氦质谱检漏常见问题word精品

氦气检漏操作规程(3篇)

第1篇一、概述氦气检漏操作规程旨在规范氦气检漏操作过程，确保操作人员的人身安全和设备的安全运行。

本规程适用于氦气检漏设备的操作，包括设备检查、操作流程、注意事项等。

二、操作前准备1. 操作人员应接受专业培训，熟悉氦气检漏设备的使用方法和安全操作规程。

2. 检查设备是否正常工作，包括氦气供应和排放系统、压力传感器、磁力传感器等。

3. 检查设备附件是否齐全，如有损坏或缺失，及时更换。

4. 检查个人防护装备，如手套、护目镜、防护服等，确保符合安全要求。

三、操作流程1. 打开氦气检漏设备，确保设备处于正常工作状态。

2. 根据被检设备的要求，调整设备的工作参数，如检测灵敏度、流量等。

3. 将被检设备与氦气检漏设备连接，确保连接牢固。

4. 启动氦气检漏设备，观察检测结果显示，如有泄漏，设备会发出警报。

5. 根据检测结果，确定泄漏点位置，并采取相应措施进行处理。

6. 检测完成后，关闭氦气检漏设备，拆卸被检设备。

四、注意事项1. 操作过程中，严禁吸烟、使用明火或产生火花的设备。

2. 当检测到氦气泄漏时，应立即停止使用设备，并将设备从潜在的危险区域移出。

3. 氦气泄漏应迅速报告给相关人员，并采取措施控制泄漏，如关闭氦气供应阀门、通风等。

4. 在操作设备期间，不得擅自更改设备的工作参数或拆解设备。

5. 定期检查设备的工作状态，定期清洁设备，并按照设备使用说明书中的要求保养设备。

6. 在设备故障或异常情况下，应立即停止使用设备，并联系专业技术人员进行维修。

7. 禁止将设备用于非指定的用途，以免损坏设备或造成人员伤害。

五、操作后处理1. 检漏完成后，拆卸被检设备，清理现场。

2. 对设备进行清洁和保养，确保设备处于良好状态。

3. 记录操作过程中的相关信息，如检测时间、泄漏点位置、处理措施等。

4. 将设备归位，关闭电源，确保安全。

本规程为氦气检漏操作的基本要求，具体操作规范应根据厂家提供的使用说明和相关安全规程来执行。

操作人员应严格遵守本规程，确保操作安全、高效。

氦质谱仪背压检漏方法_概述及解释说明

氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。

该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。

背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。

1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。

首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。

接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。

最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。

文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。

1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。

同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。

通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。

2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。

其原理可以简要概括为以下几个步骤。

首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。

由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。

接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。

质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。

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本文部分内容来自网络整理，本司不为其真实性负责，如有异议或侵权请及时联系，本司将立即删除！== 本文为word格式，下载后可方便编辑和修改！ ==氦检漏作业指导书篇一：氦气检漏作业指导书B版本篇二：氦检漏步骤氦检漏步骤1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待几分钟）4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏，5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。

全部完成充氦后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。

篇三：氦质谱检漏仪使用说明 (1)氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。

如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。

分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。

质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。

氦检设备合理化建议

氦检设备合理化建议
1、正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。

如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。

2、氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。

如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果。

3、在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。

对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。

如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。

4、如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。

因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。

5、检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。

如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。

此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。

6、如果检漏气体泄漏氦和氢，它将像气球一样飞到检漏区的室
顶，并逐渐漂浮在整个检漏区。

因此，应该为泄漏测试区域提供足够的通风。

由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动，因此建议从底部输入新鲜空气，从顶部向外排放气体。

常压累积法氦质谱检漏的误差分析

常压累积法氦质谱检漏的误差分析导弹与航天运载技术MISSILES AND SPACE VEHICLES常压累积法氦质谱检漏的误差分析康小录(上海航天动力机械研究所，上海，200233)摘要通过对常用的大气压累积法氦质谱检漏过程和标定技术的分析，导出了该方法所带来的系统误差的一般表达式。

指出了消除系统误差，提高常压累积法氦质谱检漏准确度和可靠度的可能的努力方向。

关键词误差，测量，质谱检漏。

The Error Analysis of Usual Integrating Leak Detection of Helium Mass Spectrometer at Normal AtmosphereKang Xiaolu(Shanghai Aerospace Power Machinery Institute，Shanghai，200233)Abstract The general expression of system error of usual int egrating helium mass spectrometer leak de tection measurement at normal atmosphere is given by analyzing the leak detectio n procedure and its calibration. A possible study direction is proposed to red uce the system error and to increase the accuracy and reliability of integrating leak detection measurement at normal atmosphere.Key Words Error，Measurement，Leak detection.1引言航天工程中，常常需要对大型组件、结构复杂系统的总漏率进行测试。

