扩散泵用油管理规定
扩散泵油管理规定
为了妥善保管和使用扩散泵油，特制定本规定。
1扩散泵油应有专用的存放区域，存放区环境要符合泵油的存储环境规定。严禁在阳光下曝晒和露天存放，要存放在阴暗、干燥和通风场合严防水分和灰尘的混入。
2不同种类的扩散泵油应分区存放，存放区贴好对应的标签。不得将不同种类的油品混合存放。
3油品使用前要检查油品的型号、批号、数量，做好记录。
4油品使用过程中出现异常现象要及时检查原因并做好相关记录。5不同牌号、品种的泵油不能混用，新旧油品不能混用。
6换油时应将泵体内使用过的油品排尽，清扫泵腔排尽残油，重复清洗数次，等洗净后换入新油。
7加油用具必须有是专用设备，应干燥、清洁，不应是盛过其它油品或溶剂的容器。
8取油或装油时要防止杂物混入油中，以免影响泵的性能。
9避免油品在高温下暴露大气，以免泵油氧化，影响性能。
10如吸入化学气体及溶剂，对泵油污染影响真空后，则必须作清洗换油处理。
11扩散泵油不能用于其他用途，只能用在扩散泵上。
12换油期限：
a．当泵油真空度下跌，满足不了需要时；
b．当泵油颜色变深，呈褐色时，均应当换油。
扩散泵的结构示意图和工作原理
扩散泵的结构示意图和工作原理 当扩散泵油被电炉加热时，产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的真空（1~10-1Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。由于射流具有高流速（约200m/s），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（300～500），故能有效地带走气体分子。气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。 油扩散泵故障处理 （1）扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。 （2）泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
（3）被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。 （4）泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在10℃～40℃之间。 （5）泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。 （6）泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。 a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。 b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。 c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。 关于扩散泵返油问题 通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题,关于扩散泵返油问题，得出如下几点： 咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问题，则可判断没有返油。如果返油，在泵口也可以看到有残留油污。至于反油率，泵一生产出来就定了的，我们没有这个标准，也没有检测手段。
油扩散泵的维修2005 3
收稿日期:2002202212 3选自骆定祚著,翟瞻莱主审的《实用真空技术》 (长沙:湖南科学技术出版社,1980年)第五章。真空杂志社应读者要求,邀请原作者骆定祚先生重新修订,翟瞻莱先生审查后重新发表。作者简介:骆定祚(19362),男,江苏省扬州市人,高工。1960年毕业于南京工学院无线电工程系电真空专业(现名东南大学电子工程 系),分配到774厂工作。曾被派参加筹建775厂,不久又去筹建770厂(曙光电子管厂)并在770厂工作多年后,受聘于香港华盛昌机械企业有限公司,到深圳筹建亨达莱真空公司。曾任深圳金光真空电镀厂厂长、总工,深圳高特真空镀膜公司总工程师,深视达实业有限公司总顾问,中国真空学会真空电子器件应用专业委员会副主任,中国真空学会深圳市真空学会副理事长。 主 审:翟瞻莱(19292),男,广西柳州市人,教授级高工,1953年毕业于北京大学物理系,曾在774厂、772厂、770厂工作,曾 任770厂(曙光电子管厂)副总工程师、总工程师、中国真空学会理事。 油扩散泵的维修 骆定祚 (深圳市深视达实业有限公司,广东 深圳 518001) 摘 要:本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值。关键词:扩散泵;维修 中图分类号:TH 3;TB 752 文献标识码:B 文章编号:100220322(2005)0320059203 M a i n tenance of o il vapour d iffusion vacuu m pu m p LUO D ing 2zuo (T op S olu tions Ind ustria l Co .L td .,S henz hen 518001,Ch ina ) Abstract :In th is article ,w h ich is one of kernel chap ters in the book “P racticalV acuum T echno logy ”and available to readers fo r reference ,summ ing up p ractical experiences of w o rkers and com bining theo ry w ith p ractice ,autho r has m ade m enti on of m aintenance technique of vacuum pump comp rehensively ,system atically and earnestly . Key words :vacuum p um p ;m ain tenance (上接2005年第2期第61页) 2.6.7.2 绘制被试泵进口压强与抽气速率关系特 性曲线图(参图37)。 