扩散泵和扩散喷射泵技术

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

扩散泵和扩散喷射泵技术

本文介绍和给出了扩散泵以及扩散喷射泵的主要尺寸、参数的设计与

计算，并对抽气速率、蒸发面积及喷咀设置与返流率等问题进行探讨。最后对

两种产品实例进行分析和计算，为产品设计、生产和改进提供参考和依据。

1、概述

自1913 年Gaede 发明扩散泵至今已有101 年，在此期间技术上已经有很大进步。现在生产的油扩散泵抽速已达到100000 L/s 以上，扩散喷射泵的抽速也达40000 L/s，蒸汽流真空泵在真空应用领域中起着十分重要的作用。尽管有许多其它类型的抽气方式也可以在高真空领域工作，但由于扩散泵结构简

单、操作和维护方便、使用寿命长、对各种气体均有较好的抽气特性，因而它

一直是获得高真空的主要抽气设备。而扩散喷射泵，由于抽气量大、反压力

高，因而需要的前级泵容量小，也是获得中真空较为理想的抽气方式。

2、抽气速率和抽气量

抽气速率是评定蒸汽流真空泵的最重要指标，为方便于不同尺寸产品的

比较，引入抽速系数这个词汇来评判最为合理。

抽气速率是指按国家标准在泵上放一个标准试验罩，并引入一个已知的

气体量Q，在稳定状态下，测量泵口压力P，因而得出抽气速率S=QP，抽速系数是指泵的实际抽速与泵入口处按分子泄流计算的理论抽速之比值。

Landfors 把一个7 in 直径的小试验罩放在一个35 in 扩散泵试验罩的顶部，如上个世纪80 年代，真空行业协会组织行业内企业到欧洲考察并引进两台油扩散泵作为样机进行泵的性能测试，测试地点选在兰州真空设备厂和北京仪器

厂，测试结果为：兰州厂测试结果(泵口直径准400 mm)抽气速率，在1.3 乘以