扩散泵的结构示意图和工作原理
扩散泵的结构示意图和工作原理
扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时，产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。
因喷嘴外面有机械泵提供的真空（1~10-1Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速（约200m/s），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（300～500），故能有效地带走气体分子。
气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
油扩散泵故障处理（1）扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
（2）泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
（3）被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
（4）泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃～40℃之间。
（5）泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
（6）泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。
a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。
c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
关于扩散泵返油问题通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题,关于扩散泵返油问题，得出如下几点：咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问题，则可判断没有返油。
如果返油，在泵口也可以看到有残留油污。
至于反油率，泵一生产出来就定了的，我们没有这个标准，也没有检测手段。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理引言：油扩散泵是一种常用的工业泵，广泛应用于石油、化工、制药等行业。
它的主要作用是将液体从低压区域抽送到高压区域，实现物质的输送。
油扩散泵的工作原理是通过油膜的扩散来实现液体的压力增加，这种原理有着较高的效率和可靠性。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理。
一、油扩散泵的基本结构油扩散泵通常由泵体、泵腔、压力传感器和控制系统等部分组成。
泵体通常采用高强度材料制成，以保证泵的密封性和耐腐蚀性。
泵腔是液体流通的主要空间，它由进口管道、出口管道和液体流动通道组成。
压力传感器用于监测泵的工作压力，以便实时调节泵的工作状态。
控制系统负责整个泵的工作过程的自动控制。
二、油扩散泵的工作原理油扩散泵的工作原理基于油膜的扩散效应。
具体来说，当泵启动时，泵腔内的液体经过进口管道进入泵腔，并在泵腔内形成液体膜。
随着液体的流动，液体膜逐渐减薄，从而形成了一个液体膜梯度。
在液体膜梯度的作用下，液体分子将向低压区域扩散，从而增加了压力。
同时，液体膜的减薄还会增大液体分子之间的相互作用力，使得液体分子更加紧密地排列在一起，从而进一步增加了压力。
三、油扩散泵的工作过程油扩散泵的工作过程可以分为吸液过程和压液过程。
在吸液过程中，液体通过进口管道进入泵腔，随后在液体流动的作用下，液体膜逐渐形成，从而实现了液体的吸取。
在压液过程中，液体膜梯度的形成使液体分子向低压区域扩散，进一步增加了压力。
同时，在液体分子之间的相互作用力的作用下，液体分子紧密排列，使得压力进一步增加。
控制系统会根据压力传感器的反馈信号，自动调节泵的工作状态，以保证泵的稳定工作。
四、油扩散泵的优点油扩散泵具有以下优点：1. 高效节能：油扩散泵采用油膜扩散的原理，工作效率高，能耗低。
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理
扩散泵是一种用于产生真空的设备，其工作原理基于气体分子的扩散过程。
以下描述了扩散泵的工作原理：
1. 泵的内部是一个密封的空腔，其中包含一个滑动的扩散器或者扩散阀和一个辅助泵。
2. 初始时，辅助泵首先工作，将气体从泵的内部抽出。
这使得在泵内建立起一个较低的压力。
3. 当泵内的压力降低到一定程度时，打开气体进入扩散器的阀门。
