尘埃粒子记录
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房间名称
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0.5μm
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判定
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1
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1
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点均值
尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
检测结果
0.5μm
5.0μm
结果
判定
点1
点2
Ucl值
点1
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Ucl值
1
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1
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1
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1
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点均值
尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
检测结果
0.5μm
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3
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尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
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0.5μm
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判定
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尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
检测结果
0.5μm
5.0μm
结果
判定
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Ucl值
点1
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5.Biblioteka Baiduμm
结果
判定
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点1
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结论：
确认人：日期：年月日
复核人：日期：年月日
采样
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结果
判定
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点1
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尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
检测结果
0.5μm
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判定
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点1
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尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
检测结果
0.5μm
5.0μm
3
点均值
尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
检测结果
0.5μm
结果
判定
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点1
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尘埃粒子洁净度检测记录
车间名称
区域
检测标准
A：≥0.5µm，≤3520个/m3，≥5µm尘粒数≤20个/m3
C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
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C:≥0.5μm,≤352000个/m3;≥5.0μm,≤2900个/m3
D:≥0.5μm,≤3520000个/m3;≥5.0μm,≤29000个/m3
房间名称
采样
次数
检测结果
0.5μm
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结果
判定
点1
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5.Biblioteka Baiduμm
结果
判定
点1
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结论：
确认人：日期：年月日
复核人：日期：年月日