【CN209829705U】一种超声波清洗装置【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920584259.3

(22)申请日 2019.04.26

(73)专利权人 山东大海新能源发展有限公司

地址 257300 山东省东营市广饶县经济开

发区綦公路以北,西康路以西

(72)发明人 曾磊　张玉玉　纪杨　

(74)专利代理机构 北京中北知识产权代理有限

公司 11253

代理人 段秋玲

(51)Int.Cl.

B08B 3/02(2006.01)

B08B 3/12(2006.01)

B08B 13/00(2006.01)

(54)实用新型名称

一种超声波清洗装置

(57)摘要

本实用新型公开了一种超声波清洗装置，涉

及硅片处理设备技术领域。本实用新型，清洗槽

(2)是长方体结构，上方开口，超声波换能器(11)

安装在清洗槽(2)的底部外侧；清洗槽(2)、气缸

(6)分别安装于框架(1)上；气缸(6)通过圆柱齿

条(7)、齿轮(8)以及轴(9)连接拉杆(4)，拉杆(4)

的下端安装起落板(5)，起落板(5)位于清洗槽

(2)中；硅片支架(3)放置在起落板(5)上。与现有

技术相比，本实用新型，超声波清洗，不易破坏硅

片；硅片支架可上下移动，加速颗粒从硅片间脱

除出去，清洗彻底快速；对称布局双硅片支架，移

动平稳，单次清洗量大，

清洗效率高。权利要求书1页 说明书3页 附图6页CN 209829705 U 2019.12.24

C N 209829705

U

权　利　要　求　书1/1页CN 209829705 U

1.一种超声波清洗装置，其特征在于，

包括：框架(1)、清洗槽(2)、硅片支架(3)、拉杆(4)、起落板(5)、气缸(6)、圆柱齿条(7)、齿轮(8)、轴(9)、超声波换能器(11)；

清洗槽(2)是长方体结构，上方开口，超声波换能器(11)安装在清洗槽(2)的底部外侧；清洗槽(2)、气缸(6)分别安装于框架(1)上；

气缸(6)通过圆柱齿条(7)、齿轮(8)以及轴(9)连接拉杆(4)，拉杆(4)的下端安装起落板(5)，起落板(5)位于清洗槽(2)中；硅片支架(3)放置在起落板(5)上。

2.根据权利要求1所述的一种超声波清洗装置，其特征在于，

圆柱齿条(7)轴向分为两半，一半是光滑面，一半是齿条面；

拉杆(4)包括光杆区(401)和齿条区(402)，齿条区(402)是轴向分为两半，一半是光滑面，一半是齿条面；下端为光杆区(401)，上端为齿条区(402)；

气缸(6)与圆柱齿条(7)连接，齿轮(8)与圆柱齿条(7)的齿条面啮合连接，拉杆(4)的齿条区(402)的齿条面与齿轮(8)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种超声波清洗装置，其特征在于，

硅片支架(3)包括侧板(301)、支杆(302)、凸柱(303)，支杆(302)的两端分别安装在两侧的侧板(301)上，凸柱(303)在侧板(301)的外侧；

起落板(5)包括中心孔柱(501)和凹槽(502)；拉杆(4)的下端安装在起落板(5)的中心孔柱(501)中；硅片支架(3)的凸柱(303)放于起落板(5)的凹槽(502)中。

4.根据权利要求3所述的一种超声波清洗装置，其特征在于，起落板(5)上有四个凹槽(502)，四个凹槽(502)对称分布于中心孔柱(501)的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种超声波清洗装置，其特征在于，

清洗槽(2)包括：槽体(201)、支柱(202)；

框架(1)包括：底板(101)、支撑板(102)、安装板(103)、横向安装位(104)、第一垫板(105)、第二垫板(106)、安装槽(107)、轴安装位(108)、竖向安装位(109)、安装孔(110)；

齿轮(8)包括：第一齿轮(801)、第二齿轮(802)、第三齿轮(803)；

清洗槽(2)的支柱(202)立于框架(1)的底板(101)上支撑槽体(201)；框架(1)的支撑板(102)立于框架(1)的底板(101)上支撑安装板(103)；气缸(6)安装在框架(1)的横向安装位(104)处；圆柱齿条(7)嵌于固定在安装板(103)上的第一垫板(105)和第二垫板(106)上方的安装槽(107)中；第一齿轮(801)、第二齿轮(802)和第三齿轮(803)分别安装在轴(9)上，轴(9)安装在框架(1)的轴安装位(108)中；两个竖向安装位(109)在安装板(103)的两侧，竖向安装位(109)上方是安装槽(107)，下方是安装孔(110)，拉杆(4)安装在竖向安装位(109)中；

第一齿轮(801)与圆柱齿条(7)连接，两个拉杆(4)分别与第二齿轮(802)和第三齿轮(803)连接。

6.根据权利要求1所述的一种超声波清洗装置，其特征在于，在清洗槽(2)的底部外侧安装多个超声波换能器(11)。

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