光学零件工艺学共80页文档
第二篇光学零件加工工艺设计
第四章光学零件加工工艺设计工艺规程是光学零件加工的主要技术资料，也是组织生产不可缺少的技术依据，合理的加工工艺规程不但能保证加工质量，提高加工效率，而且也能反映出当前的生产情况和工艺水平。
一、工艺设计的基本原则要想编出合理的工艺规程，必须掌握光学零件制造特点，考虑现有生产条件，并尽可能采用新技术、新工艺，。
设计工艺规程的基本原则是：在一定条件下，如何保证以最低的成本和最高的效率来达到零件图上的全部尺寸、形状、位置精度、表面质量和其他技术要求。
目前我司围绕光学透镜玻璃的加工，在厂房建设上、设备选型上、工艺布局上以主要采用高效透镜单片加工作为公司生产组织的工艺定位。
（结合实际情况部分零件又采用多片加工工艺），其主要加工流程如下：（增加工艺流程）二、工艺设计的步骤（一）、全面了解和研究原始资料光学零件图、技术条件、生产纲领、设备性能等是工艺设计必须具备的原始资料，也是工艺设计的基本依据，必须对其进行细致地分析和全面地的研究。
（二）、确定生产类型、毛坯种类和加工方法根据生产纲领的大小，光学零件生产类型分为小量（包括试制）、成批和大量生产3 种，对于大批量生产应尽可能采用压型毛坯和采用粗磨铣削、高速精磨、高速抛光、自动定心磨边等高效的加工方法，对于单件试制，采用块料毛坯并尽量采用公司现有的加工方法。
（三）确定加工顺序根据毛坯种类、零件的尺寸和形状、图面的技术要求等确定加工顺序，进而制定出零件在各工序加工中应达到的尺寸、形状、加工精度、表面质量等技术要求及操作注意事项。
一般情况加工顺序的确定可参考以下原则：1、铣磨：a、先加工区率半径较小的面b、先加工凹面2、精磨、抛光：a平面先于球面b、凹面先于凸面c、曲率半径大的面先于曲率半径小的面d、外观要求低的面先加工3、磨边：一般情况下先铣磨、精磨、抛光后磨边、镀膜，在零件材质化学稳定性较差、边缘较薄而偏心要求又不高的情况下可考虑先铣磨、精磨、磨边后抛光、镀膜。
4、镀膜：一般情况下先磨边后镀膜，在零件材质化学稳定性较差或度膜有效范围要求较高（接近磨边完工直径）时可考虑先镀膜后磨边。
光学零件加工(总)
②高度透明：
③高度均匀性：各点各处的光学常数和其它一些物理化学性质
一致
精品
第一章 光学材料
（二）光学玻璃的种类 按主要组成成份分： 以SiO2为主要成分的光学玻璃,称之为硅酸盐玻璃；占95% 以B2O3为主要成分的光学玻璃, 称之为硼酸盐玻璃； 以P2O5为主要成分的光学玻璃,称之为磷酸盐玻璃。 硅酸盐玻璃是制造透镜、棱镜等光学零件的主要材料。
…
精品
第一章 光学材料
精品
第一章 光学材料
3、二元体系玻璃——Na2OSiO2
化学结构式
精品
第一章 光学材料
（二）“晶子”学说 1921年 苏联 列别杰夫
内容： ①玻璃由无数“晶子”组成； ②所谓“晶子”不同于一般的“微晶”，而是带有点阵变形的
有序排列区； ③它们分散在无定形介质区； ④从晶子区到无定形区的过渡是逐步完成的，两者之间并无明
显的界限。
强调：远程无序、近程有序。 精品
第一章 光学材料
❖ § 1-2 无色光学玻璃
一、光学玻璃的组成
光学玻璃是由多种氧化物组成的，这些氧化物分为两大类： 一类氧化物是能生成玻璃网络结构的氧化物，如SiO2、B2O3、
P2O5等，属AO2、A2O3、A2O5型氧化物，称之为玻璃形成体 或玻璃网络体； 另一类氧化物，不能生成玻璃的网络体，只是插入玻璃的网 络结构中间，如Na2O、K2O、CaO、BaO、PbO等，属于 A2O、AO型氧化物，他们称之为玻璃的网络外体。
网络体； ②网络体呈现出很大的不规则性。 2、一元体系玻璃特性（一元体系玻璃结构）： 例如：SiO2 晶体：石英晶体
玻璃：熔石英玻璃 精品
