的因素：①被测对象孔的中心线弯曲；②被测对象孔的中心线相对于基准孔轴线产生倾斜；③被测对象孔的轴线位置相对于基准轴线的位置发生偏移。
根据影响箱体孔同轴度误差的主要因素，用CMM 测量同轴度时，可以从 3 个方面考察其测量误差：（1）基准轴线的采集与建立；（2）被测元素轴线的采集与建立；（3）基准轴线与被测元素轴线之间位置关系的评价。
三坐标测量机检测同轴度误差分析
三坐标测量机检测同轴度误差分析刘新宇 郭 会 张增良(华北航天工业学院机械工程系,河北廊坊065000)摘 要:利用三坐标测量机检测同轴度时,往往由于测量方法不当,会出现较大的测量误差。
本文提出几种三坐标测量机检测同轴度方法,来减小或避免同轴度测量误差。
关键词:三坐标测量机;同轴度;测量误差中图分类号:TH161 文献标识码:A 文章编号:1009-2145(2003)02-0006-02收稿日期:2003-03-18作者简介:刘新宇(1963-),男,河北青县人,工程师,从事现代制造技术、机械设计实验教学等工作。
1 引 言同轴度检测是机械加工测量中经常遇到的问题。
通常,检测零件的同轴度是很困难的,零件的精度只有靠设备和加工者的经验保障。
利用三坐标测量机进行同轴度检测,既直观又方便,测量结果精度高,免去了常规方法检测用的检具的设计与制造所需的时间和费用,大幅度的降低了生产成本,缩短了生产周期。
但是在实际测量工作中,由于测量方法不当,可能会出现测量结果误差大等问题。
对此,我们进行了分析研究,并提出了相应的检测方法。
2 同轴度误差的基本含义根据G B/T1182-1996中同轴度误差的定义,同轴度是指被测圆柱面轴线对基准轴线不共轴的程度。
如图1所示。
图1 同轴度公差带根据定位最小包容区的概念用与基准轴线同轴的圆柱面来包容被测圆柱面(孔)的实际轴线,在被测长度内,最小包容圆柱面的直径<f 就是同轴度误差。
其公差带为与基准轴线同轴,直径等于<f 的圆柱体。
3 同轴度测量误差分析与处理方法311 同轴度测量误差分析从同轴度的定义分析不难看出,影响同轴度的主要因素有被测元素与基准元素的圆心位置和轴线方向,特别是轴线方向。
例如我们在基准圆柱上测量两个截面圆,其连线作基准轴。
如图2所示。
在被测圆柱上也测量两个截面圆,构造一条直线,然后计算同轴度。
假设基准上两个截面圆的距离为10mm ,基准第一截面圆与被测圆柱上第一个截面圆之间的距离为100mm ,如果基准圆柱第二截面圆的圆心位置有5μm 的测量误差,这样,测量轴线到达被测圆柱第一个截面圆时已偏离50μm ,此时,即使被测轴线与基准完全同轴,其计算结果也会有100μm 的误差。
纳米三坐标测量机的导轨直线度误差分离实验_李启标
第18卷 第4期2008年7月 黑 龙 江 科 技 学 院 学 报J o u r n a l o f H e i l o n g j i a n g I n s t i t u t e o f S c i e n c e ＆T e c h n o l o g y V o l .18N o .4 J u l y 2008文章编号:1671-0118(2008)04-0281-04纳米三坐标测量机的导轨直线度误差分离实验李启标, 陈晓怀(合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥230009)摘 要:基于误差分离技术,以德国S I O S 公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪S P 2000为高精度的标准量,对正在研制的新型纳米三坐标测量机进行导轨直线度误差分离方案的研究。
设计出具体的误差分离实验装置,并给出详细的实验操作过程。
通过三次样条插值拟合,对实验测得的误差值进行修正。
实验结果证明了所采用的误差分离方法明显提高了纳米三坐标测量机的精度。