图37a 是试验用真空系统示意图,在测定前级耐压和油锅压强时,保持泵进口压强在1×1023托,从前级管道经针阀(8)放入适量大气,通过充油的U 形管(7)、 (6)的液面差即得读数。抽速测定方法是:在5×1026托以下压强时用双规压差法;在5×1026托以上用定压法测定;在1×1023托以上压强则直接用热偶规读数。极限真空度的测试方法并不特殊:将泵抽至极限压强读数即得。注意这时应除去针阀。系统排气时应记取排气曲线逐点值画出曲线(图37b ),最后画出抽速与压强关系曲线(图37c )。在使用电离计读数时,冷阱中应加入冷凝剂。这就是用以研究图4所示的泵设计效果的方法,显然,从生产使用的角度看也就足够了。 3 真空系统的鉴定和清洗 真空系统中,损坏了的零部件如果修配完毕,或 者根据生产要求自行改进、设计的真空系统所需之零部件已准备就序,那么下一步应对这些零部件进行鉴定和清洗,只有事先做好了这些准备工作,后面系统安装和调试才会顺利。3.1 真空元件的鉴定 鉴定内容包括对于所使用的真空泵应检查其特性,主要是极限真空度和抽气速率能否满足要求。对一些主要零部件必须进行密封性能的鉴定;对玻璃零件是用机械泵抽空,用火花检漏器检漏;对金属零件通常是打气试漏,即在零件内打入压缩空气,放入水中或肥皂水中仔细观察因漏气所发生的连续气泡。用其他方便的检漏方法均可。真空元件的漏孔往往在焊缝处,需特加注意。密封性能要求高的地方,应用氦质谱检漏仪检漏。近来也有采用更方便直观的荧光检漏法找出漏隙的。3.2 清洁处理 为了使系统内不存在任何一点易于大量放气的物质以及除去蒸气压较高的物质,必须进行彻底的 第42卷第3期2005年5月 真 空 VACUU M Vol .42,No .3 M ay .2005
扩散泵和扩散喷射泵技术
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟 扩散泵和扩散喷射泵技术 本文介绍和给出了扩散泵以及扩散喷射泵的主要尺寸、参数的设计与 计算，并对抽气速率、蒸发面积及喷咀设置与返流率等问题进行探讨。最后对 两种产品实例进行分析和计算，为产品设计、生产和改进提供参考和依据。 1、概述 自1913 年Gaede 发明扩散泵至今已有101 年，在此期间技术上已经有很大进步。现在生产的油扩散泵抽速已达到100000 L/s 以上，扩散喷射泵的抽速也达40000 L/s，蒸汽流真空泵在真空应用领域中起着十分重要的作用。尽管有许多其它类型的抽气方式也可以在高真空领域工作，但由于扩散泵结构简 单、操作和维护方便、使用寿命长、对各种气体均有较好的抽气特性，因而它 一直是获得高真空的主要抽气设备。而扩散喷射泵，由于抽气量大、反压力 高，因而需要的前级泵容量小，也是获得中真空较为理想的抽气方式。 2、抽气速率和抽气量 抽气速率是评定蒸汽流真空泵的最重要指标，为方便于不同尺寸产品的 比较，引入抽速系数这个词汇来评判最为合理。 抽气速率是指按国家标准在泵上放一个标准试验罩，并引入一个已知的 气体量Q，在稳定状态下，测量泵口压力P，因而得出抽气速率S=QP，抽速系数是指泵的实际抽速与泵入口处按分子泄流计算的理论抽速之比值。 Landfors 把一个7 in 直径的小试验罩放在一个35 in 扩散泵试验罩的顶部，如上个世纪80 年代，真空行业协会组织行业内企业到欧洲考察并引进两台油扩散泵作为样机进行泵的性能测试，测试地点选在兰州真空设备厂和北京仪器 厂，测试结果为：兰州厂测试结果(泵口直径准400 mm)抽气速率，在1.3 乘以
k600t油扩散泵说明书
1. 主要用途 1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要 真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空 元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并 加烘烤等措施，可获得超高真空。 1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工 业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。 2. 工作原理简介 原理是用室温下饱和蒸汽压很 低的扩散泵油或硅油经油锅加 热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴 形成高速蒸汽射流作为工作介 质，靠扩散和携带完成抽气过程 的一种高真空获得设备。 图1、工作原理示意图 2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵, 使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸 发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和 携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气
