扩散工艺流程

• • •
•
进舟标准作业
• 注意事项 • 严禁擅自更改扩散炉各种工艺参数和舟速 • 上下炉内的浆不能同时进出，防止交叉污 染。 • 保持石英叉的洁净，不允许用手触摸石英 管套。上下班均需用沾有异丙醇的干净的 无尘布擦拭。
下片标准作业
下片标准作业
• 扩散结束后，关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用 舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下一轮扩散。 • 出舟时注意浆上有无偏磷酸液体，如有要及时清除，避免污染设备和 危害人员安全。取舟时要等浆停稳了之后再取，先取前舟，再取后舟， 不要将舟靠身体太近避免烫伤和被热气灼伤。挑出的舟要放到相应的 石英凳上，前舟放靠里的石英凳，后舟放靠外的石英凳 • 如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽量缩短臂桨暴露在空气 中的时间。 （小于20分钟）。 • 进出炉在确保安全的基础上尽量提高挑舟进炉和出炉的速度 • 为防止操作台区域的偏磷酸聚集滴落到下方的运行的舟和硅片上，每 班至少清理两次该区域产生的偏磷酸液体。
扩散炉开关机作业
• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • 1.开机操作 开机操作 1.1开机前检查确认内容： 1.1.1 检查电源。打开电控柜电源开关。确定整机上电正常，电源指示灯亮。 1.1.2 检查气源。确定氧气、压缩空气、氮气的压力为 0.4-0.6MPa。 1.1.3 检查排气系统。检查各风口排风应有风吸出。 1.1.4 检查水源。确定冷却水进出水阀应在打开状态。 1.1.5 检查源瓶。确认源瓶上的进气出气阀门已打开，各接口连接正常。 1.1.6 检查BV100恒温水槽。确定温度正常。如需开关机，按开关机按钮3秒以上。 1.1.7 检查急停按扭。确定按扭正常。 1.2其它检查内容： 1.2.1 检查净化台。应干净，无废液，无其它物品。 1.2.2 检查接液槽。各面应干净，无废液。 1.2.3 检查气源柜。各面应干净，无废液。 1.2.4 检查BV100水槽。水面正常，水中无杂物。 1.3开启监控系统： 1.3.1 启动计算机。按下电控柜面板上的“上电”按钮 。 1.3.2 启动扩散炉监控系统。双击屏幕上“扩散炉监控系统” 图标，输入密码登陆监 控系统软件。 1.3.3 启动加热。按加热按钮前先将温度设定为0才可操作。 1.3.4 当加热按钮按下后加热指示灯亮时，开机完成。
质检标准作业
质检标准作业
质检标准作业
• 从扩散完毕的两舟硅片中从炉尾方向向炉口方向按第5片、中间片、第3片（前舟）， 第3片、中间片、第五片（后舟）的顺序抽取测试片放入花篮中，六片均匀分布，先取 前舟（炉尾），再取后舟（炉口） 测试片放入篮内注意方向是否正确，硅片的正面（扩散面）朝向花篮的圆孔方向。 四探针方阻测试仪：测量电阻之前要调试仪器（电流为4532mA）,测量时要注意取片 的操作方式，一手拿镊子将硅片放在测试台上，另一只手拿镊子固定硅片的位置，测 试硅片时注意探针压硅片的程度要适中，读完数据后将硅片的一角滑出测试台，以免 压碎。 少子寿命测试仪：测量电阻时要注意取片的操作方式，一手拿镊子将硅片放在测试台 上，另一只手拿镊子固定硅片的位置，测试硅片时注意放置硅片位置要适中，按照 Recorder-Autosetting-Runtime-New的顺序来测试，完成后将硅片的一角滑出测试台， 并记录数据。 各班每天接班时必须用无尘布蘸取乙醇或异丙醇拭擦少子寿命测试仪、四探针方阻测 试仪和电脑。