关键词:纳米三坐标测量机;直线度误差;误差分离实验 中图分类号:T H 873.7;T P 202.2文献标识码:AS t r a i g h t n e s s e r r o r s e p a r a t i o n e x p e r i m e n t a l o fN a n o c o o r d i n a t e m e a s u r i n g m a c h i n eL I Q i b i a o , C H E NX i a o h u a i(C o l l e g e o f I n s t r u m e n t S c i e n c e a n dO p t o -e l e c t r o n i cE n g i n e e r i n g ,H e f e i U n i v e r s i t y o f T e c h n o l o g y ,H e f e i 230009,C h i n a )A b s t r a c t :T h i s p a p e r m a i n l y i n t r o d u c e s t h e s t u d y o n h i g h a c c u r a c y e r r o r s e p a r a t i o n m e t h o d s .B a s e do n e r r o r s e p a r a t i o n t e c h n i q u e s ,t h e p a p e r h i g h l i g h t s t h e u s e o f t h e m i n i a t u r e t h r e e -b e a ml a s e r i n t e r f e r o m e -t e r w i t h n a n o m e t e r o r d e r a c c u r a c y S P 2000o f t h e S I O S C o r p o r a t i o n o f G e r m a n y i n v e s t i g a t e t h e S t r a i g h t -n e s s e r r o r s e p a r a t i o n m e t h o d s o f t h e b e i n g -d e v e l o p e d n e w t y p e N a n o -C M M ,o f f e r s t h e d e s i g n o f a s p e c i f i c e r r o r s e p a r a t i o n e x p e r i m e n t a l d e v i c e ,a n d g i v e s d e t a i l s o f t h e e x p e r i m e n t a l o p e r a t i o n o f t h e p r o c e s s .T h e c o r r e c t i o n o f t h e e r r o r d a t a o b t a i n e d f r o me x p e r i m e n t s b y t h r e e s p l i n e f i t t i n g s h o w s t h a t t h e e r r o r s e p a r a -t i o n m e t h o d i m p r o v e s t h e N a c o -C M Ma c c u r a c y o b v i o u s l y .K e y w o r d s :N a n o -C M M ;s t r a i g h t n e s s e r r o r ;e r r o r s e p a r a t i o n e x p e r i m e n t a l 收稿日期:2008-04-30 作者简介:李启标(1983-),男,安徽省肥东人,硕士,研究方向:现代仪器精度理论,E -m a i l :l i q i b i a o 84@163.c o m 。
