硅片的表面处理和钝化方法
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一． 表面处理和钝化的方法
为了有效减少表面复合，我们推荐下面的处理和钝化方法，供用户参考：
使用化学钝化前，对于不同的样品，需要不同的处理方法，主要是为了减少表面损伤层的影响：
- 对于抛光过或表面特别均匀的腐蚀过，而且是表面没有氧化层的样片, 无需预先处理 - 对于抛光过或表面特别均匀的腐蚀过，表面有氧化层的样片，在化学钝化前需要 HF 处理。
方法如下：在 5% HF 中浸泡一段时间，时间的长短取决于 氧化层的厚度，如 20A 的氧化层，需要
30 S; 500-2000A 的氧化层需要 5-10 分钟。
- 对于表面有损伤，或粗糙表面的样片 （太阳能级样品大都属此列），需要预先处理：
在经过预先处理之后，就可以使用碘酒的钝化处理方法。碘酒浓度：0.2-5%, 推荐 1 升乙醇配 10 克碘。
1．准备好碘酒，塑料袋，吸管。如下图：
2．将硅片放入塑料袋中。如下图
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施美乐博公司上海办事处3．将配好的碘酒用吸笔均匀涂到硅片的正反面。如下图：
4．驱赶出袋中气泡并封好袋口。如下图：
之后放入测试台测量即可。
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