超高分辨场发射透射电子显微镜配套附件

附件：

超高分辨场发射透射电子显微镜配套附件*本包透射电子显微镜配套附件包括CCD成像附件、铍双倾（杆）台、普通单倾（杆）台、能谱仪、波谱仪及相应的附属部件。为保证所有配套附件能用于同一台电子显微镜上，要求必须由电子显微镜厂商打包投标。

1. 工作条件

1.1 电力供应：220V（10%），50Hz，1φ; 380V（10%），50Hz，3φ

1.2 工作温度：15℃-25℃

1.3 工作湿度：< 60%

1.4 安装在200KV的透射电子显微镜或场发射扫描电子显微镜

2．主要功能

本包招标的超高分辨场发射透射电子显微镜的所有配套附件，包括透射电镜CCD相机、铍双倾台、普通单倾台、能谱仪、波谱仪及相应的附属部件，必须能安装在200KV超高分辨场发射透射电子显微镜上并进行联机使用。

3. 技术要求及配置

3.1透射电镜CCD相机

3.1.1 主要功能

透射电镜专用CCD相机是用于拍摄透射电镜显微图像和电子衍射的数字化图像记录设备，其拍摄的图像应拥有高质量的分辨率，并应具备数字化图像处理的功能；且能同时满足材料科学和生物、医学科学研究的要求。

*3.1.2 耦合方式：1:1光纤耦合，HCR技术（高衬度分辨率）；

*31.3 CCD感应器：像素≥2K×2K（400 万像素以上），单像素≤14μm，CCD 实际接受面积≥28.7mm×28.7mm

，底部安装

*3.1.5 相机保护：CCD 机头可自动伸缩，具有可扩充电子能量损失谱仪的接口

3.1.6 闪烁体：标准多晶磷

3.1.7 读取噪音：≤5 counts

3.1.8 读取方式：多通道同时输出（≥4通道）

3.1.9 操作电压：最高可达200kV

读出速度：全分辨率模式≥0.8 帧/秒，4×binning下≥5 fps

Binning功能：1，2，3，4，6，8×

动态范围：≥16bit

冷却方式：半导体制冷，冷却温度为＜-20℃

抗炫功能：有

Digital streaming video 功能：有

* 具备拍摄显微图像和电子衍射的功能

* 拍摄衍射花样的接受角：

单色度正负5电子伏时大于100mrad，

单色度正负10电子伏时大于150mrad

图像采集、处理软件：Digital Micrograph软件包和DIFPac软件包，除基本*.jpg，*.tiff，*bmp等存储格式外，还具有*.dm3 专用存储格式

3.2 透射电镜用铍双倾样品杆

3.2.1 特点：铍材质，用于做EDS分析时，消除常规样品杆Cu形成的EDS 谱中的Cu背底。

*，最大程度的防止样品漂移

3.2.3 倾转角度：≥ ± 35°，≥ ± 30°

3.2.4 装样个数：1个

*3.2.5 从更换样品到可观察时间小于2分钟

*3.2.6 必须是样品杆尾部部位显示倾转角度

3.3 透射电镜用普通单倾样品杆

30°

*3.3.3 从更换样品到可观察时间小于2分钟

3.4 透射电镜用能谱仪

3.4.1 主要功能

X射线能谱仪（EDS）配备在透射电子显微镜上，在观察材料微区结构的同时，能够对材料微区所含成分进行定点、线及面分布的分析，并配备有相关的定性、定量分析软件。(线扫描及面扫描分析需配备STEM扫描透射附件方可实现)

(Li) 晶体探头，超薄窗口，晶体面积30mm2。配标准7.5升杜瓦瓶，带自动液氮水平监视、报警系统

3.4.4 探头分辨率：MnKα: 优于129eV ( 计数率为20000cps 时)

3.4.5 探头自动伸缩保护

3.4.6 出射角和立体角：适合于所选透射电镜

3.4.7 零峰实时修正谱峰，系统安装调试成功后，无需用户进行人工校准

3.4.8 软件界面：导航器界面，操作简便易学

3.4.9 软件语言：中英文界面可以自由切换

，可进行峰形优化、多谱比较、谱相减、谱重构、重叠峰剥离、元素侦察等功能

，无需人工设定和干预

单键即可生成Word, Excel, HTML等多种输出格式

* 能谱仪配置必须能和透射内置式能量过滤器配合使用.

3.5波谱仪

（1）与能谱仪形成一体化系统，用于材料的高精度的成分分析。

*（2）无需改动电镜样品仓原设计；

*（3）不影响场发射电镜离子泵工作。

（4）主要包括：自动聚焦的波谱仪、数据采集单元、波谱分析与谱图处理工具包、样品台自动控制软件、电子束控制系统包、一体化镜筒参数

控制软件、用于WDS定量分析的皮安表等。

，X-射线计数强度对样品表面高度变化±1mm不敏感，无需调整聚焦，不会碰到电镜背散射电子探头，能与之同时工作。

KeV至10.84 KeV

3.5.6 X射线探测器：流气正比计数器和密封正比计数器

3.5.7 样品电流测量计用于测量样品吸收电流（范围从0.01nA到1000nA）

* 100PPM

B 20PPM

C 14PPM

N 130PPM

O 60PPM

*3.5.9 元素检测信噪比P/B：Be 150：1

B 60：1

C 80：1

N 36：1

O 80：1

* 能安装在各种电镜上包括TEM、FESEM和ESEM系统上

* 5个检测晶体

软件

（1）元素扫描: 对用户指定的元素进行扫描，判定其是否存在；所有元素的KLM线系均能标定，包括高次线及卫星峰；

（2）测量扫描: 测量谱峰及背景强度，以数字或图形方式显示;可以定义元素分析的顺序; 可对每个元素预设采集时间或计数来终止数据采集；

（3）定量分析: 未知元素和标样的谱峰及背景计数以cps/nA存储，抵消束流变化对结果的影响，因此无需频繁测量标样；

（4）和能谱一样，采用XPP基体修正技术，可以联合给出定量结果；

（5）可以得到归一化和非归一化结果；

（6）标准化分析: 在定量分析时可以对波谱进行标准化, 用户能建立自己的标样库；

（7）与能谱联用功能；

（8）在能谱的操作界面中就可以轻松设定波谱的参数；

（9）谱的扫描: 在能谱谱图上用鼠标拖动, 就可选择用波谱进行扫描的区域；

（10）波谱设定：在能谱操作界面下即可使用波谱, 实现波谱的点,线,面分析。

（11）用于WDS定量分析的皮安表

* 为配合WDS的方便使用投标电镜厂商必须推荐大的样品室(大于320mm)的场发射电镜系统