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法三坐标测量机是一项通用性较高的测量设备，在机械、电子领域当中的应用十分广泛，但在实际应用角度上，该测量设备却始终存在测量误差问题，为了应对该设备的误差问题，本文对三坐标测量机测量误差分析及补偿方法进行分析，主要了解该设备误差分类，再提出针对性的误差分析及补偿方法。
标签：三坐标测量机；准静态误差；动态误差；补偿0 引言作为高精度测量设备，三坐标测量机的误差问题一直存在，使得测量结果出现了可靠性不足的问题，那么为了进一步提高该设备的应用价值，有相关学者针对三坐标测量机的各类误差，提出了相对的补偿方法，理论上可以消除各类误差，得到准确的结果。
1 三坐标测量机常见误差类型在相关理论基础上，三坐标测量机的误差类型可以分为两类，即静态误差、动态误差，其中静态误差的特点在于其误差值会始终保持在稳定水平，而动态误差则会随着存在时间的增长而增加，所以在误差补偿角度上，应当先对两种误差进行了解，再选择相应的方法。
下文将介绍三坐标测量机静态误差、动态误差的产生原因以及事例表现。
（1）静态误差。
三坐标测量机的静态误差产生原因一般在于：外部因素对设备结构造成了瞬时性影响，此类影响带来的误差因为影响转瞬即逝，所以不容易发生变化，但这一表现不代表静态误差的影响力不大，因为在通常情况下静态误差的误差值要大于动态误差的初始值，乃至动态误差经过一段时间发展后也无法超过静态误差值，所以应当对静态误差保持重视。
在事例上，在三坐标测量机测量当中，其侧头测针存在磨损现象，此时就会形成静态误差[1]。
（2）动态误差。
三坐标测量机动态误差的产生原因有很多，例如温度、灰尘、人工等外在因素，此类误差在大部分情况下都会随着时间的延长而增加误差值，但在特殊情况下会表现出不稳定的动态化表现。
在事例上，在三坐标测量机测量当中，周边的温度、灰尘会随着时间累积而增长，相应引起的测量误差值也会随之增长，这即为动态误差的常规表现；在人工因素下，介于人工不稳定性的特征，其采点测量速度会不平衡，但具体表现却无法预测，由此就形成了不稳定的动态误差表现[2]。
三坐标测量的误差分析及校正
三坐标测量的误差分析及校正摘要：三坐标测量机的测头是坐标测量机的关键部件，主要用来触测工件表面。
精度是三坐标测量机的一项重要技术指标。
文中系统地对三坐标测量机的误差来源进行分类，针对几何误差总结了现存的检测方法，最后给出了有利于实现低成本精度升级的误差修正方法。
关键词：三坐标测量，误差，修正，精度1. 背景概况三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine，CMM)是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量仪或三次元。
三坐标测量机就是在三个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置，有一个能够放置工件的工作台(大型和巨型不一定有)，测头可以以手动或机动方式轻快地移动到被测点上，由读数设备和数显装置把被测点的坐标值显示出来的一种测量设备。
显然这是最简单、最原始的测量机。
有了这种测量机后，在测量容积里任意一点的坐标值都可通过读数装置和数显装置显示出来。
测量机的采点发讯装置是测头，在沿X、Y、Z三个轴的方向装有光栅尺和读数头。
其测量过程就是当测头接触工件并发出采点信号时，由控制系统去采集当前机床三轴坐标相对于机床原点的坐标值，再由计算机系统对数据进行处理和输出。
因此测量机可以用来测量直接尺寸，也可以获得间接尺寸和形位公差及各种相关关系，也可以实现全面扫描和一定的数据处理功能，为加工提供数据和测量结果。
