长春金属靶材新建项目可行性研究报告

长春金属靶材新建项目可行性研究报告投资分析/实施方案报告摘要说明高纯溅射靶材行业是典型的技术密集型行业，要求业内厂商具有较强的技术研发实力和先进的生产工艺，具有完善的品质控制能力。

其主要技术门槛表现在以下几个方面。

纯度和杂质含量控制是靶材质量最重要的指标。

靶材的纯度对溅射薄膜的性能有很大影响。

若靶材中夹杂物的数量过高，在溅射过程中，易在晶圆上形成微粒，导致互连线短路或断路。

靶材的成分与结构均匀性也是考察靶材质量的关键。

对于复相结构的合金靶材和复合靶材，不仅要求成分的均匀性，还要求组织结构的均匀性。

晶粒晶向控制是产品研发主要攻克的方向。

溅射镀膜的过程中，致密度较小的溅射靶材受轰击时，由于靶材内部孔隙内存在的气体突然释放，造成大尺行业深度研究寸的靶材颗粒或微粒飞溅，或成膜之后膜材受二次电子轰击造成微粒飞溅，这些微粒的出现会降低薄膜品质。

例如在极大规模集成电路制作工艺过程中，每150mm直径硅片所能允许的微粒数必须小于30个。

怎样控制溅射靶材的晶粒，并提高其致密度以解决溅射过程中的微粒飞溅问题是溅射靶材的研发的关键。

靶材溅射时，靶材中的原子最容易沿着密排面方向优先溅射出来，材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大，最终影响下游产品的品质和性能。

需根据靶材的组织结构特点，采用不同的成型方法，进行反复的塑性变形、热处理工艺加以控制。

靶材是溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材。

是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。

该金属靶材项目计划总投资4755.84万元，其中：固定资产投资3413.73万元，占项目总投资的71.78%；流动资金1342.11万元，占项目总投资的28.22%。

本期项目达产年营业收入11546.00万元，总成本费用8886.47万元，税金及附加97.89万元，利润总额2659.53万元，利税总额3124.25万元，税后净利润1994.65万元，达产年纳税总额1129.60万元；达产年投资利润率55.92%，投资利税率65.69%，投资回报率41.94%，全部投资回收期3.88年，提供就业职位191个。

溅射是制备薄膜材朴的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材籵，称为溅射靶材。

溅射工艺属于物理气相沉积（PVD）技术的一种，是制备电子薄膜材料的主要技术之一。

在电子信息产业的发展过程中，金属薄膜的制备十分重要。

溅射工艺利用离子源产生的离子，在真空中加速聚集成高速离子流，轰击固体表面，离子和固体表面的原子发生动能交换，使固体表面的原子离开靶材并沉积在基材表面，从而形成纳米（或微米）薄膜。

被轰击的固体是溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。

靶材质量的好坏对薄膜的性能起着至关重要的决定作用，因此，靶材是溅射过程的关键材料。

长春金属靶材新建项目可行性研究报告目录第一章项目总论第二章市场调研预测第三章主要建设内容与建设方案第五章土建工程第六章公用工程第七章原辅材料供应第八章工艺技术方案第九章项目平面布置第十章环境保护第十一章项目职业安全第十二章项目风险评估分析第十三章项目节能分析第十四章项目进度方案第十五章投资可行性分析第十六章经济收益第十七章项目招投标方案附表1：主要经济指标一览表附表2：土建工程投资一览表附表3：节能分析一览表附表4：项目建设进度一览表附表5：人力资源配置一览表附表6：固定资产投资估算表附表7：流动资金投资估算表附表8：总投资构成估算表附表9：营业收入税金及附加和增值税估算表附表10：折旧及摊销一览表附表11：总成本费用估算一览表附表12：利润及利润分配表附表13：盈利能力分析一览表第一章项目总论一、项目建设背景靶材是溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材。

是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。

高纯度溅射靶材主要应用于电子元器件制造的物理气相沉积（PhysicalVaporDeposition，PVD）工艺。

PVD镀膜目前主要有三种形式，分别是溅射镀膜、蒸发镀膜以及离子镀膜。

为推动国内靶材产业发展，增强产业创新能力和国际竞争力，带动传统产业改造和产品升级换代，我国制定了一系列靶材行业相关支持政策。

靶材行业产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节。

其中，靶材制造和溅射镀膜环节是整个靶材产业链中的关键环节。

靶材产业下游包括半导体、光伏电池、平板显示器等等，其中，半导体芯片行业用的金属靶材，主要种类包括：铜、钽、铝、钛、钴和钨等高纯靶材，以及镍铂、钨钛等合金类的靶材。

铜靶和钽靶通常配合起来使用。

靶材主要应用在平板显示、记录媒体、光伏电池、半导体等领域。

其中，在靶材应用领域中，半导体芯片对靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准，需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品。

半导体芯片行业是金属溅射靶材的主要应用领域之一，也是对靶材的成分、组织和性能要求最高的领域。

目前晶圆的制造正朝着更小的制程方向发展，铜导线工艺的应用量在逐步增大，因此，铜和钽靶材的需求将有望持续增长。

铝靶和钛靶通常配合起来使用。

目前，在汽车电子芯片等需要110nm以上技术节点来保证其稳定性和抗干扰性的领域，仍需大量使用铝、钛靶材。

靶材在半导体材料中占比约为2.5-3%，由于半导体靶材市场与晶圆产量存在直接关系，中国大陆晶圆厂产能占全球比例在15%左右，推算出2019年国内半导体用靶材市场约为10.3亿元。