气体进入扩散器后，经过一系列的扩散过程被分解成低能级的分子。
4. 分子在扩散器内与固体表面相互碰撞，使得气体分子在表面上发生吸附，形成一层分子薄膜。
5. 这些低能级的气体分子不断地在泵的内壁上吸附并扩散，最终被辅助泵抽出。
6. 辅助泵不断将气体从泵的内部排出，保持泵内的压力低于环境压力。
通过上述过程，扩散泵能够有效地将气体从高压区域扩散到低压区域，从而产生真空。
需要注意的是，由于扩散泵无法直接抽取大气压力以下的气体，因此通常需要与其他类型的真空泵配合使用，例如旋片泵或者涡旋泵。
油扩散泵
三 结构原理
油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 蒸汽流导管和加热器构成
（一）油扩散泵的喷嘴结构
1 伞形喷嘴
2 喷射喷嘴 （排气口处，得到 超音速气流， 根据伯努利方 程可知此处压 力很低）
（二 ） 油扩散泵的分馏装置
采用分馏装置的作用： 采用分馏装置的作用：消除扩散泵油 中挥发性较高的轻馏分对泵的性能产 生不良影响的重要手段。 生不良影响的重要手段。
油扩散泵工作原理 四 油扩散泵工作原理
扩散泵油被泵外电炉加热产生油蒸气 油蒸气沿蒸气导管上升到管顶 油蒸气经伞形喷嘴向下喷出产生射流
接机 械泵
气体分子与射流中油分子碰撞 发生动量交换 气体分子与射流一起向下运动 油蒸汽与水冷的泵壁相遇而冷却回流 气体分子则被带到排气口附近被抽走
抽气示意图
五 油扩散泵的返流
油扩散泵
一 概述 二 油扩散泵特点 三 结构原理 四 油扩散泵的返流
扩散泵外形图
一 概述
油扩散真空泵是用来获得高真空和超高真空 的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、 的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、真 空冶炼等高科技领域。 空冶炼等高科技领域。 油扩散泵的工作压力范围10 ａ，其极 油扩散泵的工作压力范围10-1－10-６Pａ，其极 限压力是10 Pa。 限压力是10-8Pa。 油扩散泵一定要在压力低于4ห้องสมุดไป่ตู้Pa 40Pa的时候才能 油扩散泵一定要在压力低于40Pa的时候才能 开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。 1Pa才能启动 开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。 表示方法： 括号里面代表口径mm 表示方法：K-（） 注：括号里面代表口径mm
1 凝结于顶喷嘴表面上的油膜的再蒸发； 2 泵壁上凝结油膜的再蒸发和爬移； 3 喷嘴内喷出的高速油蒸汽流碰到泵壁后的 散射； 4 油蒸汽由喷嘴喷出后，由于油蒸汽分子的 热运动、碰撞、反弹，包括泵油爆沸产生 的飞溅和压力起伏引起的泵油分子直接向 高真空侧返流
机械、扩散、分子泵工作原理
油扩散泵工作原理油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成（见图）。
当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。
沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。
气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。
到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。
泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。
但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。
因此，要提高油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏（一、物质的分离和提纯基本原理混合物的分离是指用物理、化学方法将混合物中各组分分开，并恢复到原状态，得到比较纯的物质。
物质的提纯则只要将杂质除去即可。
物质提纯的原则为：不增（不引入新的杂质）、不变、易分离。
实验操作要简便，不能繁杂。
用化学方法除去溶液中的杂质时，要想把被分离的物质或离子尽可能除净，需要加入过量的分离试剂，在多步分离过程中，后加的试剂应能够把前面所加入的无关物质或离子除去。
二、常用的分离和提纯方法1.过滤过滤是除去溶液中混有不溶于溶剂的杂质的方法。
过滤时应注意：（1）一贴：将滤纸折叠好放入漏斗，加少量蒸馏水润湿，使滤纸紧贴漏斗内壁。
（2）二低：滤纸边缘应略低于漏斗边缘，加入漏斗中液体的液面应略低于滤纸的边缘。
（3）三靠：向漏斗中倾倒液体时，烧杯的夹嘴应与玻璃棒接触；玻璃棒的底端应和漏斗中有三层滤纸处轻轻接触；漏斗颈的末端应与接受器的内壁相接触，例如用过滤法除去粗食盐中少量的泥沙。
