(完整版)多晶硅生产工艺学

多晶硅生产工艺学

绪论

一、硅材料的发展概况半导体材料是电子技术的基础，早在十九世纪末，人们就发现了半导体材料，而真正实用还是从二十世纪四十年代开始的，五十年代以后锗为主，由于锗晶体管大量生产、应用，促进了半导体工业的出现，到了六十年代，硅成为主要应用的半导体材料，到七十年代随着激光、发光、微波、红外技术的发展，一些化合物半导体和混晶半导体材料：如砷化镓、硫化镉、碳化硅、镓铝砷的应用有所发展。一些非晶态半导休和有机半导休材料（如萘、蒽、以及金属衍生物等）在一定范围内也有其半导休特性，也开始得到了应用。

半导休材料硅的生产历史是比较年青的，约30 年。美国是从

1949〜1951年从事半导体硅的制取研究和生产的。几年后其产量就翻了几翻，日本、西德、捷克斯洛伐克，丹麦等国家的生产量也相当可观的。

从多晶硅产量来看，就79 年来说，美国产量1620〜1670 吨日本420

〜440 吨。西德700〜800 吨。预计到85 年美国的产量将达到2700 吨、日本1040 吨、西德瓦克化学电子有限公司的产量将达到3000 吨。

我国多晶硅生产比较分散，真正生产由58 年有色金属研究院开始研究，65 年投入生产。从产量来说是由少到多，到七七年产量仅达70〜80吨，预计到85年达到300吨左右。

二、硅的应用半导体材料之所以被广泛利用的原因是：耐高压、硅器件体积小，效率高，寿命长，及可靠性好等优点，为此硅材料越来越多地应用在半导体器件上。硅的用途：

1、作电子整流器和可控硅整流器，用于电气铁道机床，电解食盐，有色金属电解、各种机床的控制部分、汽车等整流设备上，用以代替直流发电机组，水银整流器等设备。

2、硅二极管，用于电气测定仪器，电子计算机装置，微波通讯装置等。

3、晶体管及集成电路，用于各种无线电装置，自动电话交换台，自动控制系统，电视摄相机的接收机，计测仪器髟来代替真空管，在各种无线电设备作为放大器和振荡器。

4、太阳能电池，以单晶硅做成的太阳能电池，可以直接将太阳能转变为电能。

三、提高多晶硅质量的措施和途径：为了满足器件的要求，硅材料的质量好坏，直接关系到晶体管的合格率与电学性能，随着大规模集成电路和MOS 集成电路的发展而获得电路的高可靠性，适应性。因此对半导体材料硅的要求越来越高。

1、提高多晶硅产品质量的措施：在生产过程中，主要矛盾是如何稳定产品的质

量问题，搞好工艺卫生是一项最重要的操作技术，在生产实践中要树立

“超纯” 观念，养成严格的工艺卫生操作习惯，注意操作者，操作环境及设备材料等方面夺产品的污染和影响，操作环境最好有洁净室。洁净室一般分为三级，它是以0。5U 以上和5U 以下的粒子在单位容积中的个数来分级的。

a 、100 级，平均每单位体积（立方英尺）（1 英尺=30。48

cm）中以0。5U以上大小粒子，不超过100个，5U以上的粒子全部没有。

b 、10000 级：平均单位体积（立方英尺）中，0。5U 以上的

大小粒子个数不超过10000个，5U 以上的粒子在65个以小。

c 、100000 级：平均单位体积中0。5U 以上的大小粒子不超

过100000 个，5U 以上的粒子在700 个以小。

2、提高原料纯度：决定产品质量的因素很多，其中原料，中间化合物如硅铁、液氯、氢气、三氯氢硅等的杂质的存在，对产品的质量好坏是起决定性的因素。（原料纯度越高，在制备过程中尽量减少沾污，就能制得高质量的多品硅。）因此，在制备过程中尽量减少杂质的沾污，提高原料有纯度。

3、强化精馏效果：在工业生产中，原料的提纯几乎成为提高产品纯度的唯一手段。精馏法是化学提纯领域的重点，如何提高精馏效果和改进精馏设备，乃是精馏提纯的中心课题，近年来发展了加压精馏，固体吸附等化学提纯方法。

采用加压精馏右明显降低三氯氢硅中磷的含量、络合提纯效果明显，鉴于络合剂的提纯及经济效果尚未很好的解决，因此至今未能投入大规模生产之中。

在改进精馏设备方面，国内外也作了相当研究，为了强化汽、液传热、传质的效果，采用高效率的塔板结构如浮动塔板，柱孔式塔板的精馏塔等。为了减

少设备材质对产品的沾污，采用含钼低磷不锈钢塔内壁喷涂或内衬F4〜6及氟塑料材质，最近我国以采用了耐腐蚀性能更好的镍基合金，来提高产品质量。4、氢还原过程的改进及发展趋势：

在三氯氢硅氢还原中，用优质多晶硅细棒作沉积硅的载体，这对提高多晶硅的质量有很重要的作用。

采用钯管或钯膜净化器获得高纯氢，除去其中的水和其它有害杂质，降低多晶硅中氧含量和其它杂质含量。

为了防止在还原过程中引进杂质而沾污产品，采用含钼低磷不锈钢或镍基合金不锈钢，或炉内设置石英钟罩来防止不锈钢对产品的沾污。

5、加强分析手段提高分析灵敏度：

为了保证多晶桂的质量，就必须要保证原料的纯度，就得要加强化学、物理的分析检测，一般采用光普、极普、质普和气相色普等分析手段进行检测。随着原料纯度的提高，分析检测的灵敏度也要相应地提高。

如何了解高纯物质的纯度呢？高纯物质的纯度常用主体物质占总物料的重量的百分数来表示。如99。999%的高纯三氯氢硅，

就是每单位重量物质中占三氯氢硅99。999%，在分析过程中，是

从物料中取出小量的物料来测定其中的杂质含量，因此高纯物质的纯度可用下式来表示：纯度=试料重量－杂质的重量/试料重量

X100%

在分析中，同一物质硅中若要求分析的杂质越多，相对分析检出来的杂质

元素越少，其纯度就越高。表示纯度的方法形式不外乎下列几种：

a 、重量百分含量：

纯度=（体积X比重-杂质重量）/体积x比重X100%

b、ppm=10-4%=1/1000000（可以是重量比也可以是体积比）百

万分之一。

c、ppb=10-7%=1/1000000000（十亿万分之一）

d、ppba 是用杂质原子数与主体原子数的比来表示纯度的。

四、硅的物理化学性质；

1 、硅的物理性质：硅是周期表中的四族元素，在自然界中含量非常丰富，仅次于氧而居二位。由于硅氧键很稳定，在自然界中硅无自由状态，主要以SiO

2 及硅酸盐的形式存在。

硅有结晶型和无定型两种，结晶硅是一种有灰色金属光泽的晶体，与金刚石具有类似的晶格，性质硬而脆，有微弱的导电性，