重 高光效图形化蓝宝石衬底氮化铝(AlN)缓

重20160489 高光效图形化蓝宝石衬底氮化铝（AlN）缓

冲层材料制备关键技术研发

一、领域：无机非金属材料

二、主要研发内容

（一）图形化蓝宝石衬底AlN缓冲层材料晶体生长技术与性能研发；

（二）AlN缓冲层材料制备过程工艺研发；

（三）图形化蓝宝石AlN缓冲层材料关键性能研究。

三、项目考核指标（项目执行期内）

（一）经济指标：实现5000万元以上的销售收入。

（二）学术指标：发表学术论文≥2篇，申请发明专利

≥2件。

（三）技术指标

1. (002)方向择优取向生长，(002)双晶摆动曲线半高峰宽小于0.080度；

2. AlN缓冲层材料缺陷密度≤5×10^8/cm^2；

3. AlN缓冲层材料表面粗糙度≤2.0 nm；

4. 采用本项目图形化蓝宝石AlN缓冲层模版材料生长的外延层的缺陷密度≤5×10^8/cm^2。

四、项目实施期限：二年

五、资助金额：不超过400万元