2.蒸发和结晶蒸发是将溶剂气化、使溶液浓缩从而使溶质析出的方法。
结晶是溶质从溶液中析出晶体的过程，可以用来分离和提纯几种可溶性固体的混合物。
加热蒸发皿使溶液蒸发时，要用玻璃棒不断搅拌溶液，防止由于局部温度过高，造成液滴飞溅。
当蒸发皿中出现较多的固体时，即停止加热。
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵是一种常用的真空设备，工作原理如下：
1. 取样阶段：在扩散泵开始工作之前，需要将待抽空的容器与环境隔绝，形成封闭的真空环境。
此阶段通过泵的阀门来实现。
2. 扩散阶段：打开泵的电源后，泵开始工作。
泵内有一个电加热器，通过加热使泵内的液体（通常是硅油）液化，形成一层薄薄的液体膜。
然后，在泵内放置一个扩散板，扩散板通常由耐高温的搪瓷制成。
靠近液体膜的一侧叫做热侧，远离液体膜的一侧叫做冷侧。
3. 扩散效应：当加热器加热后，液体膜会蒸发成气体。
气体沿着热侧上升，由于气体分子间的碰撞，会扩散到冷侧上凝结成液体。
因为冷侧的温度较低，气体会从高温区域快速扩散到低温区域。
通过这种方式，气体在泵的内部扩散，从而将容器内的气体抽除。
4. 抽排阶段：抽除的气体在泵的底部形成一个气体团，然后通过泵的出口排出。
排出的气体可以通过一系列的气体处理设备进一步处理，如冷凝、吸附等。
总结：真空扩散泵通过加热液体膜产生气体，利用气体的扩散效应将容器内的气体抽出，最终将气体排出泵外，从而实现真空环境的形成。
扩散泵工作原理
扩散泵工作原理
扩散泵是一种常见的真空设备，其工作原理主要依靠分子扩散的方式来实现气
体的抽取和排放。
在扩散泵中，气体分子通过扩散过程从高压区域向低压区域扩散，最终被排出系统。
下面我们将详细介绍扩散泵的工作原理。
首先，扩散泵由一个扩散泵体和一个扩散泵油组成。
扩散泵体内部有一个扩散
泵腔，腔内有一个旋转的叶轮，叶轮上有一些叶片。
当泵体内的叶轮旋转时，气体分子被叶片推向泵体的出口。
同时，扩散泵油在泵体内形成一层油膜，气体分子在扩散泵油的作用下不断扩散，最终被排出系统。
其次，扩散泵的工作原理是基于分子扩散的物理过程。
在扩散泵内部，气体分
子受到叶轮和扩散泵油的作用，不断向泵体的出口扩散。
由于扩散泵腔内压力低于外部环境压力，气体分子会不断向低压区域扩散，最终被排出系统。
这一过程是一个连续的扩散过程，直到系统内的气体完全被排出。
最后，扩散泵的工作原理还涉及到扩散泵油的作用。
扩散泵油在扩散泵内部形
成一层油膜，气体分子在油膜的作用下不断扩散，最终被排出系统。
同时，扩散泵油还能吸收气体分子中的水和杂质，保持系统内的清洁。
总的来说，扩散泵的工作原理是基于分子扩散的物理过程和扩散泵油的作用。
通过叶轮和扩散泵油的协同作用，扩散泵能够实现对气体的抽取和排放。
这种工作原理使得扩散泵在真空技术中得到广泛应用，成为真空系统中不可或缺的设备之一。
扩散泵
一、扩散泵原理示意图真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，它用于高真空区域工作，其工作压强范围是10-2～10-6pa。
油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。
·1、油扩散泵的概述：油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，也是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽真空的目的，所以会有水蒸汽喷射泵相似的特点。
不一样的一点是扩散泵工作在高真空区域，是获得高真空的主要设备。
其工作压强范围为10-2～10-6pa。
广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
2、油扩散泵的工作原理与结构：当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷射出来后，它的速度越来越快，压力及密度慢慢降低，喷射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环利用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，这样就可以逐级压缩，最后被前级泵抽走。
其抽速特性曲线如图所示。
3、油扩散泵的发展历程：历史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。
1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的冷凝泵。
这些泵以汞蒸气为工作介质，并且可以最终获得10-5帕的真空。
