仪器名称半导体特性分析仪

仪器名称：半导体特性分析仪

数量：1套，进口

用途：器件、材料和半导体工艺参数分析。

技术指标（标注有*的部分为重要技术条款，不能有负偏离）：

1、最大电压源输出：200V；

*2、电压源设定最小分辨率：5μV；

3、最大电流输出：100mA；

*4、电流源设定最小分辨率：1.5fA；

*5、电压测量范围：1μV-200V；

*6、电流测量范围：0-100mA；

*7、电流测量最小分辨率：0.01fA；

*8、电流测量精度：10fA；

9、半导体特性分析系统主机具备计算机配置：CPU主频>2GHz，硬盘容量>120GB,带刻录CD驱动器，4个以上USB接口，内置100/10 MB以太网络接口，12英寸以上液晶显示器, Windows 7操作系统，可以外接显示器。

*10、系统配置：一台主机+ 两个源测量单元+ 两个前置放大器。