ASM181T氦质谱检漏仪常见故障处理

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
ASM181T 氦质谱检漏仪常见故障处理
1、机械泵故障及处理（1）机械泵不动作。

检查项目有：电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵冷却后是否能启动）。

（2）机械泵声音异常。

检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否＜10 ℃，油雾过滤器的出口有无气体排出（假如无气体排出，更换油雾过滤器）。

2、分子泵故障及处理（1）开机2min 后压力指示灯不亮。

此时分子泵未转动，即分子泵入口压力未到设定值或未检测到压力（通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无法启动）。

因此，主要检查导致压力过高的因素。

检查的项目有：P
（2）分子泵加速指示灯不亮。

CD2 电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

（3）分子泵故障灯亮。

检查CD2 电路板设置开关是否处于R 位置，此时应该在N 位置。

检查风扇是否停止，假如风扇正常，请和厂家联系。

3、质谱室故障（1）灯丝指示灯不亮。

检查灯丝开关键是否处于关闭位置（再按一下），检查
（2）灯丝指示灯闪烁。

用万用表检查质谱室航空插座1 和5 接线柱是否开路，若开路，更换灯丝；若不开路，检查接线柱6 是否和其他接头导通，消除短路现象.
（3）遥控面板无压力指示。

检查P
（4）当检漏开始时压力不下降。

检查电路板PO318 保险丝是否有问题. （5）检漏口压力＞0.01MPa。

机械泵油失效或P。

氦质谱检漏仪的检漏方法

要低很多
所以，吸氧量（流量）
自然就大不相同了
在每一个截面上，气体的流量都是相
同的
Pa F=Pa x Sa
Pb F=Pb x Sb
F=Pc x Sc Pc
流量的定义流量
c0 1
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漏率的计算
虽然确切的计算泄漏量很难，但是可以用以下公式进行初步的估算（层流，20摄氏度空气）：
Qpv = 135 x d4/L x(Po2-Pi2)/2
漏率的定义和单位
真空系统中漏气/虚漏与抽气之间的平衡
真空系统中漏气流量的平衡表示式如下:
P =(Qo +∑Qi)/S +Po
P-----系统达到的压力 Po—真空泵的极限压力 S-----真空系统的有效抽速 Qo---由系统外部流向系统内部的总漏率 ∑Qi—虚漏所形成的总漏率(如材料表面出气等)
看! 一个气泡!
其中，d-漏点的直径，L-漏点的长度，Po-高压端压力，Pi-低压端压力
漏率的定义和单位
针对于一个体积(V)不变的容器,单位时间(Δt)内压力的变化量(ΔP)与该容器体积(V)的乘积就是泄漏量：
Q leak = V x ΔP / Δt
因此，泄漏量的单位通常用mbar l/s（也可用 Pa m3/s , atm cc/s 或 Torr l/s）
/s ? mbar.l/s ?
Pa.m3/s ? Torr.l/s ?
10-9 mbar.l/s = 10-9 /s = 10-8 Pa.m3/s = 7,5.10-8 torr.l/s
不同应用对漏率的要求
电子行业
薄膜技术集成电路
研究所
粒子加速器核聚变
医药行业
起搏器

氦质谱检漏仪测试使用规范

氦质谱检漏仪1．本规范是氦气质谱检漏仪的使用和保养的技术指导规范2．概述质谱仪是在作FE测试用于检测空气中氦气分子的仪器，低温实验室的氦气质谱仪包含以下零件：主体检漏机、吸枪、卡箍、卡箍盖、真空校准漏孔、电源线。

其技术参数如下：型号：SFJ-211B最小可检漏范围：漏率显示范围：吸枪长度：探头直径：制造标准：渗氦型真空校准漏孔：校准标准：3．使用方法a.实验之前半小时，确认机体接口、卡箍、卡箍盖连在一起并卡紧。

插上电源，打开质谱仪后面的开，让质谱仪抽真空15分钟，准备就绪后，按显示板上的停止键，松开卡箍，将校准口装到主机接口上，拧紧卡箍，按显示板上的校准键，等机子校准结束后，上面的数值与校准口上的数值一样（如有问题在校准一次，还不行则送修），则按下停止键，拆开卡箍，装上吸枪，拧紧卡箍。