1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物。
1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。
这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。
从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就逐渐普遍使用，并打下了高真空技术的基础。
1960年代开始，油扩散泵又有了新的改变。
主要的改进是：①泵的材料采用放气量微小的不锈钢。
②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。
③改变结构，新款的油扩散泵在泵的进气口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40%。
扩散泵的工作原理
扩散泵的工作原理
扩散泵是一种常见的抽水机械，它利用涡轮原理将液体从低压区抽取到高压区，实现抽水功能。
扩散泵主要由叶轮、轴承座、涡轮壳、密封装置和电机等部件组成。
叶轮以旋转方式放置在涡轮壳内，外形像一个独特的“倒U”形，具有抽水能力，电机的轴上连接着叶轮，用来驱动叶轮的旋转，从而产生抽水作用。
叶轮的抽水原理是：当叶轮旋转时，液体会被吸入涡轮壳内，在叶轮的倒U型腔内流动，随着叶轮的旋转，液体在叶轮周围形成涡流，涡流的心部向叶轮中心聚集，即“汇聚”，而涡流的外部向叶轮外部分散，即“扩散”，因此液体从低压区被抽到高压区，实现了抽水作用。
在这个过程中，叶轮可以分为两个区域：叶轮心部和叶轮外部。
叶轮心部区域具有抽水能力，液体被吸入，在叶轮心部形成涡流，涡流的心部向叶轮中心聚集，并被抽到高压区。
叶轮外部区域只有扩散作用，液体在叶轮外部分散，涡流的外部向叶轮外部分散，不能实现抽水功能。
扩散泵的抽水效率受到很多因素的影响，如叶轮的形状、叶轮数量、叶轮直径、叶轮角度、涡轮壳的形状、涡轮壳内壁的粗糙度、叶轮轴承的阻尼等。
因此，在选择扩散泵时，应根据使用环境、抽水量和抽水高度等因素，选择性能较好的扩散泵，以保证抽水效率，提高工作效率。
扩散泵原理
扩散泵原理引言扩散泵是一种用于真空工艺的重要设备，它通过分子扩散的方式实现气体的抽取和排放。
本文将详细介绍扩散泵的原理以及其工作过程。
扩散泵的定义扩散泵是一种基于分子扩散运动原理工作的真空泵，它通过将气体分子从低浓度区域传递到高浓度区域，从而实现气体的抽取和排放。
扩散泵广泛应用于半导体制造、真空冶金、核工业等领域。
扩散泵的结构扩散泵通常由下列主要部分组成： 1. 泵体：承担容器和连接管道的作用，通常由不锈钢制成； 2. 加热器：用于提高泵体温度，以加快气体分子的扩散速度； 3. 砗磲：位于泵体内部，用于增大表面积以增强分子扩散效果； 4. 压缩器：用于增加泵体内部气体的压力，提高气体分子的扩散速度； 5. 冷却器：用于降低泵体温度，以防止泵体过热。
扩散泵的工作原理扩散泵的工作原理基于分子扩散运动的特性。
分子扩散是指气体分子由高浓度区域向低浓度区域的运动。
在扩散泵中，气体分子从进气口进入泵体后，会与砗磲表面发生碰撞，并因扩散效应被传递到高浓度区域。
在高浓度区域，气体分子会继续向其他方向进行扩散，最终被排出泵体。
扩散泵的工作过程扩散泵的工作过程可分为以下几个步骤： 1. 加热：泵体通过加热器加热，提高其温度，以加快气体分子的扩散速度。
2. 扩散：进入泵体的气体分子会在砗磲表面发生碰撞，并扩散到高浓度区域。
3. 排放：在高浓度区域，气体分子会继续向其他方向进行扩散，最终被从排气口排放出去。
4. 冷却：泵体在工作过程中会产生热量，冷却器用于降低泵体温度，防止泵体过热。
扩散泵的优缺点扩散泵具有以下优点： - 抽取速度快：扩散泵的分子扩散效应使得气体的抽取速度较高，可满足高真空环境下的抽取需求。
- 无油污染：扩散泵不需要使用润滑剂，因此不会产生油污染问题，适用于对气体纯净度要求较高的场合。
然而，扩散泵也存在一些缺点： - 温度限制：扩散泵需要通过加热来提高分子扩散速度，因此存在温度限制，不能处理温度过高的气体。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种常用于润滑系统中的泵。
其工作原理基于压力差和流体动力学。
油扩散泵通常由泵体、驱动装置和控制系统组成。
当泵体中的润滑油被泵入泵腔时，驱动装置通过驱动轴或齿轮将动力传递给泵腔，使其产生旋转。
当泵腔旋转时，离心力将润滑油推向泵腔的周围。
随着润滑油在泵腔内的推动，泵腔的体积逐渐减小，从而产生负压。
负压会使得泵腔外的润滑油通过进油管道流入泵腔内。
同时，泵腔旋转的惯性力也会将泵腔内的润滑油继续推向泵腔的外侧。
推动和惯性力的作用下，润滑油会在泵体内形成循环运动，不断扩散到润滑系统中的其他部分。
控制系统通常用于监测和调整泵的运行状态。