第一章 光学材料
由一个硅原子和四个氧原子构成的硅氧四面体［SiO4］。
第四章光学零件加工技术
第四章粗磨——第一节研磨的本质
图4—3固着磨料研磨 铣磨时，磨具的主要运动是旋转，磨具和工件的相对运 动产生的切削F可分解成水平Fk和垂直Fn两个部分。如同玻璃 刀划割玻璃，垂直分力Fn使磨料颗粒进入玻璃深处，形成交 错裂纹，裂纹角大约为1550，它的大小不随玻璃牌号变化。
第四章粗磨——第一节研磨的本质
第四章粗磨——第二节铣削加工原理
四.金刚石磨具铣槽或圆弧
为了便于装配固定，如棱镜、平面镜等，或减轻重量等 原因，常需在零件上铣槽或磨圆弧等。现用金刚石磨具代 替手工。
第四章粗磨——第二节铣削加工原理
图4—6铣圆弧
图4—5铣圆弧
图4—7铣槽
第四章粗磨——第三节磨料和磨具
§4—3磨料和磨具 一.磨料：是研磨零件和制造磨具用的材料，是具有一 定硬度和韧性的粉状或粒状物质。是主要辅料之一。磨料 的研磨性能与硬度、韧性和粒度有关。
第四章粗磨——第二节铣削加工原理
二.斜截圆成型球面的证明
图4—5斜截圆的坐标
下面用数学方法来证明斜截圆绕工件轴的回转面为球面。 如图；有二个直角坐标系（XYZ，X’Y’Z’）均以O为坐标原点。 OX’、OZ’分别与OX，OZ夹角为α，OY与OY’重合。其中OZ代表工 件轴线，OZ’代表磨轮轴线。坐标原点O是工件轴与磨轮轴交点， 夹角为α。O’为为斜截圆中心，A为磨轮端面顶点与工件中心接 触处，则OA=R（O为零件曲率半径中心），O’A=ρ（斜截圆半 径），在X’Y’Z’坐标系中，斜截圆方程为
第四章粗磨——第二节铣削加工原理
①金刚石磨轮刃口通过工件顶点； ②磨轮轴与工件轴相交于O点； ③磨轮轴与工件轴夹角为α； ④磨轮轴高速旋转，工件轴低速转动。 这种运动轨迹的包络面就形成球面。 它们的运动原理遵循正弦公式，球面的曲率半径R与夹角 α有关，由图得正弦公式：即
第18章光学零件基本加工工艺规程设计 文档
? 锯切余量；
? 整平余量； ? 表面粗磨余量；
? 表面精磨、抛光余量； ? 定心磨边余量。
? ? 1.2(M n ? M n?1)
Δc
tc
Δj1
tj1
t j2
A
A
图18-1 加工余量的确定
三、各工序余量的计算
? 1.锯切余量与公差
2.研磨、抛光余量与公差
一般可以采用的数据：零件直径小于10mm时，单面余量取0.150.20mm，零件直径大于10mm时，单面余量取0.20-0.25mm。
第二节 加工余量
? 一、基本概念 ? 为了获得所需的零件形状、尺寸 和表面质量，必须从玻璃毛坯上 磨去一定量的光学材料层，此光 学材料层通常称为加工余量。
? 加工余量的种类： ? 线性尺寸余量 ? 角度余量 ? 工序余量 ? 总加工余量
? 根据光学零件加工工序的特点，一般零 件的全部加工余量是由下列余量组合而 成的。
? 确定粗磨余量 ? 确定粗磨完工尺寸 ? 设计粗磨工装 ? 选择粗磨辅助材料 ? 编制粗磨工艺规程
? （六）确定毛坯尺寸并绘制毛坯图
? （七）编制工艺规程，填写工艺卡片
? 设计工艺规程时，要充分发挥现有的生产技 术手段，同时应适当的采用最新的工艺技术。
? 工艺规程一旦确定下来，生产人员必须严格 遵守。当然工艺规程也不是一成不变的，随 着科学技术的发展，到一定时期，工艺规程 必须修改，否则就会阻碍生产的发展。
3.磨外圆与定心磨边余量与公差
焦距小于300mm，偏心差要求不高时： 易偏心零件：
光学零件制造工艺
第一章光学零件制造工艺一般知识1.1 光学零件制造工艺的特点及一般过程制作光学零件的常见材料有三大类，即光学玻璃、光学晶体和光学塑料，其中以光学玻璃，特别是无色光学玻璃的使用量最大。