b.按下检漏键，将吸枪置于空气左右上下嗅探，测试一下环境中的HE气分子量，如果He分子量太高，则开启排风扇将实验室中的气体排出。

c.将吸枪探头置于离探源2-5mm的距离内嗅探，绕着探源走一圈，注意观察质谱仪上的数值，记下其瞬间最高数值。

也可以根据客户要求进行测试。

4．注意事项a.在使用过程中，不允许开风扇或者有引起空气流动的动作。

b.在测试进行一个小时后，应在标漏一次。

c.设备必须在停止状态下才能松开卡箍。

d.真空校准漏孔在使用时不要磕碰、用力甩动。

e.吸枪使用时不要有污垢堵住探头口，延长线不要弯折、打结。

f.每次嗅探中途停止时，应按下停止键。

g.非测试人员不得操作设备。

5．设备保养每次使用完设备后应将机器擦拭干净、吸枪接头松开、盖上卡箍盖，用卡箍拧紧。

吸枪绕好，放在设备上方，拔掉电源线，盖上透明塑料袋。

将渗氦型真空校准漏孔收到专门的盒子内。

氦泄漏测试常见问题解答

氦泄漏测试常见问题解答
什么是氦泄漏测试？
随着工业的不断大规模生产，重型机械经常面临肉眼无法看到的破裂。

这些破裂阻碍了容器的连续性，从而在容器中形成泄漏，直接影响生产质量，并为周围的工作人员造成不安全的环境。

氦泄漏检测，可以通过将氦气喷洒或嗅探到组件上跟踪泄漏类型的位置来帮助识别看不见的破裂。

什么时候应该进行氦泄漏测试？
有时，热交换器或冷凝器等工作设备的输出无法提供最佳结果。

这种波动是由于管中的泄漏而发生的。

将泄漏的管子识别为像这样的轻微故障变得非常重要，这可能会导致行业中出现重大工艺混乱或事故。

由于其高灵敏度，氦泄漏测试可以很容易地查明泄漏的微小尺寸。

为什么是氦？
氦是仅次于氢的第二轻元素，具有无毒、惰性和不易燃等特性。

即使在存在工艺残留物的情况下，氦分子也可以穿过组件中的微小裂缝，从而检测泄漏的路径、位置和大小。

由于氦通常不存在于大气中（<5ppm），因此可以通过泄漏的容器确定地对其进行追踪。

与使用水或其他流体的气动和液压测试相比，氦泄漏测试被认为是最准确的检测方法。

通常在哪些组件上执行HLT？
许多设备用于各个行业，其中无泄漏是最重要的。

氦泄漏测试主要在：
冷凝器
热交换器
发电厂涡轮机
此外，它还可用于阀门、波纹管、歧管密封件、真空容器和系统、医疗设备、燃料管线、液压管线、制冷组件、散热器、手套箱、真空炉、真空镀膜机、半导体和激光加工设备、气体处理系统、生物反应器、密封包装、液化气设施和低温罐。

最后的好处是节省时间。

氦质谱检漏技术..

变化，此时即为极限压强。
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上式中令dP/dt=0，就得极限压强为 P=Q/Se。可见极限压强由漏气量与放气量的总和Q对有效抽
速Se的比值所决定；设放气量可忽略不计，则就由漏气量与有效抽速的比值所决定。从物理过程来看，就是一面抽气，一面不断漏气，两者最后达到了平衡。因此，要想得到低的极限压强，应尽量提高有效抽速，并降低漏气量。在抽速是一定时，降低漏气量就成为关键的了。
子数。尺寸是难以测量的气体质量与分子个数也难以直接测量，那么
用什么方法来表示漏孔的大小呢？
4
由理想气体状态方程 P*V=m*R*T/M ----
m=P*V*M/(R*T) R:摩尔气体常数 M:气体的摩尔质量，也是常数当T一定时，M/（R*T）为常数。因此，m
正比于P*V，P和V的测量是方便的。
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体涂于漏孔，实际上都不可避免要夹带有空气进去，即示漏物质并没有彻底取代空气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用，另一方面还会引起不必要的读数波动，因为混进的空气分量时大时小。
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氦质谱仪检漏法氦质谱检漏仪的结构（30D，542等）质谱室真空系统电器系统如何选用氦质谱检漏仪
电离计的反应比热真空计快，但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间，故巡喷速度亦不能太快。电离计能检
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漏的压力范围，大致同于其测量范围，故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的最小可检漏孔约为1*10-6— 1*10-7托升/秒。
在真空计检漏中，即使示漏气体对着漏孔喷吹，或者示漏液
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分子—粘滞流：入/D大于1*10-2且入/D小于1
分子流：入/D大于1 入=5*10-3/P（厘米）
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常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。

当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。

在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。

按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。

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2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待几分钟）4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏，5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。