换源标准作业
换源标准作业
换源标准作业
• • 领取源瓶规定实行“五双”的方式，即：双人领取、双人检查、双人运输、双人更换、双人处理的 原则，确保整个换源过程的安全性，领取源瓶时要注意发现源箱上有无经过质检部检查后张贴的红 标签，如有标签则说明该源合格可以使用，如果没有标签则禁止使用。 2、在检查新源瓶以前要对源瓶包装箱的外表面进行彻底打扫，确保进入车间的源箱表面灰尘少不 会对车间洁净度形成太大影响；打开源箱，将源瓶上部的保护垫拿开，将源瓶带外部透明塑料包装 轻轻从箱中拿出，将源瓶放在平稳的地方，拆开源瓶外包装塑料袋；左手托住源瓶底部，右手轻握 源瓶上部，观察源瓶的外表看瓶身是否有外观缺陷，如裂纹等，包装内是否有液滴，如存在以上现 象则源瓶不能使用 3、用PH试纸对源瓶所有的接口和接头螺母、开关阀门进行检测，看是否存在蒸汽泄漏现象，如果 试纸呈红色酸性则为漏源应该把源瓶立刻封箱退回，如正常则继续进行。打开源箱，将源瓶取出平 稳的放在换源操作台上，去掉瓶外包装对源瓶各个螺母、阀门进行外观复检。用PH试纸测试源瓶 各个接头螺母和阀门，对之进行测试性复检，如正常暂时搁置，开始拆卸旧源瓶。 4、旧源的拆卸：按照顺时针方向，先关闭源瓶进气口阀门（接口部分较细），再关闭出气口阀门 （接口部分较粗），拆下源瓶与导气管各个进出气口接头。断开源瓶与气管的接头，将导气管的两 个气管接头暂时用手套包住，防止气管接头污染。将源瓶从恒温槽内慢慢的取出，把瓶身外表的水 用无尘纸擦拭去，然后将瓶放入原来新源包装袋中装入箱子。 5、新源安装：左手握住源瓶接头部分，右手托住源瓶底部，将瓶搬到恒温槽，瓶底暂时放在槽上 右手也握住瓶另一接头部分，将源瓶慢慢放入槽内，将源瓶进出气阀门与炉子导气管阀门对应连接 起来，导气管细管与源瓶进气管连接，导气管粗管与源瓶出气管对应连接。用换源专用扳手将连接 好的接头上紧，同时将源瓶阀门下的螺母按照逆时针方向轻度旋转一圈，注意力度。 6、连接完毕后按照先开出气阀门后开进气阀门的原则依次打开源瓶气体阀门，并用PH试纸对各个 接头阀门、螺母进行检测确认源瓶密封性是否良好，并察看通源工艺运行情况。 7、如通源状况确认正常后对更换的源瓶进行记录，并将装箱后的旧源瓶放入化学通道内作处理。 8、脱去防护用品并将防护用品张挂于专门的区域内，对于出现损坏的用品要做及时的处理，不可 再使用。
扩散工艺操作规范
多晶扩散目的：形成P-N结 制造一个PN结并不是把两块不同类 型（p型和n型）的半导体接触在以 起就能形成的。 必须使一块完整的半导体晶体的一 部分是P型区域，另一部分是N型区 域。 也就是在晶体内部实现P型和N型半 导体的接触 。
扩散间洁净度、温度、 扩散间洁净度、温度、湿度
• • 洁净度： 洁净度：千级净化间，净化插片台(净化度：100级)、净化保护柜（净化度:100级） 温度：23±2℃ 湿度：<50% 温度： ± ℃ 湿度：
多晶扩散流程图
下料 插片 上片 扩散 下片 质检 卸片 转入镀膜工序 异常处理
下料标准作业
插片标准作业