自动型还可以进行自动测量，实现批量零件的自动检测。
一下是两种三坐标测量机的实图。
2. 关键问题TP是接触式结构三维测头，由测头体、测杆、导线组成。
测头体内部结构如下图所示，这是一个弹簧结构，弹力大小即测力。
由3个小铁棒分别枕放在2个球上，在运动位置上形成6点接触。
在接触工件后产生触发信号，并用于停止测头的运动。
在测杆与工件接触之后，再离开时弹簧把测杆恢复到原始位置。
测球恢复位置精度可达到1um。
TP是接触式测头，其功能是在测尖接触表面的瞬间产生一个触发信号，因此其内部为一微开关电路。
三坐标测量机的误差分析与改进
三坐标测量机的误差分析与改进作者：蒯雪娇来源：《科学与财富》2017年第18期摘要：三坐标测量机机械结构复杂，误差来源多，其中机械结构误差对空间点的测量影响最大，且难以量化。
可通过误差预防和误差补偿来减少测量误差。
误差预防是通过改善测量机的机身结构、改变测头的信号触发机制和测量的过程设计等。
误差补偿是在不改变机床机械结构的基础上，建立机床相应坐标的误差模型，再根据模型对各轴进行校准。
关键词：三坐标测量；误差；预防；补偿1引言三坐标测量机是一种集机械、光学、电子、数控技术和计算机技术为一体的接触式高精度、自动化、多功能测量仪器。
现有的三坐标测量机是通过三个相互垂直运动X轴、Y轴和Z 轴主体，使测量头可以同时在三个坐标方向运动，以通过多个点的坐标来精确探测物件的形状、轮廓等尺寸参数。
目前其不仅能在计算机控制下完成各种复杂测量，而且可以实现对加工的控制，并且还可以根据测量数据，实现反求工程。
为了适应制造业的高精度、高强度的发展趋势，三坐标测量机也在朝着精细化、大型化和高精化发展。
而为保证测量结果的正确性，减少误差的方法主要有：误差预防和误差补偿。
误差预防是通过改善测量机的探头测量误差、三轴导轨的机械间隙、定位误差、光栅尺的分度误差和测量的过程设计等来预防误差的产生。
误差补偿是在不改变机床机械结构的基础上，建立机床相应坐标的误差模型，再根据模型对各轴进行校准。
2误差预防2.1测量机结构改善测量机的机身结构严重影响其测量的精度，例如在运行时产生的噪声、摩擦，严重影响机身的运行速度以及移动的平稳性，从而使测量产生误差。
现有技术中主要通过对各结构部件材料、运动动力源、传动部件等做出改进[1]，如将梁柱材料选用三角梁形式并选用航空铝材料，以使其承受一定载荷并不变形，增加了传动的稳定性、传动精度；传动部件内设置环抱空气轴承，并通过气泵驱动，以改善传动减少摩擦振动，增加了运行速度，提高测量效率。
2.2测头设计三坐标测量机的测头是测量误差的主要来源。
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法
三坐标测量机测量误差分析及补偿方法作者：许朝山来源：《山东工业技术》2019年第14期摘要：三坐标测量机是一项通用性较高的测量设备，在机械、电子领域当中的应用十分广泛，但在实际应用角度上，该测量设备却始终存在测量误差问题，为了应对该设备的误差问题，本文对三坐标测量机测量误差分析及补偿方法进行分析，主要了解该设备误差分类，再提出针对性的误差分析及补偿方法。
关键词：三坐标测量机；准静态误差；动态误差；补偿DOI：10.16640/ki.37-1222/t.2019.14.0380 引言作为高精度测量设备，三坐标测量机的误差问题一直存在，使得测量结果出现了可靠性不足的问题，那么为了进一步提高该设备的应用价值，有相关学者针对三坐标测量机的各类误差，提出了相对的补偿方法，理论上可以消除各类误差，得到准确的结果。
1 三坐标测量机常见误差类型在相关理论基础上，三坐标测量机的误差类型可以分为两类，即静态误差、动态误差，其中静态误差的特点在于其误差值会始终保持在稳定水平，而动态误差则会随着存在时间的增长而增加，所以在误差补偿角度上，应当先对两种误差进行了解，再选择相应的方法。