例如，当润滑油的流量过大或过小时，控制系统可以自动调节驱动装置的转速，以确保润滑油的供应适当。
综上所述，油扩散泵通过泵腔旋转产生负压和离心力，利用润滑油的流体动力学原理将油扩散至整个润滑系统中的各个部分。
这样可以有效地实现对润滑系统的润滑和冷却。
扩散泵原理
扩散泵原理一、扩散泵的概述扩散泵是一种常用于真空系统中的高效气体排放设备，其主要作用是将气体从高压区域输送到低压区域，从而实现真空度的提升。
扩散泵广泛应用于半导体、光学、仪器仪表等领域，其原理基于气体分子在高温下与金属表面相互碰撞而产生的扩散作用。
二、扩散泵的结构1. 扩散泵主体扩散泵主体通常由不锈钢或铝合金制成，内部设置有热阱和电加热器。
热阱位于扩散泵主体底部，其作用是收集被吸附在壁面上的杂质和水分，并通过电加热器将其蒸发掉。
2. 扩散泵转子扩散泵转子是扩散泵中最重要的部件之一，由不锈钢或镍合金制成。
转子上覆盖着许多小孔，当转子旋转时，这些小孔会与静止的固定板上的相应小孔对齐，并形成一系列漩涡，从而将气体从高压区域输送到低压区域。
3. 扩散泵冷却器扩散泵冷却器通常由水或空气冷却，其作用是降低扩散泵主体和转子的温度，从而减少气体分子在内部碰撞的机会，提高扩散泵的效率。
三、扩散泵的工作原理1. 气体分子的扩散当气体分子进入扩散泵主体后，会被吸附在内壁上，并通过热阱和电加热器蒸发掉。
在此过程中，气体分子与金属表面相互碰撞，并发生扩散作用。
这种作用类似于溶液中溶质分子向溶剂中自由移动的过程。
2. 气体分子的输送当转子旋转时，其上覆盖着的小孔会与固定板上的小孔对齐，并形成一系列漩涡。
这些漩涡将气体从高压区域带到低压区域，并通过出口管排放出去。
整个过程类似于离心式风机将空气吸入并排放出去的过程。
3. 温度的控制在扩散泵中，温度是一个非常重要的因素。
通过控制扩散泵主体和转子的温度，可以控制气体分子在内部碰撞的机会，从而提高扩散泵的效率。
通常情况下，扩散泵主体和转子会通过冷却器进行降温。
四、扩散泵的应用由于其高效、稳定、可靠等特点，扩散泵被广泛应用于半导体、光学、仪器仪表等领域。
在半导体工业中，扩散泵通常用于真空蒸镀和离子注入等工艺中；在光学领域中，扩散泵则用于真空蒸镀反射镜等设备中；在仪器仪表领域中，则用于真空测量设备和质谱仪等设备中。
金属油扩散泵工作原理
金属油扩散泵工作原理
1.金属油扩散泵的结构主要由泵头、泵座、阀体和阀芯组成。
泵头是金属泵的核心部件，它的形状像一个倒扣的漏斗，口径略
大于扩散管口径，使气体和扩散管直接接触。
扩散管是一种特殊
的空心圆筒式管道，其管壁上开有许多小孔，在流体通过时可使
气体和液体直接接触。
2.阀体是泵头与泵座之间的连接部件。
它是一个中空的圆筒，内装阀芯，阀芯上开有小孔。
当气体通过时，在扩散管内壁形成
真空并推动阀芯向外移动，当阀芯到达出口时与进口连通，而气
体则由小孔流出。
3.在泵座内装有一个单向阀，它的作用是防止气体倒流和防
止油从泵座侧面流出。
在金属油扩散泵中还装有一个精密机械弹
簧式安全阀，它可以防止在工作过程中由于油压变化或温度变化
而引起的油从扩散管中倒流。
4.金属油扩散泵一般可在-10~50℃范围内正常工作。
在工作
过程中若温度变化超过允许范围时，将引起油从泵座侧面流出。
—— 1 —1 —。
扩散泵的工作原理
扩散泵的工作原理
扩散泵是一种广泛应用于真空技术领域的设备，用于将气体从一个区域转移到另一个区域。
它的工作原理如下：
1. 汽缸和活塞系统：扩散泵的主要组成部分是一个圆筒形的汽缸，内部安装有一个活塞。
活塞通过连杆与驱动系统相连，可以往复运动。
在汽缸上有一个进气口和一个出气口。
活塞的运动会改变汽缸内的体积，实现气体的吸入和排出。
2. 差压控制系统：扩散泵内部还配备了一个差压控制系统，用于调节进出气口之间的压力差。
差压控制系统通过感测进气口和出气口之间的压力差，并根据设定值进行调节，以保持压力差在一定范围内。
3. 差压控制阀：差压控制系统中的差压控制阀是控制进出气口之间压力差的关键元件。
它能够根据差压控制系统的指令，调节进出气口之间的开启程度，从而改变气体的流动速度和压力差。
4. 分子扩散：当扩散泵启动后，活塞开始往复运动。
当活塞向外运动时，汽缸内的体积增大，导致压力下降。
此时，气体从进气口进入扩散泵，经过差压控制阀进入汽缸。
随着活塞继续运动，气体被推向出气口。
5. 凝结和扩散：由于扩散泵的操作温度较低，一些气体分子会冷凝在汽缸内壁上。
这些冷凝的气体分子会被活塞带到出气口，然后被排出泵外。
在这个过程中，扩散泵还通过分子扩散的方
式将气体从高压区域转移到低压区域。
通过以上工作原理，扩散泵能够实现将气体的压力从一个区域降低到另一个区域，从而创建和维持一个较高的真空环境。
扩散泵的结构示意图和工作原理