• • • • • • • • • • 先把空舟上挡片分别放到舟的挡片位置（处于舟的两边的第一个槽）。 双手把载满片子的载片篮搬到舟的下位（舟和操作员之间的空位上）。 用真空吸笔将片子插入石英舟中。装舟时要从左边一直装到右边。 装好一舟后放到相应的空位置，装好的另一舟也要和第一舟一样放到 一起，摆放整齐。等待进炉。 记录流程单，并把相关信息记录到装舟记录单上。 注意事项： 注意事项： 在装片时，注意硅片绒面状况，尽量将绒面好的一面做为扩散面，尽 量将蹦边、缺角和小裂纹片装入石英舟中。 禁止单手搬载片篮，防治因载片篮过重而摔片。 以3°的倾斜角轻轻插入舟槽内，注意要插到舟的底部，尽量防止与 舟杠磕碰；注意任何物体均不可从舟上过，防止污染 装好每一组硅片时都要摆放整齐，注意核对硅片数目。
• •
•
•
卸片标准作业
卸片标准作业
wenku.baidu.com
卸片标准作业
• 卸片时, 卸舟人员一定要戴PVC手套,袖子也要用皮筋扎住,防止污染硅 片.先把之前质检人员取测试片时留下的6片单片取出，放在最下面， 注意扩散面朝向。在卸片之前要检查片子是否有破裂等异常现象。 • 硅片放在卸片台上要摆放整齐。在卸片过程中如发现烧焦、清洗不净 等异常片要取出放一边，记清片子所处的舟中位置并立即通知工艺人 员。 • 等卸完一舟后，将硅片从卸片台上取下，并整理整齐后，放入到硅片 盒中。 • 将装好、整理好的片夹连同流程单一并通过传递窗传到刻蚀处，流程 单上要填好下传的硅片数目。 • 注意事项 • 卸舟的镊子不能与其它岗位混用，防止交叉污染。不要解触除镊子头。 • 注意挡片不要取。
扩散炉开关机作业
• 关机操作 • 2.1 关机前检查确认内容： • 2.1.1 关闭加热。按加热停止按钮前先将温度设定为0时 方可关闭加热停止按钮。 • 2.1.2 关闭扩散炉监控系统。双击屏幕上“扩散炉监控系 统” 图标，输入密码登陆监控系统软件。 • 2.1.3 关闭计算机。按下"计算机关机"按钮。 • 2.1.4 关闭控制电源。按下电控柜面板上的“关机”按钮, 即关闭该炉管的控制电源。 • 2.1.5 关闭BV100恒温水槽。按关机按钮3秒以上。 • 2.1.6 关闭电控柜电源开关。 • 2.1.7 关闭冷却水。当炉温度降至50度以下，方可关闭冷 却水水阀。
•
•
•
• • •
进舟标准作业
进舟标准作业
• • 硅片进炉时首先要检查舟内硅片摆放有无错槽现象；然后用舟叉挑舟进炉。 挑石英舟时双手握紧叉柄，轻轻对准舟两端的小孔，注意不要触碰到硅片； 当舟叉三分之二插进舟内时轻轻抬起石英舟，舟的前端（远离身体的一端） 微翘，与地面形成小角度倾角，在挑舟过程中要注意脚下和四周行人，避免 发生碰撞。到达炉边轻轻将是石英舟放在浆上，放稳之后把舟叉缓慢的从小 孔中拔出，不要两个同时拔出，一个舟叉先扶着舟另一个往外拔，然后再拔 第二个。如遇困难不能拔出，切勿硬拔，可以一边轻轻地旋转一边往外拔。 前舟（炉尾）放稳之后再用相同的方法挑后舟（炉口）。两个舟都放稳之后 检查舟是否在恒温区内（前轴尽量靠近匀流板）。 监督扩散炉是否运行正常，包括运行过程中的工艺参数和运行时间是否正常 以及设备有无报警，并在记录本上记录炉管运行工艺时的各个气体流量。 出舟时注意浆上有无偏磷酸液体，如有要及时清除，避免污染设备和危害人 员安全。取舟时要等浆停稳了之后再取，先取后舟（炉口），再取前舟（炉 尾），不要将舟靠身体太近避免烫伤和被热气灼伤。挑出的舟要放到相应的 石英凳上，前舟放靠里的石英凳，后舟放靠外的石英凳。 进出炉在确保安全的基础上尽量提高挑舟进炉和出炉的速度，减少浆在外面 停留时间。为防止操作台区域的偏磷酸聚集滴落到下方的运行的舟和硅片上， 每班至少清理两次该区域产生的偏磷酸液体。