油扩散泵

三 结构原理
油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 蒸汽流导管和加热器构成
（一）油扩散泵的喷嘴结构
1 伞形喷嘴
2 喷射喷嘴 （排气口处，得到 超音速气流， 根据伯努利方 程可知此处压 力很低）
（二 ） 油扩散泵的分馏装置
采用分馏装置的作用： 采用分馏装置的作用：消除扩散泵油 中挥发性较高的轻馏分对泵的性能产 生不良影响的重要手段。 生不良影响的重要手段。
1 凝结于顶喷嘴表面上的油膜的再蒸发； 2 泵壁上凝结油膜的再蒸发和爬移； 3 喷嘴内喷出的高速油蒸汽流碰到泵壁后的 散射； 4 油蒸汽由喷嘴喷出后，由于油蒸汽分子的 热运动、碰撞、反弹，包括泵油爆沸产生 的飞溅和压力起伏引起的泵油分子直接向 高真空侧返流
二 油 扩散泵特点
1 获得的极限真空高，为10-5Pa. 2 在10-1-10-4Pa压强范围内，有恒定的大抽速，但 抽气量不大，正好与旋片泵衔接. 3 无运动部分，无磨损，寿命长. 4 结构简单，维护方便，制造方便，工作时安静. 5 工作介质是油，存在油污染. 6.被抽气体不能易燃、易爆、无腐蚀性. 7 启动慢.
油扩散泵
一 概述 二 油扩散泵特点 三 结构原理 四 油扩散泵的返流
扩散泵外形图
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ 一 概述
油扩散真空泵是用来获得高真空和超高真空 的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、 的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、真 空冶炼等高科技领域。 空冶炼等高科技领域。 油扩散泵的工作压力范围10 ａ，其极 油扩散泵的工作压力范围10-1－10-６Pａ，其极 限压力是10 Pa。 限压力是10-8Pa。 油扩散泵一定要在压力低于40Pa 40Pa的时候才能 油扩散泵一定要在压力低于40Pa的时候才能 开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。 1Pa才能启动 开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。 表示方法： 括号里面代表口径mm 表示方法：K-（） 注：括号里面代表口径mm
油扩散泵工作原理 四 油扩散泵工作原理
扩散泵油被泵外电炉加热产生油蒸气 油蒸气沿蒸气导管上升到管顶 油蒸气经伞形喷嘴向下喷出产生射流
接机 械泵
气体分子与射流中油分子碰撞 发生动量交换 气体分子与射流一起向下运动 油蒸汽与水冷的泵壁相遇而冷却回流 气体分子则被带到排气口附近被抽走
抽气示意图
五 油扩散泵的返流