PVD工艺特点
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Zr3N4 ，Zr2N2 和Zr3N8 ，氧化物有 Zr2O3 （绿色） 和 ZrO（紫色）
? 3.2 PVD 技术应用 ? 真空阴极弧物理蒸发过程包括将高电流，低电压的
电弧激发于靶材之上，并产生持续的金属离化。被 离化的金属离子以 60至100eV平均能量蒸发出来形 成高度激发的离子束，在含有惰性气体或反应气体 的真空环境下沉积在被镀工件表面。真空阴极弧物 理蒸发靶材的离化率在 90%左右，所以与磁控离子 溅射相比，沉积薄膜具有更高的硬度和更好的结合 力。然而，由于阴极弧蒸发 过程非常激烈，与蒸 发过程较为平和的磁控离子溅射相比，阴极弧蒸发 过程中会产生较多的有害杂质颗粒，这限制了真空 阴极弧物理蒸发在要优质表面质量场合的应用。
? 硬度：2800HV
涂膜厚度： 2-4微米
A
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? 热稳定性： 550 oC或1000 oF
? 氮化碳钛（ TiCN）
? 氮化碳钛（ TiCN）涂膜呈中灰色或古铜色，表 面硬度接近 90洛氏硬度，摩擦系数约为 3。氮化 碳钛（TiCN）涂层的热稳定性可达 750 oF 。涂布 氮化碳钛涂层的刀具，其防止研磨料、易胶粘料 以及难加工材料（如：铸铁、铝合金、工具钢、
膜被认为最具市场价值 。它的基本原理是：在真
空室中利用弧光放电将镀料（钛等金属或合金）
熔化并蒸发离化生成等离子体，通过电场进行加
速并与反应气体生成金属化合物（如 TiN ），最后 沉积在工件表面。 与其它真空镀膜方法相比 ,电弧 镀膜具有离化率高，可镀多种膜层，膜层质量好，
成膜效率高，靶可以任意方向放置，可制造大型
多种超硬薄膜包括氮化钛（ TiN）、碳化钛 （TiC）、氮碳化钛（ TiCN）、氮化锆（ ZrN）、 氮化铬（CrN）、氮化铝钛（ TiAlN），MoS2等。
?
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? PVD氮化鉻超硬陶瓷薄膜具高硬度 (Hv21002400), 抗蝕性強, 耐高溫氧化 (800℃),超高附著力 及可在中、低溫範圍 (200-400 ℃)加工處理之特性 , 非常適合作模具表面加工。
各市场预测、全球产业结构调查分析等等。全
书含 138 幅图表共 21A5 页。
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? 建霖PVD工艺流程:
? 2.1上挂 ? 2.2清洗 ? 2.3镀膜 ? 2.4下挂、细检 ? 2.5包装、装箱
A
3
? 2.3.1镀膜原理及设备介绍
? 离子镀膜技术是一种的在真空中进行的物理气相 沉积（ PVD ），包括电弧镀膜、空心阴极镀膜、 磁控溅射、离子束镀膜等许多方法，其中电弧镀
铜、钛合金等）的磨损作用加强了。对刀具进行 氮化碳钛（ TiCN）涂膜，可使其寿命延长 8倍之 多，同时提高了进给速度和进给量。当然了，延
长刀具寿命和提高进给速度、进给量也和其它一 些因素有关，比如具体的操作类型、冷却剂类型
设备，可在较大范围内控制温度等优点，使其成
为工业化生产的首选镀膜方法。其典型涂层有
TiN,TiC,ZrN,TiCN,TiAlN,CrN,Ti,Cr,Ni 等，主要用
于各种材料的装饰镀膜和A 工膜具功能镀膜。
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6பைடு நூலகம்
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? PVD镀种及应用 ? 3.1锆化合物 ? 锆的氮化物除了稳定的 ZrN 外，还有Zr3N2 ，
PVD工艺特点
----ＰＶＤ制程查核重点管控 及重点镀槽的维护周期、注 意事项
2006.9.12
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? PVD的发展前景
? 2005 年全球物理气相沈积法（ PVD）的市场规 模达到 52 亿美元，未来则将以 10.1％ 的年成 长率持续扩展至 2010 年的 84 亿美元左右。
? 擅长多领域市调分析，著重成长市场的
Business Communications Company, Inc. （总公司：康州），调查分析了物理气相沉积
法的全球市场后，出版了一本综合报告书
停票楳慣?慖潰?敄潰楳楴湯?噐?
