温湿度,气压,洁净度记录表
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气压检查记录表
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真空压力 氮气压力 压缩空气压力 真空压力标准参数≤-0.07MPA 压缩空气标准参数≤0.7MPA 氮气压力标准参数≥0.5MPA 压力异常报告
负责人 解决措施
负责人
年 14 15 16
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备注
时间 温度 （℃） 湿度 （%RH） 时间 温度 （℃）
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烧录车间温湿度表
日期
年/月：2017/11
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备注
时间 温度 （℃） 湿度 （%RH） 时间 温度 （℃） 湿度 （%RH） 记录者
上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午 上午
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源自文库审核：
年/月：2017/12 日期
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月
洁净度记录表
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设备名称:激光尘埃粒子计数器设备型号:CSJ--DII型 上午 9:00 日期 1 2 3 4 5 6 7 8 9 洁净度 是否异常 下午 14:00 洁净度 平均值 是否异常 上午 9:00 日期 17 18 19 20 21 22 23 24 25 洁净度: 是否异常: 下午 ### 洁净度 平均值
湿度 （%RH） 记录者
审核：
注：车间温度控制在22±2℃，湿度控制在50%-60%RH，如遇放假或休假日期在对应栏位打“/”
负责人
年 月 上午9：00 日期 1 2 真空压力 氮气压力 压缩空气压力 下午14：00 真空压力 氮气压力 压缩空气压力 上午9：00 日期 17 18 真空压力 氮气压力 压缩空气压力 下午14：00
是否异常 标准参数：≤10000级 1000级 正常：√ 异常：× 异常报告 解决措施
负责人
负责人
录表
记录员: 10 11 12 13 高陈 14 15 16
-DII型
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