扩散泵的结构示意图和工作原理————————————————————————————————作者: ————————————————————————————————日期:扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时,产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。
因喷嘴外面有机械泵提供的真空(1～1０－1Pa)，故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器,即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速(约20０m/ｓ），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大(300~50０），故能有效地带走气体分子。
气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
油扩散泵故障处理（1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
(2)泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
ﻫ(3）被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
ﻫ(4)泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃~40℃之间。
ﻫ(5）泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
(6)泵在长期工作后,性能会逐渐变坏,应定期检修。
ﻫa. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
ﻫﻫb．零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗,并置于８0℃~1０0℃温度下烘干或用电吹风吹干。
c. 处理完后，按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
关于扩散泵返油问题通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题，关于扩散泵返油问题,得出如下几点:咨询了爱得华售后服务中心,他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响,与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致?如果确认这些都没有问题,则可判断没有返油。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理一、引言油扩散泵是一种常用的真空泵，主要用于高真空系统中的抽气和漏气检测。
其工作原理基于油分子在高温下蒸发并扩散到低压区域，从而形成真空。
二、油扩散泵的结构1. 泵体：通常由不锈钢制成，内部光滑无缝。
2. 油箱：位于泵体底部，用于存放工作介质（液态矿物油）。
3. 加热器：位于油箱下方，用于加热工作介质并提高其蒸发速率。
4. 气密性密封件：用于保证泵体内外的气密性。
5. 油雾分离器：位于排气口处，用于分离排出的油雾和气体。
6. 冷却器：位于排气口处，用于冷却排出的气体并凝固其中的油雾。
7. 电机及传动装置：用于驱动泵体旋转。
三、油扩散泵的工作原理1. 初始状态当油扩散泵处于初始状态时，加热器和冷却器均关闭。
此时，泵体内部的压力与外界相等，油箱中的液态矿物油处于静止状态。
2. 启动过程当电机启动时，传动装置会带动泵体旋转。
在泵体旋转的同时，加热器也开始工作，将油箱中的液态矿物油加热至高温状态。
高温下，液态矿物油开始蒸发并扩散到低压区域。
3. 扩散过程随着液态矿物油的蒸发和扩散，泵体内部的气体分子被逐渐排出。
由于扩散速度与气体分子数密切相关，因此在真空度较高的情况下，扩散速度会更快。
4. 排气过程当泵体内部的气体被排出后，它们会通过排气口进入冷却器。
在冷却器中，气体被冷却并凝固其中的油雾。
凝固后的油雾会落入油雾分离器中，并返回到油箱中重新循环使用。
5. 停止过程当需要停止油扩散泵时，加热器和电机会停止工作，泵体逐渐停止旋转。
此时，油箱中的液态矿物油会回流到泵体内部，泵体内部的压力也会逐渐恢复至初始状态。
四、总结油扩散泵是一种基于油分子扩散原理的真空泵。
其工作原理简单明了，但需要注意保持加热器和冷却器的合理使用，以确保油扩散泵在长期运行中能够稳定高效地工作。
扩散真空泵原理讲解
扩散真空泵原理讲解扩散真空泵是一种常用的真空泵，它通过扩散效应将气体从高压区域输送到低压区域，从而实现真空度的提高。
本文将从扩散效应的原理、扩散泵的结构和工作过程三个方面进行讲解。