体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级 泵抽走。 3. 性能特点 3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。 3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。 3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。 3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于 7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。 4. 油扩散泵的维护与保养 4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作 状态。各橡胶密封处应密封可靠。 4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状 态下方可加热。 4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命 并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就 放入大气,以免泵油氧化。 4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件 腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。 4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。
3号扩散泵油
3号扩散泵油 产品介绍： 3号扩散泵油是将一种深度脱蜡的润滑油，经真空分子蒸馏、硅酸铝吸附和薄膜脱气等工序加工生产而成。本品具有极低的饱和蒸汽压和合适的化学组成；具有理想的极限真空度和较高的抽气速度；具有极高的热氧化安定性，能长时间在较恶劣的环境下工作。 3号扩散泵油为各种类型的玻璃和金属扩散泵的工作液，适用于高真空蒸馏、真空冶炼、电子工业及原子能工业等要求获得高真空环境的系统。 3号扩散泵油也可以用作直联真空泵的工作液。 质量指标： 本产品采用小铁桶包装，每桶净重3.5kg，每包装箱6桶。
100#真空泵油 产品介绍： 本品采用高粘度指数的深度精制的石蜡基基础油，经过严格的分子蒸馏和吸附精制及薄膜脱气等工序加工生产而成。 本产品适用于各种容积真空泵（机械真空泵，包括直联真空泵）的密封与润滑，也适用于罗茨真空泵（机械增压泵）齿轮系统的润滑。可用于国内外各类机械真空泵，如英国Edwards、德国Leybold、法国Alcatel、日本Ulvoil等 本品粘度指数高，具有较好的粘温性能，润滑性优良，泵启动容易、能耗低；具有较低的饱和蒸汽压，优良的氧化安定性、很强的水分离性，在较高环境温度的使用中仍能保持高极限真空度和较快的抽气速率。 技术要求 本品一般采用4L塑料桶包装，净重3.5kg/桶，6桶/箱。或200L铁桶包装，净重170kg/
变压器油 产品介绍： 本品采用低黏度石油馏分为原料，经过特殊精制后加入抗氧剂调制而成。本品具有良好的氧化安定性能、使用寿命长；电器绝缘性能优异；散热性能好，传热迅速，产品性能稳定可靠，在严格的质量控制程序下生产，产品资源固定。 本品适用于变压器和有类似要求的电器设备中，作为变压器及油浸开关的绝缘油，也可用做其他电器绝缘油的冷却介质。 技术要求 包装： 本品一般采用200L钢桶包装，净重170kg/桶，也可以直接装铁路槽车和汽车槽车。
油扩散泵的结构及其工作原理
油扩散泵 油扩散泵是用来获得高真空度或超高真空度的重要设备，其主要特征尺寸为泵入口直径，当入口直径确定之后，其他连接尺寸和主要性能参数都有标准规定，在《真空设计手册》上均可查到。扩散泵的入口直径在65-1600mm之间，极限压力最低可达10-8Pa，工作压力范围为10-1-10-5 Pa，抽气速率可以从每秒几十升到几十万升，最大出口压力在30-70 Pa之间，最低返油率可达10-4mg.（cm2.min）-1。它广泛应用于真空冶金、真空热处理、真空镀膜、电子工业、航空航天、原子能等工业领域。 油扩散泵的结构 图1是扩散泵的结构示意图。 油扩散泵时借助于喷嘴中高速喷出的油蒸气喷流的动量而输运气体的真空泵。从这种意义上讲，应该称其为蒸气喷流泵，但发明人盖却强调气体扩散混入蒸气流的过程而命名为扩散泵，一直沿用至
今。用油形成蒸气的叫油扩散泵，用水银形成蒸气的叫水银扩散泵。因水银操作麻烦且对人体有害，现在已不大实用。 当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。 用三级喷嘴喷油形成喷流的扩散泵，随年代的发展如图1所示。扩散泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度（约200℃），产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断的扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子，是被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再碰到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，最后由前级泵抽走。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。 油扩散泵的工作压力范围10ˉ2Pa~10ˉ5Pa。
油扩散泵的工作原理与结构
1．概述 油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10-2～10-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。 2．油扩散泵的工作原理与结构 图3是扩散泵的结构示意图。 当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图4所示。 3．扩散泵的性能计算
(1)扩散泵的抽速S的计算[1] (4) 式中ω——蒸汽射流的平均速度 R(L)、R(O)——分别表示泵筒与喷咀帽的直径