下文将介绍三坐标测量机静态误差、动态误差的产生原因以及事例表现。
（1）静态误差。
三坐标测量机的静态误差产生原因一般在于：外部因素对设备结构造成了瞬时性影响，此类影响带来的误差因为影响转瞬即逝，所以不容易发生变化，但这一表现不代表静态误差的影响力不大，因为在通常情况下静态误差的误差值要大于动态误差的初始值，乃至动态误差经过一段时间发展后也无法超过静态误差值，所以应当对静态误差保持重视。
在事例上，在三坐标测量机测量当中，其侧头测针存在磨损现象，此时就会形成静态误差[1]。
（2）动态误差。
三坐标测量机动态误差的产生原因有很多，例如温度、灰尘、人工等外在因素，此类误差在大部分情况下都会随着时间的延长而增加误差值，但在特殊情况下会表现出不稳定的动态化表现。
零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析
（ Ｓ ｃ ｈ ｏ ｏ ｌ ｏ ｆ Ｉ ｎ ｓ ｔ ｒ ｕ ｍｅ ｎ ｔ Ｓ ｃ ｉ ｅ ｎ ｃ ｅ ａ ｎ ｄ Ｏ ｐ ｔ ｏ — ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｎ ｉ ｃ Ｅ ｎ ｇ ｉ ｎ ｅ ｅ ｒ ｉ ｎ ｇ， Ｈｅ ｆ ｅ ｉ Ｕｎ ｉ ｖ ｅ ｒ ｓ ｉ ｔ ｙ ｏ ｆ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ，Ｈｅ ｆ ｅ ｉ ２ ３ ０ ０ ０ ９ ，Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ）
零 阿 贝 误 差 的 纳 米 三 坐 标 测 量 机 工 作 台及 误 差 分 析
黄强先 ， 余夫领 宫二敏 ， 王晨晨，费业泰
，
（ 合肥工业大学 仪器科学 与光 电工程学院， 安徽 合肥 ２ ３ ０ ０ ０ ９ ）
摘要 ： 为 避 免 常 规 三 坐标 测 量 机 （ Ｃ ＭＭ ） 中 的 阿 贝误 差 ， 同 时 降低 导 轨 运 动 误 差 对 测 量 机 测 量 不 确 定 度 的影 响 ， 研 制 了 一 种 在 三 维 测 量 方 向 上 同 时 符 合 阿 贝原 则 的 纳 米 Ｃ ＭＭ 工 作 台 。该 工 作 台做 三 维 运 动 ， ｚ导 轨 和 Ｙ导 轨 采 用 共 平 面 结 构 ； 工作 台三维测量系统的测量线正交 于一点且 正交 点与 测头 中心点 重合 ， 向和 Ｙ 向测量 系统的测 量线 与 ｘ ｙ导 轨面共 面 。针 对 本 工 作 台 的 特 点 ， 在参考常规三坐标测 量机误差分析 的基础 上 ， 详 细 分 析 了 该 工 作 台 中各 项 误 差 的 影 响 ， 给 出 了影 响测 量机 不 确 定 度 的主 要 误 差 源 ， 并 对 这 些 误 差 提 出 了修 正 方 法 。 在研 制 的 工 作 台上 对 一 等 量 块 进 行 了实 验 测 试 。
浅谈三坐标测量机测量误差原因及预防措施
浅谈三坐标测量机测量误差原因及预防措施沈丹【摘要】三坐标测量机是一种集计算机技术与自动化控制技术于一体的精密测量仪器，主要用零部件尺寸、形态和相互位里的检测为了保证测量数据的精确性，需要对产生测量误差的原因进行有效的分析，从而取科学的预防措施。
本文将三坐标测量机测量误差的原因归纳为测量方法误差、三坐标测量机设备误差、测量环境误测量人员误差和被测工件身误差五个方面，对这五个方面进行了详细的分析，并提出了具体的预防措施。
【关键词】三坐标测量；方法；措施精度是三坐标测量机的一项重要技术指标。
随着工业生产和科学技术的发展，对三坐标测量机的精度要求也愈来愈高。
研究误差的类型及其对测量数据的影响，掌握误差传递与合成、转化和相互作用的规律，并对其进行修正具有重要意义。