。报告书
内容包括：沉积技术与未来趋势概要、 PVD 的
应用与特性、需求趋势评估与对 PVD 的影响、
各行业的市场牵引力、沉积材料、至 2010 年的
产品，例如：钟表、首饰、灯饰各种门把、锁、 餐具类、body piercing卫浴设备、五金 .、镜架、 眼镜配配件等装饰物。颜色有 枪色、蓝枪色、钛 金色、红钛金色、锆金色 .香槟色、钛灰色等不同 的颜色，还有根据客户需要设计推荐极具市场争 力的色种。
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? 3.3镀种 ? 已稳定在装饰镀膜与工具镀膜两方面上被覆处理
A
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? PVD 技术目前在装饰镀膜与工具镀膜两方面得到 广泛应用 ： 一、超硬薄膜 应用于工业的超硬薄膜，要求硬度而且耐磨的 产品，例如 :冲、压、挤等之模具及精密模具。所 有表面需耐磨、抗腐蚀、需要润滑之机械等零件。 提高了产品寿命（ 2—10倍），提高了切削速度 和工件表面的光洁度。
? 二、裝飾薄膜 ? 应用于生活用品的装饰薄膜，要求表面装饰美观
类金刚石涂层 (DLC)---Ti+DLC 涂层具有良好硬 度及低摩擦系数，适用于耐磨性表面、铸模、冲
模、冲头及电机原件； Cr+DLC涂层为不含氢的固 体润滑溅射涂层，适用于汽车部件、纺织工业、
讯息储存及潮湿环境。
含MoS2 的金属复合固体润滑涂层 —适用于铣 刀、钻头、轴承、及极低磨擦需求的环境、如航
空及航天科技的应用
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? 涂膜的类型及应用氮化钛（ TiN）
? 氮化钛（TiN）
? 涂膜呈金黄色，表面硬度接近 81洛氏硬度，摩擦系数 约为4。氮化钛（ TiN）涂层是现金最常见的气相沉积 （PVD）硬质涂层。它既有艳丽的外表又有不错的性 能品质，而且十分安全（达到了美国食品及药物管理 局有关植入人体器件以及食品接触用具的安全标准）。 氮化钛涂层具有良好的防腐蚀、热转移、防磨损等功 用，能应用在很多种类的材料上，包括铁、硬化钢、 不锈钢等。 在成型操作中，对要处理的工件进行氮化钛（ TiN） 涂膜可改善其表面性能，从而减少工件材料发生卡滞 和咬焊现象。对刀具进行氮化钛（ TiN）涂膜，可使其 寿命延长 3至8倍，同时提高了进给速度和进给量。当 然了，延长刀具寿命和提高进给速度、进给量也和其 它一些因素有关，比如具体的操作类型、冷却剂类型 等。
? 3.2 PVD 技术应用 ? 真空阴极弧物理蒸发过程包括将高电流，低电压的
电弧激发于靶材之上，并产生持续的金属离化。被 离化的金属离子以 60至100eV平均能量蒸发出来形 成高度激发的离子束，在含有惰性气体或反应气体 的真空环境下沉积在被镀工件表面。真空阴极弧物 理蒸发靶材的离化率在 90%左右，所以与磁控离子 溅射相比，沉积薄膜具有更高的硬度和更好的结合 力。然而，由于阴极弧蒸发 过程非常激烈，与蒸 发过程较为平和的磁控离子溅射相比，阴极弧蒸发 过程中会产生较多的有害杂质颗粒，这限制了真空 阴极弧物理蒸发在要优质表面质量场合的应用。
? 硬度：2800HV
涂膜厚度： 2-4微米
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? 热稳定性： 550 oC或1000 oF
? 氮化碳钛（ TiCN）
? 氮化碳钛（ TiCN）涂膜呈中灰色或古铜色，表 面硬度接近 90洛氏硬度，摩擦系数约为 3。氮化 碳钛（TiCN）涂层的热稳定性可达 750 oF 。涂布 氮化碳钛涂层的刀具，其防止研磨料、易胶粘料 以及难加工材料（如：铸铁、铝合金、工具钢、
膜被认为最具市场价值 。它的基本原理是：在真
空室中利用弧光放电将镀料（钛等金属或合金）
熔化并蒸发离化生成等离子体，通过电场进行加
速并与反应气体生成金属化合物（如 TiN ），最后 沉积在工件表面。 与其它真空镀膜方法相比 ,电弧 镀膜具有离化率高，可镀多种膜层，膜层质量好，
成膜效率高，靶可以任意方向放置，可制造大型
多种超硬薄膜包括氮化钛（ TiN）、碳化钛 （TiC）、氮碳化钛（ TiCN）、氮化锆（ ZrN）、 氮化铬（CrN）、氮化铝钛（ TiAlN），MoS2等。
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? PVD氮化鉻超硬陶瓷薄膜具高硬度 (Hv21002400), 抗蝕性強, 耐高溫氧化 (800℃),超高附著力 及可在中、低溫範圍 (200-400 ℃)加工處理之特性 , 非常適合作模具表面加工。
各市场预测、全球产业结构调查分析等等。全
