IC FAB 厂务系统简介

5. Grounding : ≦ 1Ω 6. Noise : ≦ 60 NC
7. Illumination : 750 ~ 800 lux for C/R；but photo area 500 ~ 600 lux with yellow light
8. Cleanness/ Temperature/ Relative humidity :
3.6m 3.6m " 2.7m
1000μ"/s 250μ"/s 1000μ"/s 250μ"/s
125μ"/s 500μ"/s
200 ㎏/m2
1,000 ㎏/m2 1,000 ㎏/m2 1,000 ㎏/m2 750 ㎏/m2 3.6m 1000μ"/s
Location 5F 6F 7F Penthouse Roof
外氣
水蒸汽
IC FAB / 廠務供應系統
新竹自水公司 軟 水 裝 置
飲 用 水
廢氣處理
清 洗 用 水
Acid Scrubber Solvent VOC
酸 鹼 廢 水
百度文库
空調 設施
廢氣
熱 水 ＊ 蒸 氣 ＋
UPW
DI
RO
自來水 儲存槽 (20000m3)
設備冷卻水 供應系統
208V/480V 電力供應站 22.8KV/4.16KV 電力供應站 外氣
Location Fab 3F Fab 5F SB 3F SB 5F Fab 5F Fab 1F ※ Floor name Level 1 C/R Cleaness Temperature 22.5± 1℃ 22.5± 1℃ 22.5± 1℃ 22.5± 1℃ 22.5± 1℃ 22.5± 2℃ Class 100T @0.3μ m Level 2 C/R Class 100T @0.3μ m Clean support Class 100T room @0.3μ m Clean support Class 100T room @0.3μ m CMP slurry area Class 100T @0.3μ m HPM area Class 100,000 @0.5μ m Relative humidity 43± 3﹪ 43± 3﹪ 43± 5﹪ 43± 5﹪ 43± 3﹪ 50± 10﹪
UPW: Ultra Pure Water .
FABUtility 說明(二)
環境偵測 :1. 消防, 毒氣和 一般FAB相同, 但增加C/R 地板漏液偵測功能. 2. 並採用符合NFPA(美國國家防火拹會)標準之Wet Sprinkle. Exhaust : 1. 為避免大型管線堵塞, 請 Module 機台能裝適當之 Local Scrubber, 做好對前置處理, 以增加系統管線之壽命. 2. 不採用塑料管線, Fab 採用不鏽鋼管加 + Teflon liner 抗化學反應特性佳, 且對防火風險能力大幅提昇.
2. Electrical power supply condition :
2-1. Voltage & Loading : 480V : 60Hz ± 0.5Hz, 3 phase 4 wire（R,S,T,G） 208V : 60Hz ± 0.5Hz, 3 phase 4 wire（R,S,T,G） 208V : 60Hz ± 0.5Hz, 3 phase 5 wire（R,S,T,N,G） 120V : 60Hz ± 0.5Hz, 1 phase 3 wire（L,N,G） ※ If tool loading of 208V is greater than 400A, we suggest to use 480V power source. ※ Process tool should follow IEEE standard 466 - electrical power voltage requirement.
FAB Utility 說明(一)
廠房 : FAB : 3F, (微震規格 ≦ 125u”/s) 5F, (微震限制 ≦ 500u“/s), EQ地震保護必須加強.
Clean Room : Class-100T/SMIF , MUA 有水洗功能對酸 鹼離子有少許去除功能, 但對濕度控制能力較佳。 Process Gas : 由 Module 決定材料品質, 管路傳送系統可達 ppt level, 管線/管件為 Electro polished S.S. Chemicals : 由 Module 決定材料品質, 管路傳送系統可達 ppt level, 管線管件為 PVDF.
FAB 1F Utility fab 2F Level 1 sub-fab 3F Level 1 C/R 4F Level 2 sub-fab 5F Level 2 C/R 5F CL +/- 4.8m 6F Upper truss 7F Office Roof MUA penthouse Roof of penthouse Supporting Building（SB） 1F Ware house 2F Raw material storage 3F Clean support room 4F Production supply room
( MXIC FAB-3 Utility Supply Condition & Limitation for Process Tool )
1. Building condition : 1-1.Floor load/ ceiling height/ vibration isolation :
Location Floor name Floor loading Ceiling height 1,000 1,000 1,750 1,000 1,750 750 400 200 750 ㎏/m2 ㎏/m2 ㎏/m2 ㎏/m2 ㎏/m2 " ㎏/m2 ㎏/m2 ㎏/m2 ㎏/m2 Vibration Required Vibration Goal
3. EMI：＜10mG dc &＜1mG ac, and maximum 0.2 mG variation over 5 minutes near
sensitive equipment.
4. ESD：
4-1. Raised floor and concrete floor = 10E6~5× 10E8Ω/□ 4-2. Clean room wall = 10E6~5× 10E8Ω/□ 4-3. Voltage : ＜100 V level 4-4. Photo area : discharge time: +1000V to +100V under emitter＜40 sec.
