电控系统使用说明书

阴极制备设备电控系统使用说明书

沈阳世昂真空技术有限公司

第一章概述

一系统构成

该电控系统是为阴极制备设备控制而设计的一套专门系统,它主要包括总控电源（附带加热控温电源）、分子泵电源、离子泵电源、升华泵电源和复合真空计。上述所有电源已安装在工作台上。

二主要功能和指标

1 总控电源

为系统所有用电设备供电以及对机械泵和升降机等的控制。说明：

（1）升降机的上升和下降互锁，即上升下降不会同时工作；

（2）机械泵与分子泵联锁，即必须在机械泵启动后分子泵方可启动。

2 加热控温电源

对烘箱进行加热控温，并具有超温报警保护和声音提示。其主要指标如下：（1）控温范围：室温—400℃；

（2）测温精度：±0.1℃。

3配套分子泵，离子泵及复合真空计都有相应说明书。

第二章安装

一供电要求:

该电控系统需三相四线380V（50Hz）工业动力电，总功率小于12KW。供电要求:

“总控电源”：

电压：3相380V（50Hz）

容量： 12KVA

要求：由3P32A 空气开关供电（空气开关采用工业用动力型），连接电缆采用四芯橡套：4.0mm2×3＋2.5 mm2×1 （厂方已配）

二安装

1 工作台接线

工作台内部线已有厂方人员接好，只需按照线两端标号对应接好即可，切勿接错，以免短路，甚至损坏设备。

2 系统接地线

将工作台后的接地端与实验室专用地线接地点牢靠接好。

注：地线必须接，而且要接牢靠

第三章操作

一检查

在系统上电之前必须对各路接线进行认真仔细检查,确认无误。尤其要重点检查核对交流供电电源接线是否正确,系统接地是否牢靠。

1 使用操作安全注意事项

设备操作人员必须高度重视电气安全问题，严格遵守用电安全规程，防止电气事故造成人身伤害或设备损坏。

（1）严禁带电拆卸接线端子、焊片、接插件等电气连接件！

（2）严禁带电打开电源机箱，接触任何电器元件！禁止无电气技术资格和相关经验者从事本说明书允许的故障排除工作。

（3）设备必须可靠接地。本系统中所有设备装置的金属外壳都应可靠接地（包括主机真空设备及两个电源机柜）。各部分电控装置按要求实行单闸（空气开关）供电，不允许一闸多用。

（4）经常对设备进行安全检查，确保电控单元绝缘良好，有可靠的接地或接零保护，检查有无漏电情况、绝缘老化情况；定期进行电气设备和保护装置的检查、检修、试验及清扫，防止造成电气设备事故和误动作。注意：务必事先断开所有电气设备的电源！

（5）更换保险丝时需断电进行。

二系统上电

合上为该系统供电的实验室开关柜上对应的空气开关,并闭合总控电源侧面的空气开关与总控电源后面板上的电源开关（船型开关），总控电源前面板“上电指示”灯亮。

三电气控制操作

按下总供电启动按钮开关，则为系统中各电子仪器仪表、真空泵和各个电控单元提供了供电电源和控制电源：

（1）AI-518P控温表进入上电状态。

（2）对控温表进行基本设置（详情见控温表说明书），厂方已设置好。

（3）在控温表上设定加热温度(具体操作见控温表说明书)。

（4）按下加热控制的启动按钮开关,则开始加热升温,到达设定的目标值即进入恒温控制调节。

其余操作见各配套电源使用说明书相关部分。

关机过程与上述开机过程相反。

第四章维护

由于该系统设计制造调试比较精心,电控系统是稳定可靠的。只要用户严格按照本说明书所阐述的操作程序和注意事项进行操作,通常不会出现什么重大故障。偶尔出现一次毛病大都是接插件接触问题, 或者保险丝烧断等方面的小故障,一般来说,用户都有能力自己动手维护。

现就几点关键注意事项在此再次强调如下：

1. 当系统带电时严禁对任何接插件进行插拔操作!

2. 系统务必接牢地线!

3. 外供电交流电源必须正确,功率必须保证规定标准。

4.更换保险丝时需断电进行

第五章 附录

1. 图1. 总控电源原理图

7C A B C N

电源盒复合真空计离子泵

A

N

1C 2C 2C 2QA 2TA 1QA 1TA 1C

ZK

1C 上电指示

总供电

机械泵1C

2C 1RD

GND

1ZD 2ZD CTZ1

CTZ3

CTZ4CTZ2

CZ1

机械泵

升降机SYJDQ-无水JD1

7C 5C

控温电源

123C 4C CTZ5

复合分子泵5C 5C

分子泵

2RD

3C 升降机

JD1

4C

4C 3C

XCKG YCKZ 加热电源

zkls

6C

6C

3QA

3TA

3ZD

电风扇

电风扇

序号

标号型号

数量

010203040506070809101112131415代云霄

代云霄沈阳世昂真空技术有限公司

1C 2C-6C 交流接触器 3TB4417交流接触器 3TB40171QA-3QA 1TA-3TA ZK 非自锁启动开关 非自锁停止开关 按钮开关 1ZD-3ZD 指示灯 220V CTZ1-5 电源安装插座 制图设计

7C 交流接触器 3TB4017（380V)SYJDQ 水压继电器XCKG 行程开关3RD

ZKLS 真空联锁1RD-2RD 保险丝（10A）3RD 保险丝（20A）