一、扩散效应的原理扩散效应是指气体分子在气体分子之间的碰撞和相互作用下，由高浓度区域自发地向低浓度区域传播的现象。
在真空系统中，当气体分子从高压区域进入扩散泵的扩散室时，由于扩散室内气体分子的浓度较低，气体分子之间的碰撞频率减少，因此气体分子在扩散室内呈现出从高浓度区域向低浓度区域扩散的趋势。
二、扩散泵的结构扩散泵主要由扩散室、扩散器和冷凝器组成。
扩散室是气体分子扩散的空间，通常由不锈钢等材料制成，具有良好的气密性和耐腐蚀性。
扩散器是扩散泵的核心部件，一般由钨丝或钨网构成，它的作用是将进入扩散室的气体分子通过碰撞和相互作用将其扩散至冷凝器。
冷凝器则是将扩散室内的气体冷却至低温，使气体分子凝结成液体，从而实现真空度的提高。
三、扩散泵的工作过程扩散泵的工作过程主要包括压缩和冷凝两个阶段。
首先，气体从真空系统中进入扩散室，并在扩散器中受到加热，使气体分子具有较高的动能。
随后，气体分子在扩散室内通过碰撞和相互作用扩散至冷凝器，同时冷凝器将气体冷却至低温，使气体分子逐渐凝结成液体。
最后，凝结的气体通过冷凝器底部的排气口被排出系统外，从而实现真空度的提高。
总结起来，扩散真空泵通过扩散效应将气体分子从高压区域输送到低压区域，从而实现真空度的提高。
它的工作原理主要是利用气体分子之间的碰撞和相互作用，以及冷凝技术将气体分子逐渐凝结成液体。
扩散泵的结构包括扩散室、扩散器和冷凝器，其中扩散器是扩散泵的核心部件。
在扩散泵的工作过程中，气体先经过压缩阶段，再经过冷凝阶段，最终达到所需的真空度。
扩散真空泵的应用十分广泛，特别适用于对高腐蚀性气体的处理。
它在电子、化工、冶金等领域都有重要的应用。
通过对扩散真空泵原理的深入了解，我们可以更好地理解其工作原理和结构，为实际应用提供有力的支持。
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵是一种用于产生高真空的泵，其工作原理基于热扩散效应和定向压缩技术。
以下是真空扩散泵的工作原理：
1. 热扩散效应：真空扩散泵内部装有一个加热器，通过加热器对扩散泵内的油进行加热。
当油被加热时，其中的分子会因为热运动而迅速扩散。
2. 油蒸气流动：加热后的油开始产生蒸气，高速分子朝着低浓度区域移动。
这些油蒸气会在扩散泵内产生一个气流，将空气或气体分子排出。
3. 定向压缩：在真空扩散泵的上部，通常还会设置一个一维析出器，利用冷却水将流出的热扩散油蒸气冷却为液体油。
这样，油蒸气会被压缩成液体状，并因重力作用而向下流动，最终回到油箱内准备再次循环使用。
4. 气体抽出：通过热扩散效应和定向压缩的作用，真空扩散泵能够将容器内的气体逐渐排出，达到产生高真空的效果。
需要注意的是，真空扩散泵在工作过程中，必须保持较高的温度以维持油的蒸发。
因此，定期更换或添加新油是保持泵的稳定工作的重要因素之一。
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扩散泵的结构示意图和工作原理
当扩散泵油被电炉加热时, 产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出因喷嘴外面有机械泵提供的真空(1~101Pa),故油蒸气流可喷出一长段距离, 构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸
发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速
(约200m/s),高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大(300〜500),故能有效地带走气体分子。
气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
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图4AA-3扩散泵的结构图
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油扩散泵故障处理
(1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
(2)泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
(3)被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
(4)泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10C〜40C之间。
(5)泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