a——蒸汽射流与泵壁的夹角 D——气体在射流中的扩散系数 (2)扩散泵每级最大压缩比(P2／P1)max的计算 (5) 式中ω、D——意义同(4) L——蒸汽射流长度 (3)蒸汽射流流谱的计算 扩散泵各级蒸汽射流的工作压强范围为10-2～l0-6Pa，在这样宽的领域里，蒸汽流从连续流向滑流、过渡流、分子流过渡。用一种理论解决上述各种流态中的问题是很困难的。通常，在连续流领域里，可用气体动力学理论去处理，在分子流领域里，可用分子流理论去处理。然而，处理两种流态之间的问题也是很困难的。为此，在处理蒸汽流问题之前，必须弄清楚所要处理的蒸汽流是属于那种流态。 M．Wutz建议用特征碰撞数Z大于10作为应用气体动力学的判据[2]。 (6) 式中C——油蒸汽分子的平均热运动速度(cm／s) l——蒸汽流中混合物分子的平均自由程，因射流中蒸汽分子密度n d》n g(混合物中空气分子密度)，所以l可看成是蒸汽分子的平均自由程(cm) L——蒸汽射流的长度(cm) V——蒸汽射流的平均速度(cm／s) 工作蒸汽在喷咀内的流动，可用一维定常等熵流的公式去计算，而工作蒸汽在喷咀外的流动比较复杂，往往是膨胀波、微压缩波和激波共存的复杂流场。 关于膨胀波的流场，可用下边的普朗特——迈耶流公式求解。对左伸膨胀波系，其计算公式为： （7） 对于右伸膨胀波系，其计算公式为： （8） 上二式中θ——气流方向角 λ——速度系数 K——气体绝热指数 C1，C2——积分常数 关于激波流场中的气流参数，由下面诸公式计算。 （9） 式中λ1——激波前的速度系数 λ2x——激波后的速度系数在x轴上的分量 λ2y——激波后的速度系数在y轴上的分量 K——气体绝热指数 (10) (11) (12) 上三式中P1、ρ1、T1及P2、ρ2、T2分别表示波前波后的压力，密度及温度 M1——波前气流马赫数 β——激波角 K——气体绝热指数。 根据膨胀波及激波流场中的诸计算式，可绘出扩散泵中各级射流流谱(如图3中的I级喷咀
硅油说明书_A
硅油 硅油通常指的是在室温下保持液体状态的线型聚硅氧烷产品。一般分为甲基硅油和改性硅油两类。最常用的硅油一甲基硅油,也称为普通硅油,其有机基团全部为甲基,甲基硅油具有良好的化学稳定性、绝缘性,疏水性能好。它是由二甲基二氯硅烷加水水解制得初缩聚环体，环体经裂解、精馏制得低环体，然后把环体、封头剂、催化剂放在一起调聚就可得到各种不同聚合度的混合物，经减压蒸馏除去低沸物就可制得硅油。 中文名硅油 别名环状聚二甲基硅氧烷 熔点-50℃ 水溶性PRACTICALLY INSOLUBLE 外观无色无味无毒不易挥发的液体 应用高级润滑油、防震油、绝缘油、消泡剂、脱模剂等 外文名Silicone oil 化学式(CH3)3SiO[（CH3）2SiO]n-Si（CH3）3 沸点101℃ 密度0.963 闪点300℃ 目录： 1硅油简介 化学性质 物理性质 2硅油的应用领域 3硅油制品及应用 4硅油的优缺点 硅油的优点 硅油的缺点 5产品包装 6对人体的危害 7假硅油的辨别方法 1 硅油简介 化学性质 硅油通常指室温下保持液体状态的线型聚硅氧烷产品，结构式如下：式中，R为烷基、芳基，R'为烷基、芳基、氢、碳官能基及聚醚链等；X为烷基、芳基、链烯基、氢、羟基、烷氧基、乙酰氧基、氯v、碳官能基及聚醚链等；n，m=0、1、2、3… 最常用的硅油，有机基团全部为甲基，称甲基硅油。有机基团也可以采用其它有机基团代替部分甲基基团，以改进硅油的某种性能和适用各种不同的用途。常见的其它基团有氢、乙基、苯基、氯苯基、三氟丙基等。近年来，有机改性硅油得到迅速发展，出现了许多具有特种性能的有机改性硅油。
硅油按化学结构来分有甲基硅油、乙基硅油、苯基硅油、甲基含氢硅油、甲基苯基硅油、甲基氯苯基硅油、甲基乙氧基硅油、甲基三氟丙基硅油、甲基乙烯基硅油、甲基羟基硅油、乙基含氢硅油、羟基含氢硅油、含氰硅油等；从用途来分，则有阻尼硅油、扩散泵硅油、液压油、绝缘油、热传递油、刹车油等。 CAS号：63148-62-9[1] 物理性质 熔点：-50℃ 沸点：101 °C(lit.) 折射率：1.403-1.406 闪光点：300℃ 密度：0.963 水溶性：PRACTICALLY INSOLUBLE 膨胀系数(25-100℃) ：9.45*10-3 硅油 硅油一般是无色（或淡黄色）、无味、无毒（近年来调查发现，此物质对人体有害）、不易挥发的液体。硅油不溶于水、甲醇、二醇和-乙氧基乙醇，可与苯、二甲醚、甲基乙基酮、四氯化碳或煤油互溶，稍溶于丙酮、二恶烷、乙醇和丁醇。它具有很小的蒸汽压、较高的闪点和燃点、较低的凝固点。随着链段数n的不同，分子量增大，粘度也增高，固此硅油可有各种不同的粘度，从0.65厘沲直到上百万厘沲。如果要制得低粘度的硅油，可用酸性白土作为催化剂，并在180℃温度下进行调聚，或用硫酸作为催化剂，在低温度下进行调聚，生产高粘度硅油或粘稠物可用碱性催化剂。 硅油具有卓越的耐热性、电绝缘性、耐候性、疏水性、生理惰性和较小的表面张力，此外还具有低的粘温系数、较高的抗压缩性）有的品种还具有耐辐射的性能。 2 硅油的应用领域 硅油的应用范围非常广泛。它不仅作为航空、尖端技术、军事技术部门 的特种材料使用，而且也用于国民经济各部门，其应用范围已扩大到：建筑、电子电气、纺织、汽车、机械、皮革造 纸、化工轻工、金属和油漆、医药医疗等等。 硅油及其衍生物的主要应用为：脱膜剂、减震油、介电油、液压油、热传递油、扩散泵油、
扩散泵返油
扩散泵返油 扩散泵冷却水水温偏高，易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上，这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温，做好记录，尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候，更应如此。 扩散泵的工作原理：它的原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。 所以说您的扩散泵工作时候上半部分不热是属于正常现象，请放心使用 也有可能是功率太大或者加的油过量，都可能导致返油。 什么型号的泵啊，哪个单位产的，和生产商问一下电炉丝功率和加油量，要不买一根新的，安上试试，如果还返油给我留言。 日本新科隆的泵。一直在用都还可以，最近才出现的问题。加热丝也确认过没有问题，油量也是一直在用没有加过，应该不是油量问题。我还是认为冷却不好。还有其它可能吗？ 你吧，用高压气分别从进水口和出水口充气，确认一下是否有堵塞的现象，也能清理一下水路的杂物什么的，如果是水路脏的话，以后还是准备一台循环水，用好一点的水，冷却就基本上不会出问题了。 感谢你的关注。 冷却水管道我已经清洁过了的。 我想会不会是油劣化掉了呢？ 不客气，一般来讲跟油氧化没多大关系，油如果氧化了会导致高真空上不去，应该不会造成返油。 你换油试试，也没准出现这样少见的情况。
