电子级多晶硅的生产工艺

电子级多晶硅的生产工艺

作者：梁骏吾， Liang Junwu

作者单位：中国科学院半导体研究所,北京,100083

刊名：

中国工程科学

英文刊名：ENGINEERING SCIENCE

年，卷(期)：2000,2(12)

被引用次数：29次

1.梁骏吾兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考[期刊论文]-中国工程科学 2000(06)

2.Wacher Sitronic A G Polysilicon production 1995～2003 1995

3.Rogers L O Handbook of semiconductor silicon technology 1990

4.Conventional polysilicon process (Siemens Technology)report[DOE/JPL-954343-21,Nat Tech Inform Center Springfield] 1981

5.Product specification of Wacker-Chemie GmbH,1999,PCA-CH4; 1998,PCA-AE4

6.Union Carbide Corp Final report[DOE/JPL-954334-21] 1981

1.李伟明.李永峰.吴艳光太阳能级多晶硅制备技术与发展方向[期刊论文]-现代化工 2010(7)

2.宗文婷.柯曾鹏氯硅烷加压多效精馏及过程模拟[期刊论文]-化工设计 2010(4)

3.郭志鹏.张云多晶硅生产中还原工序的节能减排探讨[期刊论文]-煤 2010(7)

4.侯彦青.谢刚.陶东平.俞小花.田林.杨妮太阳能级多晶硅生产工艺[期刊论文]-材料导报 2010(13)

5.周齐领.张晓辉电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化[期刊论文]-化工设计 2010(3)

6.陈涵斌.李育亮.印永祥.戴晓雁等离子体还原四氯化硅生产三氯氢硅试验[期刊论文]-氯碱工业 2010(1)

7.宋东明.谢刚.俞小花.李荣兴.侯彦青西门子法生产多晶硅过程中尾气的分离及综合利用[期刊论文]-化学工业与工程 2010(6)

8.伍继君.戴永年.马文会.杨斌.刘大春.王烨.魏奎先冶金级硅氧化精炼提纯制备太阳能级硅研究进展[期刊论文]-真空科学与技术学报 2010(1)

9.黎理.张发云.李玲.付华华.任丽敏.周毓刚.曾玮新余市国家硅材料及光伏应用产业化基地建设的研究[期刊论文]-新余高专学报 2009(6)

10.杨志国多晶硅还原中三氯氢硅几种汽化方式的比较[期刊论文]-科协论坛（下半月） 2009(7)

11.姚敏.袁强辉.刘彦昌.陈万和多晶硅制备方法及太阳能电池发展现状[期刊论文]-宁夏工程技术 2009(2)

12.杨涛改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨[期刊论文]-贵州化工 2009(3)

13.陈涵斌.李育亮.印永祥四氯化硅转化技术的现状与发展趋势[期刊论文]-氯碱工业 2009(4)

14.廖敏氢气纯度对多晶硅产品质量的影响及采取的对策[期刊论文]-四川有色金属 2010(3)

15.苗军舰.丘克强.顾珩.陈少纯西门子体系中SiHCl3和SiCl4的热力学行为[期刊论文]-中国有色金属学报

2008(10)

16.樊舜尧.师文林多晶硅生产技术及发展现状[期刊论文]-新材料产业 2008(10)

17.龙桂花.吴彬.韩松.丘克强太阳能级多晶硅生产技术发展现状及展望[期刊论文]-中国有色金属学报 2008(z1)

18.颜颉颃.彭继霆.周浪.周潘兵.杜国平.苏文华冶金级硅中杂质的表面吸附与去吸附除杂[期刊论文]-南昌大学学

报（理科版） 2008(2)

19.温雅.胡仰栋.单廷亮改良西门子法多晶硅生产中分离工艺的改进[期刊论文]-化学工业与工程 2008(2)

20.冉祎.兰天石.覃攀.戴晓雁.印永祥等离子体还原SiCl4一步法制备多晶硅实验研究[期刊论文]-人工晶体学报2007(4)

21.马晔风.周俊波多晶硅尾气处理与净化工艺研究进展[期刊论文]-氯碱工业 2010(9)

22.胡蕴成.邓良平.刘宜家半导体硅材料与信息化社会的高速发展[期刊论文]-新材料产业 2007(7)

23.李国栋.张秀玲.胡仰栋电子级多晶硅生产工艺的热力学分析[期刊论文]-过程工程学报 2007(3)

24.梁骏吾光伏产业面临多晶硅瓶颈及对策[期刊论文]-科技导报 2006(6)

25.吴亚萍太阳能级多晶硅的冶金制备研究[学位论文]硕士 2006

26.廖勇明.董立军.韩敬东.陈大鹏.叶甜春用SiH2Cl2沉积MEMS中的多晶硅薄膜研究[期刊论文]-电子工业专用设备 2005(1)

27.廖勇明基于多晶硅的红外阵列研制及集成设计[学位论文]硕士 2005

28.柯曾鹏.杨志国.刘欣.宗文婷多晶硅还原炉倒棒原因探讨[期刊论文]-半导体技术 2010(10)

29.闫晓英卧式椭圆形封头贮罐容积的计算[期刊论文]-青海科技 2010(4)

本文链接：/Periodical_zggckx200012006.aspx