硅片甩干机维护作业指导书

硅片甩干机维护作业指导书

编制人：

审核人：

批准人：

1 目的

制定本文件是为了保证甩干机正常的使用，定期对腔内、甩盘等进行维护保养。

2 范围

本文件适用于K+P车间硅片甩干机。

3 定义

无

4 相关文件

无

5 职责

5.1 K+P车间设备工程师具体执行。

6 管理内容

6.1 设备工器具

6.1.1 14#扳手、无尘纸、百洁布、酒精、放螺丝的盒子等。

6.2操作步骤

6.2.1 按下屏幕右方的OPEN键，使甩干机上盖打开。

6.2.2切断设备的电源。

6.2.3 用14#扳手把甩盘卸下。

甩盘

6.2.4用无尘纸清理腔内碎片。

6.2.5用百洁布将甩盘下及周围的锈迹清理干净。

6.2.6用无尘纸沾用酒精将腔内、甩盘及周边清理干净。

6.2.7用14#扳手将甩盘装到设备上。

6.2.8检查排废管道是否漏液，如漏液需上紧接头或更换管道。

6.2.9检查进水管道是否漏水：如果是请重新上紧或更换水管。。

6.2.10检查氮气压力是否保持在0.4-0.6MPA。

6.2.11检查控制面板上的各种操作按钮：如有损坏及时更换。

6.2.12检查及清洁电气原器件，避免造成漏电及局部短路，接触不良。

6.2.13保证设备可靠接地。

6.2.14 整理现场5S。

6.2.15 对设备上电，试机。

6.3使用中注意事项

6.3.1 不要把工具等落在甩盘内。

6.3.2 电机上的三角带半年需更换一次。

7 记录

设备维护保养记录