我们是两个扩散泵。因为之前扩散1主阀上有油，所以我一直怀疑是扩散1的问题，前天有把喷油塔和主阀清洁过，还是没有改善。今天把扩散1的油换了，的确油色比扩散2的油色要黄得多。顺便我也把扩散2的主阀打开来清洁一下，结果发现扩散2主阀上有明显的油印。我想应该是扩散2在反油，今天给扩散2多加了一组水冷。晚上试一下，明天看结果。 你是专搞真空镀膜设备的还是其它都有在搞？ 你初步认为是扩散泵返油造成,那扩散泵的护网上肯定是油湖湖的,这是定返油的必定的条件! 这个问题应该如果解决?第一,最简单易行的清理是用30%的盐酸清洗扩散泵冷却水管道.让冷却水水温达到3度左右. 第二,较麻烦是对扩散泵进行一级保养,拆洗扩散泵,并清理扩散泵冷却管路,扩散泵一级保养,一般是一年一次. 第三,是把扩散泵前的护网换成冷凝网,对提高真空度有好处,但较麻烦,不推荐用此法. 扩散泵返油特征比较明显，容易判断： 一是观察该黑点特征，一般为圆形，大小不一，基本在产品正面，擦拭即掉； 二是观察该黑点分布特征，一般在高阀进气口附近同一高度分布，如果产品离出口比较远时也可能会广些，背面基本不会有； 三是出现返油时，产品出炉时应该能闻到或轻或重的油焦味。 建议两点： 一是检查扩散泵前级压力，在抽气时是否过高（不应高于10帕），如偏高须检查前级机组性能； 二是检查扩散泵泵体温度，在中部及以上应当是凉的，如果暖甚至热时，需要检查冷却水的效果，下调温控系统温度或增加温控系统。
扩散泵的原理
油扩散泵（见图7）是一种蒸气射流泵，当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其工作极限真空度在10-2～10-5 Pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2～10-4 Pa范围内。性能曲线见，见图8 影响扩散泵性能的因素： ①扩散泵油蒸气的返流。 a. 泵壁表面油膜和油滴的蒸发。 b. 喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。
c. 一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。 d. 喷口边缘高速油蒸气流的散射。 e. 室温下油沿泵壁向表面迁移。 ②气体分子的反扩散。 ③扩散泵油的裂化分解（油氧化没抽速）。 ④清洗不干净的真空泵，污染物留在泵内并重复循环。 针对以上原因，在使用油扩散泵过程中，增加了一些装置来防止上述现象的出现，真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力（≤40Pa）。尽量减少气体分子的反扩散。采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。 油扩散泵性能曲线（图8） 扩散泵的维护与保养及常见问题的处理： ①扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。 ②扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。 ③被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。 ④扩散泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在10℃～40℃之间。 ⑤扩散泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。 ⑥扩散泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。 a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。 b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。 c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
扩散泵
一、扩散泵原理示意图 真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，它用于高真空区域工作，其工作压强范围是10-2～10-6pa。油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。 · 1、油扩散泵的概述：