书含 138 幅图表共 21A5 页。
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? 建霖PVD工艺流程:
? 2.1上挂 ? 2.2清洗 ? 2.3镀膜 ? 2.4下挂、细检 ? 2.5包装、装箱
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? 2.3.1镀膜原理及设备介绍
? 离子镀膜技术是一种的在真空中进行的物理气相 沉积（ PVD ），包括电弧镀膜、空心阴极镀膜、 磁控溅射、离子束镀膜等许多方法，其中电弧镀
铜、钛合金等）的磨损作用加强了。对刀具进行 氮化碳钛（ TiCN）涂膜，可使其寿命延长 8倍之 多，同时提高了进给速度和进给量。当然了，延
长刀具寿命和提高进给速度、进给量也和其它一 些因素有关，比如具体的操作类型、冷却剂类型
设备，可在较大范围内控制温度等优点，使其成
为工业化生产的首选镀膜方法。其典型涂层有
TiN,TiC,ZrN,TiCN,TiAlN,CrN,Ti,Cr,Ni 等，主要用
于各种材料的装饰镀膜和A 工膜具功能镀膜。
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6பைடு நூலகம்
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? PVD镀种及应用 ? 3.1锆化合物 ? 锆的氮化物除了稳定的 ZrN 外，还有Zr3N2 ，
PVD工艺特点
----ＰＶＤ制程查核重点管控 及重点镀槽的维护周期、注 意事项
2006.9.12
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? PVD的发展前景
? 2005 年全球物理气相沈积法（ PVD）的市场规 模达到 52 亿美元，未来则将以 10.1％ 的年成 长率持续扩展至 2010 年的 84 亿美元左右。
? 擅长多领域市调分析，著重成长市场的
Business Communications Company, Inc. （总公司：康州），调查分析了物理气相沉积
法的全球市场后，出版了一本综合报告书
停票楳慣?慖潰?敄潰楳楴湯?噐?
。报告书
内容包括：沉积技术与未来趋势概要、 PVD 的
应用与特性、需求趋势评估与对 PVD 的影响、
各行业的市场牵引力、沉积材料、至 2010 年的
产品，例如：钟表、首饰、灯饰各种门把、锁、 餐具类、body piercing卫浴设备、五金 .、镜架、 眼镜配配件等装饰物。颜色有 枪色、蓝枪色、钛 金色、红钛金色、锆金色 .香槟色、钛灰色等不同 的颜色，还有根据客户需要设计推荐极具市场争 力的色种。
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11
? 3.3镀种 ? 已稳定在装饰镀膜与工具镀膜两方面上被覆处理
A
10
? PVD 技术目前在装饰镀膜与工具镀膜两方面得到 广泛应用 ： 一、超硬薄膜 应用于工业的超硬薄膜，要求硬度而且耐磨的 产品，例如 :冲、压、挤等之模具及精密模具。所 有表面需耐磨、抗腐蚀、需要润滑之机械等零件。 提高了产品寿命（ 2—10倍），提高了切削速度 和工件表面的光洁度。
? 二、裝飾薄膜 ? 应用于生活用品的装饰薄膜，要求表面装饰美观
类金刚石涂层 (DLC)---Ti+DLC 涂层具有良好硬 度及低摩擦系数，适用于耐磨性表面、铸模、冲
模、冲头及电机原件； Cr+DLC涂层为不含氢的固 体润滑溅射涂层，适用于汽车部件、纺织工业、
讯息储存及潮湿环境。
含MoS2 的金属复合固体润滑涂层 —适用于铣 刀、钻头、轴承、及极低磨擦需求的环境、如航
空及航天科技的应用
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? 涂膜的类型及应用氮化钛（ TiN）
? 氮化钛（TiN）
? 涂膜呈金黄色，表面硬度接近 81洛氏硬度，摩擦系数 约为4。氮化钛（ TiN）涂层是现金最常见的气相沉积 （PVD）硬质涂层。它既有艳丽的外表又有不错的性 能品质，而且十分安全（达到了美国食品及药物管理 局有关植入人体器件以及食品接触用具的安全标准）。 氮化钛涂层具有良好的防腐蚀、热转移、防磨损等功 用，能应用在很多种类的材料上，包括铁、硬化钢、 不锈钢等。 在成型操作中，对要处理的工件进行氮化钛（ TiN） 涂膜可改善其表面性能，从而减少工件材料发生卡滞 和咬焊现象。对刀具进行氮化钛（ TiN）涂膜，可使其 寿命延长 3至8倍，同时提高了进给速度和进给量。当 然了，延长刀具寿命和提高进给速度、进给量也和其 它一些因素有关，比如具体的操作类型、冷却剂类型 等。