三坐标测量机产生测量误差的原因很多，影响测量精度的差别较大，不易进行比较和评定，所以一般着重讨论机器精度的检测，尤其是几何误差的检测1测量方法误差及预防措施三坐标测量机用于零件和部件的尺寸误差和形位误差的测量，特别对于形位误差测量更显示其高准确度、高效率、测量范围大的优点而形位误差的测量方法种类非常多，如果在测量形位误差时采用的检测原则不对，选用的方法不完善、不严密、不确切，便会造成测量方法误差。
因此，从事三坐标测量机工作的人，一定要熟悉测量方法，特别是对形位误差的五种检测原则和100余种测量方法要非常熟悉，才能减少测量方法误差。
2三坐标测量机设备误差及预防措施任何一种三坐标测量机均存在误差，三坐标测量机的误差归纳为长度测量的示值误差E和探测误差R二类。
其中三坐标测量机长度测量的示值误差E是指用三坐标测量机测量长度实物标准器的两标称平行平面间的法向（与一个面正交）两相对点距离的示值误差，即测得长度与长度实物标准器长度真值之差，以微米计算，并以下列三个表达式的任一式表示：E二A十UKE二A+IJKE二B式中：A一常数项，由三坐标测量机制造厂提供um；L一被测长度，mm；K一无量纲常数，由三坐标测量机制造厂提供；B一E的最大值，由三坐标测量机制造厂提供，um.而探测误差R是指用三坐标测量机测量标准球半径的变化范围而确定的误差，它是一项正值常量误差，其值也是由三坐标测量机制造厂提供"以上两项误差是三坐标测量机自身存在的，是自身集光、机、电、计算机和自动控制等五种误差的综合误差。
三坐标测量机测球直径的校正和误差分析
三坐标测量机测球直径的校正和误差分析摘要：三坐标测量机（CMM）以其测量精度高、稳定性好、操作方便快捷的特点广泛的被应用。
但是在使用三坐标测量机测量有些几何要素时，有时测量准确度不是很高。
文章对坐标测量原理进行简述，重点分析三坐标测量机测球直径的校正与误差。
关键词：三坐标测量机；球直径；误差1坐标测量的原理任何形状都是由空间点组成，所有的几何量测量都可归结为空间点的测量，因此精确进行空间点坐标的采集，是评定任何几何形状的基础。
坐标测量机的基本原理是将被测零件放入它已允许的测量空间，精密地测出被测零件表面的点在空间3个坐标位置的数值，将这些点的坐标数值经过计算机数据处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置误差及其他几何量数据。
用CMM进行零件测量，理论上，测头的球半径应为零，测头和工件接触为测头中心。
得到的数据是测头中心的坐标值，而非测头与被测件接触点的坐标值。
但实际上，测头有一半径，从而需要对测头直径进行校正，即进行测头球心轨迹曲面域和测头半径补偿。
2三坐标测量机测量的主要步骤2.1测头选择测头部分是测量机的重要部件，测头根据其功能有：触发式、扫描式、非接触式（激光、光学）等。
触发式测头是使用最多的一种测头。
一般的测头头部都是由一个杆和测球组成。
最常见的测球的材料是红宝石，因为红宝石是目前已知的最坚硬的材料之一，只有极少的情况不适宜采用红宝石球。
高强度下对铝材料制成的工件进行扫描时，选择氮化硅较好；对铸铁材料工件进行高强度扫描，推荐使用氧化锆球。
为保证一定的测量精度，在对测头的使用上，需要注意：（1）测头长度尽可能短：探针弯曲或偏斜越大，精度将越低。
因此在测量时，尽可能采用短探针。
（2）连接点最少：每次将探针与加长杆连接在一起时，就额外引入了新的潜在弯曲和变形点。
因此在应用过程中，尽可能减少连接的数目。
（3）使测球尽可能大：测球直径较大可削弱被测表面未抛光对精度造成的影响。
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； 修订日期 ： ２ ０ １ ２ １ ２ ０ ４ ２ ０ １ ３ ０ １ ３ ０． 收稿日期 ： － － － － ） 国家 ８ ６ ３ 高技术研究发展计划重点项目 （ Ｎ ｏ ． ２ ０ ０ ８ ＡＡ ０ ４ ２ ４ ０ ９ 基金项目 ：
计量检测：ｗｗｗ．ｃｑｓｔｙｑ．ｃｏｍ