全部完成充氦后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。

篇三：氦质谱检漏仪使用说明 (1)氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。

如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。

分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。

质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。

氦质谱检漏仪的检漏方法

1升 10 bar
=
10 升
AIR
1 bar
流量的定义
当我们在海平面高度下跑步 : 丝毫没有任何问题
我们的肺就象一台泵 : S = 4 l/s 泵的抽速是 4 l/s
但是当我们在海拔很高的山上跑步时 : 我们就觉得呼吸不过来了
虽然泵的抽速并没有发生变化 : 4l/s, 但是在山上的压力要比海平面的压力
氦检漏技术的应用
1. 检漏仪的应用 2. 通常在检漏时容易遇到的问题 3. 漏率的计算，定义和单位 4. 检漏的方法 5. 氦检漏仪的检漏方式 6. 检漏时间
8. 氦质谱检漏仪的内部构造 9. 氦气污染 10. 自动校准 11. 氦质谱检漏仪的选择 12. 检漏前的准备和检漏的注意事项 13. Alcatel 氦质谱检漏仪
漏率的计算，定义和单位
› 流量体现的是在单位时间下
流体分子数的多少
› 对于液体而言：
• 流量 = 液体泵的抽速
体积流量 =
时间
› 而对于气体而言：
• 流量 = 泵的抽速 x 压力
流量 = 体积 x压力时间
流量的定义
流量的定义
• 所以，在10bar下一升气体与在1bar下10升气体所含的气体分子数是相同的
主要的优点总漏率检测，可靠相对而言成本较低
He
被测件
He
ASM 142
总漏率检测：背压式检漏
第一步 : 将被测件放置于一个充氦
的腔内
第二步 : 将被测件放于通风处（去 1
除表面累积的氦，以防影响之后的检
He
测精度
第三步 : 将被测件放置于一个与吸
枪探头相连的腔内
主要的优点
2
总漏率检测

氦质谱检漏常见问题

氦质谱检漏常见问题As a person, we must have independent thoughts and personality.
一、为什么用氦气作为示踪气体其他气体可以吗
答：（1）在空气中含量低(只有5?ppm)，环境本底低
（2）惰性气体不易燃，不易爆对环境没有污染，不与其他物质反应，可以混合到任意浓度
（3）无毒，可以用在食品工业
（4）在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
（5）比空气轻，运动速度快
（6）气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔
（7）其它气体也可以
二、喷氦检漏的注意事项。

?
答：
（1）被测系统应尽量清洁，干燥，无油
（2）如果测量条件发生变化（温度），需要重新对检漏仪做内部较准?（3）氦气比空气轻，喷氦法检漏应注意方向?
（4）尽量不要使用密封脂（油脂会大量吸附氦气）
（5）不要向环境释放大量氦气?
（6）真实的漏率信号应当是快速上升的信号，相对缓慢下降的信号三、漏率（leak rate）
在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。

注：采用国际单位制时，漏率单位为：Pa?m3/s。

干法腐蚀氦漏和温度常见问题分析

工作小结设备在运行时会有一些故障发生，对于故障的原因分析和处理方法是值得想的问题。

一、氦漏氦漏是常见的问题，氦气在工艺中的作用是使产品的温度保持与ESC一致，若发生氦漏，则产品的温度将不受控制，泄露的氦气还改变反应腔体的环境，造成压力和气体离子的浓度变化，影响速率和均匀性。

现在对氦漏发生的原因总结和分析。

1.ESC表面沾污2.片子背面沾污m4520 压痕偏移4.TCP9600 ESC电压故障5.ESC本身的问题6.传送偏移7.Chamber Lifter UP/Down 太快验证过程和分析1）氦漏看一下当前氦漏值，若略大于设定值则结束菜单，传出当前片，观察是否背面沾污，看下一片是否氦漏，若不氦漏可以继续工艺。

2）若氦漏，停止工艺，传出所有片子，用胶片反沾ESC，看一下胶片上是否有生成物。

再跑一片Season观察，所season片正常，可继续工艺3）对于Lam4520不是靠ESC静电吸附片子，而是靠clamp压在下电极上，跑一片SiO2片子看一下压痕是否偏移，若压痕偏移则导致片子没有被完全压在ESC上，调节ELL ARM Rotion&Extion chamber参数使压痕正常，再跑season看氦漏是否正常，若正常可继续工艺。

4）若不正常，可观察chamber Lifter UP/Down 速度，速度太快会导致在传送过程中片子位置偏移。

5）对于Tcp9600 若ESC表面的膜和ESC边缘被刻蚀掉会导致氦漏，开腔观察ESC表面是否有白点和边缘是否异常。

若有异常则更换ESC。

6）TCP9600 ESC电源要打到OFFset 档，在加背氦是测量ESC电压是否异常，若异常，观察ESC电源线是否松脱。

可拆下ESC电源检查几个端口电阻是否正常。

7）开腔校准传输。

检查ELL ARM螺丝是否松动。

二、二、CHILLER 异常Chiller是控制上电极和下电极温度的装置，在工艺菜单中设定的值对速率的影响至关重要。