目前，全球的靶材制造行业，特别是高纯度的靶材市场，呈现寡头垄断格局，主要由几家美日大企业把持，如日本的三井矿业、日矿金属、日本东曹、住友化学、日本爱发科，以及美国霍尼韦尔、普莱克斯等。

目前，国内靶材厂商主要聚焦在低端产品领域，在半导体、平板显示器和太阳能电池等市场还无法与国际巨头全面竞争。

但是，依靠国内的巨大市场潜力和利好的产业政策，以及产品价格优势，它们已经在国内市场占有一定的市场份额，并逐步在个别细分领域抢占了部分国际大厂的市场空间。

近年来，我国政府制定了一系列产业政策，如863计划、02专项基金等来加速溅射靶材供应的本土化进程，推动国产靶材在多个应用领域实现从无到有的跨越。

这些都从国家战略高度扶植并推动着溅射靶材产业的发展壮大。

二、报告编制依据1、《产业结构调整指导目录》。

2、《建设项目经济评价方法与参数》（第三版）。

3、《建设项目经济评价细则》（2010年本）。

4、国家现行和有关政策、法规和标准等。

5、项目承办单位现场勘察及市场调查收集的有关资料。

6、其他有关资料。

三、项目名称长春金属靶材新建项目四、项目承办单位xxx实业发展公司五、项目选址及用地综述（一）项目选址方案项目选址位于某某高新区,地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，建设条件良好。

长春，简称长，古称喜都、茶啊冲、黄龙府，别称北国春城，是吉林省省会、副省级市、长春城市群核心城市，国务院批复确定的中国东北地区中心城市之一和重要的工业基地。

截至2018年，全市下辖7个区、1个县、代管2个县级市，总面积20593.5平方千米，建成区面积519.04平方千米，户籍人口751.3万人，城镇人口441.5万人，城镇化率58.8%。

长春地处中国东北地区，位于东北的地理中心，东北亚经济圈中心城市，分别与松原市、四平市、吉林市和哈尔滨市接壤，是著名的中国老工业基地，是新中国最早的汽车工业基地和电影制作基地，有东方底特律和东方好莱坞之称，同时还是新中国轨道客车、光电技术、应用化学、生物制品等产业发展的摇篮，诞生了著名的中国一汽、长春电影制片厂、长春客车厂、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院长春应用化学研究所、长春生物制品研究所。

长春是国家历史文化名城，曾是伪满洲国首都，具有众多历史古迹、工业遗产和文化遗存，是近代东北亚政治军事冲突完整历程的集中见证地；也是中国四大园林城市之一，享有北国春城的美誉，绿化率居于亚洲大城市前列；还是中国制造2025试点城市、首批全国城市设计试点城市，位列《2018自然指数－科研城市》全球50强、中国10强。

2016年2月，国务院批复设立国家级新区长春新区。

2019年8月，中国海关总署主办的《中国海关》杂志公布了2018年中国外贸百强城市排名，排名第30。

（二）项目用地规模项目总用地面积13466.73平方米（折合约20.19亩），土地综合利用率100.00%；项目建设遵循“合理和集约用地”的原则，按照金属靶材行业生产规范和要求进行科学设计、合理布局，符合规划建设要求。

六、土建工程建设指标项目净用地面积13466.73平方米，建筑物基底占地面积9348.60平方米，总建筑面积14005.40平方米，其中：规划建设主体工程10694.32平方米，项目规划绿化面积1041.71平方米。

七、产品规划方案根据项目建设规划，达产年产品规划设计方案为：金属靶材xxx 单位/年。

综合考xxx实业发展公司企业发展战略、产品市场定位、资金筹措能力、产能发展需要、技术条件、销售渠道和策略、管理经验以及相应配套设备、人员素质以及项目所在地建设条件与运输条件、xxx实业发展公司的投资能力和原辅材料的供应保障能力等诸多因素，项目按照规模化、流水线生产方式布局，本着“循序渐进、量入而出”原则提出产能发展目标。

八、投资估算及经济效益分析（一）项目总投资及资金构成项目预计总投资4755.84万元，其中：固定资产投资3413.73万元，占项目总投资的71.78%；流动资金1342.11万元，占项目总投资的28.22%。

（二）资金筹措该项目现阶段投资均由企业自筹。

（三）项目预期经济效益规划目标项目预期达产年营业收入11546.00万元，总成本费用8886.47万元，税金及附加97.89万元，利润总额2659.53万元，利税总额3124.25万元，税后净利润1994.65万元，达产年纳税总额1129.60万元；达产年投资利润率55.92%，投资利税率65.69%，投资回报率41.94%，全部投资回收期3.88年，提供就业职位191个。

九、项目建设单位基本情况（一）公司概况经过10余年的发展，公司拥有雄厚的技术实力，完善的加工制造手段，丰富的生产经营管理经验和可靠的产品质量保证体系，综合实力进一步增强。

公司将继续提升供应链构建与管理、新技术新工艺新材料应用研发。

集团成立至今，始终坚持以人为本、质量第一、自主创新、持续改进，以技术领先求发展的方针。

公司致力于一个符合现代企业制度要求，具有全球化、市场化竞争力的新型一流企业。