虽然光学零件的加工按行业划分归入机械加工一类，但由于加工对象的材料性质和加工精度要求显著地不同于金属材料，因而加工工艺上也完全不同于金属工艺而具有特殊性。
1.1.1 光学零件的加工精度及其表示光学零件属于高精度零件。
平面零件的加工精度主要有角度和平面面形；球面零件的加工精度要求主要有曲率半径和球面面形。
高精度棱镜的角误差要求达到秒级。
高精度平面面形精度可达到几十分之一到几百分之一波长。
平面零件的平面性和球面零件的球面性统一称为面形要求。
光学车间一般用干涉法计量，用样板叠合观察等厚干涉条纹（俗称看光圈）。
表示面形误差的光圈数符号是N，不规则性（或称局部误差）符号是△N。
除面形精度外，光学零件表面还要有粗糙度要求。
光学加工中各工序的表面粗糙度如表6-1所示。
光学零件抛光表面粗糙度用微观不平十点高度表示为R2=0.025um，用轮廓算术平均偏差表示为R2=0.025um，用符号表示则为0.008，在此基础上，还有表面疵病要求，即对表面亮丝、擦痕、麻点的限制。
1.1.2 光学零件加工的一般工艺过程及特点光学零件加工的工艺过程随加工方式不同而异。
光学零件的加工方式主要有两类：传统（古典）加工工艺和机械化加工工艺，这里我们只介绍传统加工工艺。
传统工艺的特点主要有：（1）使用散粒磨料及通用机床，以轮廓成形法对光学玻璃进行研磨加工。
操作中以松香柏油粘结胶为主进行粘结上盘。
先用金刚砂对零件进行粗磨与精磨，然后使用松香柏油抛光模与抛光粉（主要是氧化铈）对零件进行抛光加工。
影响工艺的因素多而易变，加工精度可变性也大，通常是几个波长数量级。
高精度者可达几百分之一波长数量级。
（2）手工操作量大，工序多，操作人员技术要求高。
对机床精度，工夹磨具要求不那么苛刻，适于多品种，小批量、精度变化大的加工工艺采用。
光学零件加工
散粒磨料细磨技术的关键
细磨磨具的的面形精度 研磨的速度 压力的调整
精磨注意事项
精磨前调整零件轴线与机床主轴轴线重合， 对于面形精度越高的零件来说，同轴度要 求越高 精磨非球面时，一般先修磨非球面度最大、 带宽最宽的部位，此时尽可能地减少磨和 球面接近的部位——可以保持曲面平滑
三、装工件
达到装工件要求时，将工件按照要求放到镀膜室 里面待镀膜
四、抽真空
以上步骤完成后，关上镀膜室门，进行 空（低真空信号灯亮，真空度为 3.0E-0）方可开烘烤，同时真空镀必须高于10-2Pa。 按下按钮烘烤1—→烘烤2—→烘烤3—→工转（工转 的电压为1V，烘烤温度达到设定值320℃时.必须稳定 10分钟。）
八、镀膜（满足以上条件及检查后方可进行
以下步骤） 按下监控按钮STOP—→RESET—→START 蒸镀时须注意坩埚的转换是否与制程相对应，是 否转换到为，电子枪的功率与斑点是否有浮动， 及斑点位置是否在坩埚中心位置。同时要观察蒸 镀时的速率、电流大小；氧气的流量。
九、起件
蒸镀完成后先关电子枪外控按钮OFF；工转电流调到 0.5V进行2分钟烘烤，关烘烤1—→烘烤2—→烘烤3。 工转调到0.5V。烘烤温度必须低于280℃方可开门， 按取件进行泄气开室门，然后取出卡伞进行清洁、添 加材料进行下次蒸镀，从打开室门到关门时间为5分 钟左右。
据厚度与频率的变化计算当前厚度
镀膜工艺的过程
一、开机前准备 检查水、电、气。依次接通总水源、总 气源、总电源。 其中水压0.2~0.25MPa，水温≤20℃， 电：总功率约50KW，220V/380V， 50HZ。 气：气压0.5Mpa。
二、开机
打开总电源开关(总电源信号灯亮）—→真空自动→ 开机。扩散泵温度必须大于250℃（约预热1小时）。 打开高压电源及高压开关，氧气阀打开，氧气总压 力必须大于2MPa，氧气输出压力控制阀必须小于 0.5MPa（一般在0.2MPa左右）。打开监控系统电 源，打开坩埚电源。
