厂务系统概述简单中文介绍

2.4 真空系统使用材质
PV 制程真空
HV 清洁真空
PVC SCH80/SUS 304 PVC SCH80/SUS 304
2.5 排气系统使用材质
Pump Line 制程高真空
GEX 一般排气
Solvent 有机排气
Acid/Ak 酸硷排气
SUS 316 BA/EP 镀锌螺旋风管 SUS 304全焊式不锈钢风管 不锈钢Teflon Coating风管
风管
Exhaust
风管
风机
大气
Others Exhaust
机台出口 Damper
风管
风机
Scrubber
大气
3.8 真空系统简略流程
PV
制程机台 使用点
一/二次管 二次盘
真空管路
真空储槽
真空 Pump
HV
配置需求 使用点
开关盒
真空管路
真空 清洁储槽
真空 Pump
3.9 化学系统简略流程
Chemical
2.1 水系统使用材质
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
SUS 304/高压软管 CPVC/PVDF/PFA SUS 304 SUS 304 SUS 304
2.2 气体系统使用材质
CDA 压缩干燥空
气
GN2 一般氮气
SUS 304L AP/BA/316L BA SUS 316L BA/EP
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
Vห้องสมุดไป่ตู้B/P
分配系统 化学管路
3.10 废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
3.11 废水处理系统简略流程
Waste Water Treatment
废水 收集槽
PH 调整槽
曝气槽
生物 接触槽
污泥 脱水机
1.2 气体系统在制程中的功能
CDA 压缩干燥空
气
GN2 一般氮气
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/洁净冲吹
PN2 纯化氮气
Purge/空间填充/超洁净冲吹
其他B-GAS 大宗气体
制程需求/空间填充/超洁净冲吹
S-GAS 特殊气体
制程填充需求/制程需求
1.3 化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
3.2 冰水系统简略流程
大气
冷却水塔 冷却 水
冰水主机 冷媒循环
冰水 回
MAU VAU
冰水
AHU
出 其他空调箱
板热
3.3 纯水系统简略流程
City Water 自来水
多层过滤器
阴/阳离子 交换树脂塔
RO Tank RO进水槽
热交换器
精密滤器 5μM 滤心
紫外线杀 菌灯
纯水储水槽
CEDI
精密滤器 1μM 滤心
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
RO 储水槽 逆渗透模块
核子级树脂
精密滤器 1μM 滤心
精密滤器 0.2μM 滤心
制程使用点
3.4 自来水/回收水系统简略流程
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
水表/隔离 阀
供应管线
使用点
冷盘/空调 箱
回收管线
回收水槽
使用点
3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程
CDA
大气 空压机
蓄压槽
初级 过滤器
2.6 排水系统使用材质
Drain 一般排水
Solvent 有机排气水
Acid/Ak 酸硷排气水
PVC/PVC SCH80 SUS 304不锈钢管 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
三、厂务系统流程
3.1 制程冷却水系统简略流程
原水补水
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
回水
机台冷却
冷冻式 干燥机
吸附式 干燥机
精密 过滤器
GN2/PN2
大气
氮气 产生器
液氮槽
蒸发器
使用点 减压站
一/二次管 二次盘
CQC
过滤器 纯化器
使用点
一/二次管 二次盘
CQC
3.6 其他大宗气体/特气系统简略流程
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器
CQC
He/Ar/Kr/H2…
钢瓶/Bundle Trunker
厂务系统概述
目录 一、厂务系统功能 二、厂务系统使用材质 三、厂务系统流程
一、厂务系统功能
1.1 水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释 冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用 原水/一般用水
污泥 收集槽
沉淀槽
澄清槽
污泥饼 储槽
运弃
PH 反应槽 聚合物 凝结槽
英文缩写对照
减压站
过滤器
使用点 纯化器 CQC
一/二次管 二次盘
一/二次管 二次盘
Specialty Gas
使用点
钢瓶
Cabinet 气瓶柜
管线
VMB/P 阀箱
管线
使用点
3.7 高真空/排气系统简略流程
Pumping Line
机台制程 Chamber
高真空 管路
真空泵
高真空 管路
Scrubber
GEX
机台出口 Damper