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［ １］
符合阿贝原则 ， 从而大大减少了误差并降低了加 工精度要求 。 在 常 规 ＣＭＭ 误 差 分 析 的 基 础 上 ， 文中对纳米 ＣＭＭ 工作台存在的其他误差进行了 分析 ， 列出影响测量不确定度的误差源 ， 并提出了 相应的修正方法 。
２ ＣＭＭ 工作 台 系统 设 计 及 特点
纳米 ＣＭＭ 整体 结 构 布 局 如 图 １ 所 示 ， 主要 包括花岗石材 料 的 基 座 与 悬 臂 梁 ， ｘ ｚ 三轴的激 ｙ 光干涉仪 、 激光反射镜和压电陶瓷驱动电机 ， 三维 运动工作台 ， 力平衡系统 ， 测头系统等 。 其测量范 激光干涉仪测长 围为 ５ ０ ｍｍ×５ ０ ｍｍ×５ ０ ｍｍ， 分辨率为 １ｎ 驱动电机分辨率可达 ０． 测 ｍ， ３ｎ ｍ， 量系统设计总不确定度 ≤１ ０ ０ｎ ｍ。ＣＭＭ 主框架 由花岗石基座 、 三维运动工作台和安装固定测头 的悬 臂 梁 组 成 。 测 量 时 ， 被测工件被摆放在 由各轴电机驱 ＣＭＭ 中间的 三 维 运 动 工 作 台 上 ， 动工作台移动 ， 并由各轴激光干涉仪通过工作台 上装有的激光反射镜 ， 反射测量信号来感测位移
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） 文章编号 １ ９ ２ ４ Ｘ（ ２ ０ １ ３ ０ ３ ０ ６ ６ ４ ０ ８ ０ ０ ４ － － －
零阿贝误的纳米三坐标测量机工作台及误差分析
黄强先 ，余夫领 ＊ ，宫二敏 ，王晨晨 ，费业泰
（ 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 ， 安徽 合肥 ２ ３ ０ ０ ０ ９）
Ｎ ａ ｎ ｏ ＣＭＭ ｓ ｔ ａ ｅ ｗ ｉ ｔ ｈ ｚ ｅ ｒ ｏ Ａ ｂ ｂ ｅ ｅ ｒ ｒ ｏ ｒ ａ ｎ ｄ ｉ ｔ ｓ ｅ ｒ ｒ ｏ ｒ ａ ｎ ａ ｌ ｓ ｉ ｓ － ｇ ｙ
＊ ， ，ＷＡＮＧ ， ＨＵＡＮＧ Ｑ ｉ ａ ｎ ｘ ｉ ａ ｎ ＹＵ Ｆ ｕ ｌ ｉ ｎ ｉ ｎ Ｃ ｈ ｅ ｎ ｃ ｈ ｅ ｎ Ｆ Ｅ Ｉ Ｙ ｅ ｔ ａ ｉ ＧＯＮＧ Ｅ ｒ － － －ｍ － － ｇ ｇ ，
摘要 ： 为避免常规三坐标测量机 （ 中的阿贝误差 ， 同时降低导轨运动误差对测量机测量不确 定 度 的 影 响 ， 研制了一 ＣＭＭ） 种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米 ＣＭＭ 工作台 。 该工作台做三维运 动 ， ｘ 导 轨 和ｙ 导 轨 采 用 共 平 面 结 构 ； 工作台三维测量系统的测量线正交于一 点 且 正 交 点 与 测 头 中 心 点 重 合 ， ｘ 向 和ｙ 向 测 量 系 统 的 测 量 线 与 ｘ ｙ 导轨面共 面 。 针对本工作台的特点 ， 在参考常规三坐标测量机误差分 析 的 基 础 上 ， 详细分析了该工作台中各项误差的影响， 给出 了影响测量机不确定度的主要误差源 ， 并对这些误差提出了修正方法 。 在研制的工作台上对一等量块进 行 了 实 验 测 试 。 其中台阶高度测量平均值与检定值 台阶高度标准差为 ２ 结 果显示 ， 一等量块工作面的平面度测量标准差为 １ １ｎ ｍ， １ｎ ｍ， 所研制的工作 台 从 结 构 上 避 免 了 ＣＭＭ 中 多 项 误 差 源 的 影 响 ， 尤其是避免了阿 相差 １ｎ ｍ。 理论分析和实验结果表明 ， 贝误差的影响 ， 可用于高精度的三维测量 。 关 键 词： 三 维纳米 工作 台 ； 纳米 三 坐 标 测量 机 ； 阿贝 误差 ； 误差修正 ： ／ 中图分类号 ： Ａ ｄ ｏ ｉ １ ０． ３ ７ ８ ８ Ｏ Ｐ Ｅ． ２ ０ １ ３ ２ １ ０ ３． ０ ６ ６ ４ ＴＨ ７ ２； ＴＨ ７ １ １ 文献标识码 ：