油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，也是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽真空的目的，所以会有水蒸汽喷射泵相似的特点。不一样的一点是扩散泵工作在高真空区域，是获得高真空的主要设备。其工作压强范围为10-2～10-6pa。广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。 2、油扩散泵的工作原理与结构： 当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷射出来后，它的速度越来越快，压力及密度慢慢降低，喷射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环利用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，这样就可以逐级压缩，最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图所示。 3、油扩散泵的发展历程： 历史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的冷凝泵。这些泵以汞蒸气为工作介质，并且可以最终获得10-5帕的真空。1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物。1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就逐渐普遍使用，并打下
油扩散泵真空系统的污染物处理措施
油扩散泵真空系统的污染物处理措施 油扩散泵抽气系统的最大缺点是油蒸汽的污染。系统中污染物的主要来源如下： (1)扩散泵油蒸汽的返流。这是最重大的污染源。 (2)系统中的零部件，在装配时用有油的手拿。用有油污的手套拿，这样粘染的有机分子可以造成系统内的污染。 (3)前级油封机械泵油的返流。这个问题也很严重，当入口压力较高时，在达到过渡区(1～10-1Pa)压力时，机械泵的油蒸汽即可直接进入扩散泵内，对系统直接进行污染。很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当停机械泵时如不及时向泵内放大气，机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。 (4)抽气系统中密封材料的放气造成的污染。特别是人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等，也同样造成严重的污染。
(5)当停泵后放大气时，使真空零部件在空气中粘污上水蒸汽，油烟等，造成对真空系统的污染。 消除系统油蒸气返流的具体措施为： (1)加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。 (2)通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。 (3)改善操作工艺，将扩散泵的加热功率调至最佳功率，避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中，返流将出现峰值，所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。
(4)在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。 (5)选用优质的扩散泵工作液。
真空泵用油换油使用注意事项 、换油方法、处理方法
真空泵用油/换油 使用注意事项、换油方法、处理方法 一、注意事项 ?真空设备用油在密封条件下保质期可以达到三年； ?油品应存放阴凉干燥处； ?油桶打开使用后，剩余的油应盖好密封盖，同时尽快用完剩余的部分，切勿混入其他粉末和液体杂质；?环境工具应保持干净，若用溶剂清洗后应烘干使用； ?根据真空泵的结构精度和使用环境，应选用相应精度品质的油品。 二、换油方法 ?将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机4~6 ，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。 ?换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。 三、真空泵换油后产生问题排除方法 ?泵出气口有喷油现象：油加的过多，减少油的加入量。 ?进气口长时间抽大气，应加以避免。 ?泵出气口有雾现象：检查进气口及其他部分是否有漏气。 ?真空度偏低：泵腔内及油中是否混入其他轻质液体，新换油后应适当运转一段时间；检查泵各密封部分是否有漏气现象；校对好检测仪表。 ?扩散泵、油增压泵换油注意事项：选用品质好的油品；换油时应全部倒出旧油；用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干；按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部；操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油。?扩散泵使用中产生的问题及排除方法： 真空度偏低：检查前级真空； 检查冷却水是否畅通，水温是否偏高； 冷却水管有没有部分堵塞； 电炉丝功率偏大或偏小； 供电电压是否偏低； 各喷油嘴装配不正确； 规管测量不准确； 仪表或导线不正常； 真空系统是否漏气； 工作室经长期使用残留镀层是否太厚； 由操作不当引起的油品很快氧化，即变红或变黑： 检查工作是是否忘记打开冷水； 真空系统存在较严重漏气； 扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内；
【CN209800376U】一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵【专利】