(6)泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。
a.泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80C〜100C温度下烘干或用电吹风吹干。
c.处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
关于扩散泵返油问题
通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题，关于扩散泵返油问题，得出如下几点：
咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷
却水；b、机器保养；c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问题，则可判断没有返油。
如果返油，在泵口也可以看到有残留油污。
至于反油率，泵一生产出来就定了的，我们没有这个标准，也没有检测手段。
后来咨询了湘潭宏大真空设备有限公司黄总(我们的老交道)，他们也生产油扩散泵，他认为，首先检查冷却水温和流量是否正常，是否有冷阱。
扩散泵返油可以通过观察发现：a、泵口周围(提升阀板压盖范围以外)有较多油污；b、扩散泵提升阀板背面有较多油污。
如果泵口和阀板都没有油，则可以判断没有返油。
目前我们还没有具体检测返油率的方法。
同时还咨询穗诚真空设备有限公司等多家公司，得出的结论都大同小异。
通过以上情况可以总结：一般情况，扩散泵生产厂家在生产泵时都有返油率这项指标。
最早的测试返油率的方法是用锡箔纸采样称重法，因其不准确而改用测试
罩采样、滴管收集法，这种方法精度太低，对于现有的低返油率扩散泵根本无法实施。
比较精确的方法应该用分压力测量和质谱分析法。
目前还没有专门用来测
油蒸汽分压力的仪器。
质谱分析法其原理复杂，一般技术人员操作困难。
综上所述可以得出：到目前为止，还没有一种有效测量返油率的方法，根据目前扩散泵
生产厂家和售后服务商的建议，可以通过观察泵口附近和阀板背面来判断是否返油，无须测量其返油率。
根据目前的情况，我们可以运用质谱分析法来测量真空室气体成分，也可
以了解其含油情况
油扩散泵的常见故障及原因
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏, 现将使用中经常出现的一些问题如述如下；
1）极限真空变低，原因：
a.系统中有渗漏；
b.系统太脏；
c.泵油污染；
d.加热功率不够；
e.冷却水不足;
f.过量或过冷的冷却水；
g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；
h.快冷管内有水。
2)抽气较慢，原因：
a. 加热功率低；
b. 油量不足；
c. 喷帽安装位置不当或受损。
3)进口压力波动，原因：
a. 加热器输入功率不当；
b. 油脱气；
c. 扩散泵进口前面系统有渗漏。
4)工作腔污染大，原因：
a. 前级压力高；
b.在高于10-1Pa压力下长期工作；
c.系统操作有误。
5)返油率过大，原因：
a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；
b. 加热功率不对；
德国博世真空泵机油更换顺序
※点击照片可以将图片放大
※加油完毕后运转一下泵，观察机油下降的程度。
特别是同时更换机油过滤器时更要注意油量。
※当心泵体及废油温度，以防止烫伤。
每次真空泵运行前注意泵油观察窗的油位状态及颜色，
如果 油变为黑色时应及时更换.罗茨泵第一次换油在运行
500小时 后，以后每3000小时换油；机械泵第一次换油在运行
150小时
后，以后每1000小时或3个月换油。
① 排油口
② 机油过滤器
③ 注油口
④ 机油观察窗（透明玻璃）
1 .切断电源，排出全部机
油。
（①） ※此操作前先将泵运转几分 钟，让机油稍加热后更容易 排出。
2.每更换两次机油时应 将机油过滤器也换掉（②）。
更换机油过滤器时应使用专
3.新过滤器丝口涂点润 滑剂
后用手旋紧既可。
4 .然后加入适量的新机油
5 .加至观察窗④）油量标准 线上面一点就可以了。
扩散泵油的返油过程示意图
扩散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下运动，由于随机的散射或带方向性的放射，从喷嘴喷出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移动，这样就形成了返流；返流是扩散泵系统的主要污染！
因此，为了减少返流，在喷嘴和被抽系统之间通常加上合适的捕集装置；例如：加上水冷的捕集器，可以使返流降低50%，而同时泵的抽速也只是降低10% 左右，不幸的是，捕集返流的效率越高，对泵抽速的影响就会越大；例如：一个用水或液氮冷却的几乎可以完全捕集返流的装置，可能会使抽速降低30% ！。