光学零件制造工艺
第一章光学零件制造工艺一般知识1.1 光学零件制造工艺的特点及一般过程制作光学零件的常见材料有三大类，即光学玻璃、光学晶体和光学塑料，其中以光学玻璃，特别是无色光学玻璃的使用量最大。
虽然光学零件的加工按行业划分归入机械加工一类，但由于加工对象的材料性质和加工精度要求显著地不同于金属材料，因而加工工艺上也完全不同于金属工艺而具有特殊性。
1.1.1 光学零件的加工精度及其表示光学零件属于高精度零件。
平面零件的加工精度主要有角度和平面面形；球面零件的加工精度要求主要有曲率半径和球面面形。
高精度棱镜的角误差要求达到秒级。
高精度平面面形精度可达到几十分之一到几百分之一波长。
平面零件的平面性和球面零件的球面性统一称为面形要求。
光学车间一般用干涉法计量，用样板叠合观察等厚干涉条纹（俗称看光圈）。
表示面形误差的光圈数符号是N，不规则性（或称局部误差）符号是△N。
除面形精度外，光学零件表面还要有粗糙度要求。
光学加工中各工序的表面粗糙度如表6-1所示。
光学零件抛光表面粗糙度用微观不平十点高度表示为R2=0.025um，用轮廓算术平均偏差表示为R2=0.025um，用符号表示则为0.008，在此基础上，还有表面疵病要求，即对表面亮丝、擦痕、麻点的限制。
1.1.2 光学零件加工的一般工艺过程及特点光学零件加工的工艺过程随加工方式不同而异。
光学零件的加工方式主要有两类：传统（古典）加工工艺和机械化加工工艺，这里我们只介绍传统加工工艺。
传统工艺的特点主要有：（1）使用散粒磨料及通用机床，以轮廓成形法对光学玻璃进行研磨加工。
操作中以松香柏油粘结胶为主进行粘结上盘。
先用金刚砂对零件进行粗磨与精磨，然后使用松香柏油抛光模与抛光粉（主要是氧化铈）对零件进行抛光加工。
影响工艺的因素多而易变，加工精度可变性也大，通常是几个波长数量级。
高精度者可达几百分之一波长数量级。
（2）手工操作量大，工序多，操作人员技术要求高。
对机床精度，工夹磨具要求不那么苛刻，适于多品种，小批量、精度变化大的加工工艺采用。
光学零件加工(总)
第一章 光学材料
种类： 透紫外线玻璃（ZWB）、紫色玻璃（ZB）、青色（蓝色） 玻璃（QB）、绿色玻璃（LB）、透红外线玻璃（HWB）、 防护玻璃（FB）、透紫外线白色玻璃（BB等）。
（二）中性玻璃 特点：在可见光区域内能比较均匀地降低光源的光强度，而不
改变其光谱成分。 作用：主要是做中性滤光片、减光镜。 牌号：AB1，AB2，AB3……，AB10等。
三、无色光学玻璃的质量指标（七项）
（一）折射率、色散系数的允差及一致性 折射率：表示光在空气中的传播速度与在玻璃中的传播
速度之比。 n=C/V （nd、nF、nc） 色散系数：不同波长的光经过折射后，出射点不同。
υd= nd-1
nF-nC
用中部色散nF-nc衡量
第一章 光学材料
① nd、υd的允差（允许差值） 分 0 、 1 、 2 、 3 、 4 四类
我国光学玻璃标准规定：将玻璃分为2大类，用K代表冕牌 玻璃，F代表火石玻璃。每一大类又进一步按nd及υd分为18 个品种。
第一章 光学材料
❖ 冕 牌 玻 璃（8个）： 火 石 玻 璃（10个）：
第一章 光学材料
2、牌号：ZF9（1～99） 其中F——种类；ZF——品种；ZF9——牌号
同一品种玻璃，它的折射率大致相同相差不多。
第一章 光学材料
选取原则： ①对于位置靠近或处于像平面上的零件，其材料不允许有气 泡，应使用第0类玻璃。 ②大倍率观察仪器的分划板、分度盘、平行光管、分辨率板， 应采用0类和1类玻璃。 ③照相物镜、双筒望远镜和大地测量仪器的物镜，允许选用 2类D、E级玻璃材料。 ④在望远镜和大口径照像物镜中允许气泡度为E级。
第一章 光学材料
❖ 例如：K9的成分