Bulk Gas : PN2, PO2, PH2, PAr, PHe, purifier . (≦ 1 ppb)
UPW : RS ≧ 18.25M, impurity 可達 1ppb 水準.
MAU: Makeup Air Unit,
fab-3\fab3utility說明1.ppt
S.S.: Stainless Steel,
※ Pressurization hierarchy : Fab ＞ Adjacent supporting C/R 15 Pa ＞ Adjacent non-C/R 15Pa
9. Exhaust :
9-1. Exhaust pressure at POU ≦ -30mmAq 9-2. Exhaust type : GEX : General exhaust for heat emission and non-hazardous gaseous material emission. SCX : Scrubber exhaust for acid gaseous material emission. ACX : Base scrubber exhaust for gaseous alkaline material emission. SOX : Solvent scrubber exhaust for gaseous volatility material emission. ※ All of emission with harmfulness should be pre-treated by local scrubber, unless it could be dissolved in water completely. ※ These exhaust systems haven't capability of particulate treatment, if process tool's emission with particulate, then it should own itself local scrubber to treat this. ※ If the solvent possess corrosiveness ( such as EKC ), that should be pointed out especially.
1-4-1. For process tool transportation : A. Load capacity : 8 tons B. H × W × D : 3.4m × 3.0m × 5.0m C. Door size（W×H） : 2.8 m × 3.4 m 1-4-2. Only for W/H material transportation : A. Load capacity : 5 tons B. H × W × D : 3.4m × 3.0m × 5.0m C. Door size（W×H） : 2.8 m × 3.4 m
1-2. Raised Floor :
A. Load capacity : 1,500㎏/m2 B. Concentration load : 70~80㎏/㎝2
1-3. Door size for process tool move-in route :
W×H : 2.8 m × 3.4 m
1-4. Goods elevator :
(上坪溪) (竹東大圳) (寶山水庫) (永和山水庫)
園區儲水池 園區加壓站
柴油 儲槽
供應商
補 充 空 氣
溫 水
冰 水
DI 回收
pcw
EG + DUPS
161KV/22.8KV 電力供應站 台灣 電力公司 變電站
供 應 商
酸 /鹼 化學藥品 供應站
酸/鹼
HF 再生系統
TFMS/TFPS
潔淨室 (IC 製造設備) CIM + 晶片自動傳送 潔淨室 (IC 製造設備) 維修區/製造支援區
IC FAB 廠務系統簡介
H:\OK000\PUBOK000\PUBLIC\訓練課程教材\SCLIU\FAB-3廠務系統介紹.ppt
外氣
: EC Section : HC Section : PU Section : OP Section : RM Section
Fuel
供應商 天然瓦斯 LPG / 柴油
Fire Detection & Protection POU Monitor & Control FAC Monitor & Control
H2SO4 回收 有機溶劑
接地系統
液態氮 液氧 液氬 氦氣 氫氣
大地
氮氣供應商 氣体供應商
供 應 商
供 應 商
有機溶劑 供應站
酸 鹼 廢 水
IPA 再生系統
特殊氣體供應站
CDA
濃縮污泥 衛生排水
科管局 廢水/污水 處理站
外氣
空保 外氣 土保 水保
清潔用 真空
設備用 廢 真空 溶 有機溶劑 收集槽
劑 光 阻 劑
廢HF 酸 鹼 廢 水
環 保
合格環保 廢棄物 處理公司
磷 酸 回 收
DI 再生 廢水
HF 處理站
合格環保 處理公司
環 保
廢水中和處理站
溪
地下水
260\scliu\fac\FACTTSYS1.PPT, @2000\05\02.
Drain : 為達環評水資源回收 ≧ 85% 目標, 特增設回收水再生處理系統, 但需 Module 配合增加分流控制的軟硬體.
PCW : 採密閉循環系統, 水質控制較佳, hookup 管線採用焊接方式, 漏水 問題會比 Fab-2 少. 和 EQ 銜接部分仍用高壓軟管, 要特別注意管 線保護且拆裝時要特別注意. 其他 : 未和晶片直接接觸之廠務系統, 如 City Water, CDA, PV, NG, LPG, 廢水處理, 廢氣處理,… 等系統能力與品質大致和 FAB-2 相同.
Floor name Clean support room
Floor loading 1,000 ㎏/m2 750 ㎏/m2 400 ㎏/m2 400 ㎏/m2 200 ㎏/m2
Ceiling height 3.6m
Vibration Required 1000μ"/s
Vibration Goal
Mechanical room
C/R: Clean Room, CDA: Clean Dry Air, PV: Process Vacuum. NG: Nature Gas, LPG: Liquefied Petroleum Gas
fab-3\fab3utility說明1.ppt
Performance Criteria of Utility Supply System
As attachment-1.
2-2. Type : Normal Power : without supply when power outage Emergency Power : can sustain power failure more than 10 minutes Dynamic UPS : continuously supply even thought power outage