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920377026.6 (22)申请日 2019.03.25 (73)专利权人 肇庆市科润真空设备有限公司 地址 526060 广东省肇庆市端州一路南侧 (市财贸学校对面) (72)发明人 朱建明 (74)专利代理机构 广州市华学知识产权代理有 限公司 44245 代理人 谢静娜 (51)Int.Cl. F04F 9/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵 (57)摘要 本实用新型公开一种带内置式加热装置的 高真空油扩散泵，包括泵壳、泵芯组件和加热器， 泵芯组件设于泵壳内，加热器设于泵壳底部；加 热器内置于泵壳底部，加热器包括多组螺旋状的 加热管或多个环状的加热管，各加热管在泵壳底 部由中心向外周方向逐渐分布，各加热管的两端 从泵壳底部向外伸出外接热源，各加热管的端部 外周还设有助焊套，泵壳底部设有助焊环，加热 器安装时，助焊套伸入助焊环中并焊接固定。本 实用新型通过在泵壳底部设置内置式的加热器， 减少泵壳的热传导，一方面可降低加热器的热能 损耗，另一方面可有效降低泵壳外壁上冷却系统 的冷却能耗，从而大幅度降低高真空油扩散泵的 整体能耗， 达到节能环保的目的。权利要求书1页 说明书4页 附图5页CN 209800376 U 2019.12.17 C N 209800376 U
权 利 要 求 书1/1页CN 209800376 U 1.一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，包括泵壳、泵芯组件和加热器，泵芯组件设于泵壳内，加热器设于泵壳底部；其特征在于，加热器内置于泵壳底部，加热器包括多组螺旋状的加热管，各加热管在泵壳底部由中心向外周方向逐渐分布，各加热管的两端从泵壳底部向外伸出外接热源，各加热管的端部外周还设有助焊套，泵壳底部设有助焊环，加热器安装时，助焊套伸入助焊环中并焊接固定。 2.根据权利要求1所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热器中，每组加热管包括一至三圈连续的管体，各组加热管呈独立的螺旋状，相邻两组加热管之间首尾相接。 3.一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，包括泵壳、泵芯组件和加热器，泵芯组件设于泵壳内，加热器设于泵壳底部；其特征在于，加热器内置于泵壳底部，加热器包括多个环状的加热管，各加热管在泵壳底部由中心向外周方向逐渐分布，各加热管的两端从泵壳底部向外伸出外接热源，各加热管的端部外周还设有助焊套，泵壳底部设有助焊环，加热器安装时，助焊套伸入助焊环中并焊接固定。 4.根据权利要求3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热器中，每个加热管均设有两个端部，相邻两个加热管之间端部错开。 5.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热器中还设有呈发散状分布的多个辅助固定块，每个辅助固定块均连接于各加热管之间，各固定块底部设有供加热管嵌入的凹槽。 6.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热管沿水平方向均匀分布于泵壳的底部，加热管的端部弯折后竖直向下，在加热管的端部，加热管、助焊套和助焊环由内向外同心设置。 7.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热管为耐高温加热管。 8.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述泵壳的外壁缠绕有截面呈D形的冷却管，冷却管的平面侧与泵壳外壁相接触。 9.根据权利要求8所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述冷却管为铜管。 2
金属油扩散泵介绍
金属油扩散泵介绍 金属油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。金属油扩散泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。金属油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。 油扩散泵与水银扩散泵的比较 水银扩散泵是1915年发明的，但自1928年发现可以用油作为工作液体代替水银后，水银扩散泵不太被人们重视，油扩散泵便发展很快。 1938年已经出现了金属三级分馏油扩散泵，油扩散泵发展后，在大部分实验室研究工作和工业上的用途上，油扩散泵代替了水银扩散泵，这是因为油的蒸汽压比水银的小得多，因此使用水银扩散泵时，必须使用液体空气或干冰，而使用油扩散泵时只用冷水甚至空气冷却就可以了。 更重要的是，水银蒸气有毒性，因而在使用水银泵的实验内，如何避免水银蒸气散在室内空气中是很难的问题。尤其是，当玻璃的水银扩散泵发生炸破事故时，大量的热水银蒸气发散出来，对人更是危险。此外，水银对各种有色金属具有腐蚀性，也是它的严重缺点，但是油也有它的缺点，它很怕氧化，它的前级耐压低，在高电压的真空设备上，油的蒸气附在电极上会使耐压下降等等。因此，在油扩散泵发展以后，水银扩散泵在某些实验室用途上仍有它的特殊作用，不过大部分高真空工作中都用油泵。 金属油扩散泵的优点 金属油扩散泵最大的优点：金属油扩散泵坚固不易碰坏;其次是大型的扩散泵必须做金属的，现在一般大的玻璃油扩散泵速度只有100—200升/秒;而大的金属油扩散泵可以达到20000—40000升/秒，因此一切大型的真空设备都用金属的油扩散泵。由于大型玻璃活门难制，使玻璃油扩散泵更没有向大型方向发展的可能。另外，因为金属加工容易比玻璃精确，金属扩散泵易于制造，这也是它的优点。 金属油扩散泵的简单工作原理 当用机械泵把金属油扩散泵和被抽容器中的空气抽到很稀薄时，我们把金属油扩散泵的油用电炉加热到200℃左右时(各种油不同)，油的蒸气压上升到0.5—1毫米，蒸气便由各级喷口喷出，喷出方向是向下向外，打在水冷却的壁上便凝结流下，流回锅炉，不停地加热，油蒸气便不停地喷出来，喷出的蒸气分子流的速度 大约是每秒200米以上，原有的空气分子遇到蒸气喷流便被打下来，于是渐渐上面的气压便比下面的气压小，上面便形成了高真空，这便是最粗浅的扩散泵工作原理。 怎样提高金属油扩散泵能够达到的真空度 金属油扩散泵抽到极限真空时所剩余的气体包括下列各项:(1)反扩散的空气分子;(2)漏气;(3)出气、虚漏;(4)橡皮圈出气及透过性;(5)油的分解物;(6)油的蒸气等项。 为了提高真空，要采取下列措施： (1)使用好的油，不分解的以DC—703为最好; (2)加强分馏作用，我们的三级分馏扩散泵，除有分馏筒外，还加上分馏圈，通过油的孔都形成180°距离，使油尽量走长的距离; (3)为了消灭橡皮出气透过的作用，金属刀口泵或将是今后重点努力的方向; (4)为了减少油的吸收气体作用及加强内杂质的排出，我们采用了另一油扩散泵为前级，同时可以避免可能机械泵油反扩散的作用;