由 SiO2：69.13%；B2O3：10.75%；K2O：6.29%； Na2O：10.40%；As2O3：0.36%；BaO：3.07%。
光学零件加工
八、镀膜（满足以上条件及检查后方可进行
以下步骤） 按下监控按钮STOP—→RESET—→START 蒸镀时须注意坩埚的转换是否与制程相对应，是 否转换到为，电子枪的功率与斑点是否有浮动， 及斑点位置是否在坩埚中心位置。同时要观察蒸 镀时的速率、电流大小；氧气的流量。
九、起件
蒸镀完成后先关电子枪外控按钮OFF；工转电流调到 0.5V进行2分钟烘烤，关烘烤1—→烘烤2—→烘烤3。 工转调到0.5V。烘烤温度必须低于280℃方可开门， 按取件进行泄气开室门，然后取出卡伞进行清洁、添 加材料进行下次蒸镀，从打开室门到关门时间为5分 钟左右。
（四）粗磨
先使用100#砂研磨，研磨到一定程度后再 使用280#砂研磨以达到大致要求
注意：当磨削及的转速越快或者砂粒越 粗时，要多加水；按住工件的力度不能 太大
精磨加工
古典法精磨：用散粒磨料细磨时，磨料在 研磨磨具和零件之间处于松散的自由状态， 借助细磨所加压力，通过模具、模料和零 件之间的相互运动，实现零件表面成型目 的
散粒磨料细磨技术的关键
细磨磨具的的面形精度 研磨的速度 压力的调整
精磨注意事项
精磨前调整零件轴线与机床主轴轴线重合， 对于面形精度越高的零件来说，同轴度要 求越高 精磨非球面时，一般先修磨非球面度最大、 带宽最宽的部位，此时尽可能地减少磨和 球面接近的部位——可以保持曲面平滑
（二）滚圆
用手工方法将胶条磨去棱角再滚磨成圆柱，或装在 专用机床上直接按尺寸要求研磨 目的：除去切割后的工件四周多余的部分，得到一 个具有一定几何尺寸的圆柱体。 备注：滚圆机每小格为0.01mm，转动一大圈为 1mm，所需的工件半径为52mm。 步骤：将玻璃长条装夹在滚圆机啊→打开电源→按 液压启动→顺时针旋转手轮转动五格→按下工进完 成一次后按返回→再将上两个步骤不断重复，期间 用游标卡尺不断测量工件半径使其满足要求→卸下 玻璃长条→关液压及电源
苏瑛-光学零件制造工艺学
中国兵器工业第二0五研究所 苏瑛
光学零件加工工艺
光学零件加工工艺的内容很多，涉 及面也比较广泛，这里仅就加工工艺的 主要内容及冷加工工艺做些简单介绍。 今天我讲的主要内容是：
目录
一、光学零件加工工艺 二、常用的光学材料和辅助材料 三、光学零件基本类型 四、光学零件图 五、光学冷加工过程流程图及具体范例 六、光学零件检验 七、光学和光学加工发展趋势 八、几点体会
决于树脂的本性，但有时添加剂能起到重大作用，可以大幅度改进塑料的性 能。添加剂包括增塑剂、增强剂、稳定剂、润滑剂等。按照树脂的性质将塑 料分成两大类 热塑性塑料：特点是可以反复加热变软，甚至成为可流动的粘稠物质，可以 塑制各种形状的零件，冷却后固化。如常用的聚苯乙烯材料。 热固性塑料：如可以制作光学零件的CR-39材料、抛光模用的聚氨酯。特点 是树脂在加热初期软化具有可塑性，继续加热则伴随着化学反应而变硬，此 后即使再加热也不再软化，不再具有可塑性。
光学玻璃依据它们的光学常数规定了牌号,在定牌号时,认为它们内部是均 匀的,实际上对每一种牌号的玻璃,在生产过程中很难保证各批玻璃产品光学常 数绝对准确,且内部又不是完全均匀的,因此它们的光学常数不可能正好是规定 数值,只能在某一个规定的公差范围内,因此对无色光学玻璃应标注下列质量指 标：
（1）折射率、色散系数与标准数值的允许差值 （2）同一批玻璃中，折射率和中部色散的一致性 （3）光学均匀性类别 （4）应力双折射类别 （5）光吸收系数 （6）条纹度类别和级别 （7）气泡度类别和级别。
光学塑料