扩散泵硅油选择
扩散泵硅油选择 油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为１０－４～１０－５帕，工作压力范围为１０－１～１０－４帕，抽速范围为几十至十几万升／秒（１升＝１０－３立方米）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。 油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成（见图）。故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。由于射流具有高流速（约２００ｍ／ｓ），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（３００～５００），故能有效地带走气体分子。气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
影响扩散泵性能的因素： ①扩散泵油蒸气的返流。 ａ．泵壁表面油膜和油滴的蒸发。 ｂ．喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。 ｃ．一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。 ｄ．喷口边缘高速油蒸气流的散射。 ｅ．室温下油沿泵壁向表面迁移。 ②气体分子的反扩散。 ③扩散泵油的裂化分解（油氧化没抽速）。 ④清洗不干净的真空泵，污染物留在泵内并重复循环。 针对以上原因，在使用油扩散泵过程中，增加了一些装置来防止上述现象的出现，真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力（≤４０Ｐａ）。尽量减少气体分子的反扩散。采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。 清除蒸汽系统油蒸汽返流的措施 （１）加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。 （２）通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区（切换过渡区）。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的
真空泵油作用及使用注意事项
真空泵油作用及使用注意事项 真空泵油的主要作用 在导热油泵使用的过程中,由于真空泵油直接进入泵体内腔，在真空泵运行时，随着气体压强的逐渐降低，泵温的逐渐升高。油品中饱和蒸汽压高的分子组分 就能蒸发到真空的空间，即影响真空泵极限压强的达到，又可向真空系统返流 扩散，污染真空系统，并直接影响极限真空的获得。真空齿轮泵工作原理属于 正位移泵，导热油泵工作时依靠主、从动齿轮的相互啮合造成工作容积变化来 输送熔体。工作容积由泵体、齿轮的齿槽及具有侧板功能的轴承套构成。当齿 轮旋转时，熔体即进入吸入腔两齿轮的齿槽中，随着转动，熔体从两侧被带入 排出腔，齿轮再度啮合，使齿槽中的熔体被挤出排出腔，压送到出口管道。轴 承不能使用通常的润滑油脂，以避免污染熔体，通常采用熔体自润滑。 使导热油泵的工作室不断增大或缩小，当工作室的容积变得最小时，即 与真空泵的入气管连通，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间；当工作室的 容积扩大时，即与入气管分开，使容积阀就打开。泵腔内容积不断膨胀与压缩， 完成吸气和排气过程，使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行 时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环， 紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子导热油泵内壁必然依靠油品的润滑 性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。因 此，真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。 真空泵油的使用注意事项 (1)装油的窗口必须清洁干净,严禁在阳光下曝晒和露天存放，要存放在阴暗、干燥和通风场合严防水份和灰尘的混入。 (2) 取油或装油时,桶盖周围的小雨必须除尽，防止杂物混入油中，引起泵的磨损。 (3) 不同牌号，品种的真空泵油不能混用，新旧油品不能混用。 (4) 严格避免真空油与其它润滑油混合，更不能混入轻质油品，否是将会会影响真空性能。 (5) 真空泵应尽量避免抽除溶剂，水蒸气和有腐蚀性气体等，必须用时须勤检查、勤换油。 (6) 换油时应将泵体内使用过的油品排尽，将新油倒入后缓缓转动泵轴，清扫泵腔排尽残油，重复清洗数次，等洗净后换入新油。 (7) 泵大修时必须用溶剂或清洗剂将泵的各部件清洗干净，并将部件烘干。 (8) 加油用具必须有是专用设备，不应是盛过其它油品或溶剂的容器;抽泵。 (9) 矿物油与酯油或其它合成油互换时，应将泵拆开作彻底清洗。包括各零部件均须浸渍在酯油内以防污染。 (10) 如吸入化学气体及溶剂，对泵油污染影响真空后，则必须作清洗换油处理。 (11) 换油期限： a．当泵油真空下跌，满足不了需要时； b．当泵油颜色变深，呈褐色时，均应当换油。