一、光学塑料是指具有一定的光学性能、符合一定的质量要求，并能用来制造 光学零件的塑料，是具有特殊要求的工程塑料。光学塑料是光学玻璃的重要 补充材料，它以成本低、重量轻、成型容易和抗冲击能力强等优点，在低精 度和中等精度的光学零件的应用上越来越起到重要的作用。
光学元件加工技术（ＰＤＦ）
第一章光学理论分析光学系统是由透镜组合而成，本章主要叙述光的基本原理，透镜的几何光学成像理论，以及像差的问题，当中并以光学厂实际生产的镜头为例子，辅以印证理论。
1-1 基本原理光是自然界的产物，以下就光的特性以及物理量加以说明。
1-1.1 可见光可见光是电磁波谱之一部份，人的眼睛可视为是电磁波接收器，工作于此波段并依此定义出可见光。
在光学中常用奈米(nanometer；1nm=1×10-9m)为波长单位，图 1-1显示可见光中心区域波长约为 550nm，颜色为黄绿色。
视力灵敏曲线在长波长及短波长处渐趋近于轴。
一般定视力灵敏度降至其最大值的1%处为极限，两极限的波长值分别约为 430nm 和 690nm。
在此限度外之辐射若强度够的话，眼睛仍能探测到；若强度弱时，在许多物理实验中可用照相底片或感光灵敏之电子探测器代替人眼。
因光同时具有波和粒子的特性，一般物理现象的解释则采用适性策略：对于光的行进以电磁波解释，对于光的吸收与辐射，则以粒子特性来处理。
一般基础光学依光的性质和实验结果分为三类：1.几何光学：将光视为粒子处理，但考虑的是整体特性表现，亦即对光的描述是用光线（ray）的集合－光束（light beam），以及物点、像点等概念。
2.量子光学：将光视为粒子处理，但探讨的是各别粒子本质。
3.波动光学：将光视为电磁波处理，本领域又称物理光学。
本论文研究的对象是精密光学组件，因此以几何光学为应用基础。
1-1.1 光源和光速物体本身能发光的，如太阳、火焰、电灯、雷射称为光源（luminous source）。
藉由光源照射物体而反射光线，方能使我们感觉物体的存在。
光线可看做是由许多光子（photon）所组成，至于光束则是由许多光线汇集而成的光束线。
光在真空中，具有最大的速度，用符号 c 代表光在真空中的速度，是自然界的常数：c=299,792.5km/s≒30 万公里/秒。
光源的发光强度称为光度（luminous intensity）。
光学零件工艺 第6章 光学零件通用技术要求
平板零件的类型
不平行度
光楔精度 公差
滤光镜
保护镜
高精度
3″-1′ 高精度 ±(0.2″-10″)
分划板
一般精度 1′-10′ 10′-15′ 10′-15′ 2″-30″
中等精度 ±(10″-30″) 一般精度 ±(30″-1 ′)
表面涂层的反射镜 背面涂层的反射镜
十三、对光学部件的技术要求
2.说明光学零件图上以下符号的含义： q=0.02×3 q=(φ5) 0.02×3+ (φ20) 0.05×5 + 0.08×5 q=φ0.5/φ10 q=φ0.5[0.1]/φ10 B/5×0.25;C3×0.02;P0.6
1. N 2. ΔN 3. B 4. χ 5. θⅠ、θⅡ 6. q
十四、光学零件表面处理
序号 薄 膜 符 号 薄 膜 类 别
（一）膜层种类及符号
1 2 3 4 5 6 7 8 9
内反 射膜
外反 射膜
分束 膜
滤光 膜
保护 膜导电 膜源自偏振 膜涂黑减反 射膜
（二）镀制方法及符号
曲率半径及面形精度
三、标准样板精度等级△R
标准样板的精度ΔR分为A、B两级。
精 度 等 级
A B
标准样板的曲率半径R
0.5~5 ＞5~10 ＞10~35 ＞35~350 ＞350~1000 ＞1000~4000
半径允差
Δ R(μ m)
0.5 1.0 1.0 3.0 2.0 5.0
相对R名义尺寸的百分比
• • • • •
ΔR N ΔN B q