ICP等离子体发射光谱仪

ICP等离子体发射光谱仪

仪器组成及工作原理

ICP等离子体单道扫描光谱仪,是多元素顺序测量的分析测试仪器。该仪器由扫描分光器、射频发生器、试样引入系统、光电转换、控制系统、数据处理系统、分析操作软件组成。等离子体是在三重同心石英炬管中产生。炬管内分别以切向通入氩气，炬管上部绕有紫铜负载线圈〈内通冷却水〉当高频发生器产生的高频电流（工作频率40MHz功率1KW左右）通过线圈时，其周围产生交变磁场，使少量氩气电离产生电子和离子，在磁场作用下加速运动与其它中性原子碰撞，产生更多的电子和离子，在炬管内形成涡流，在电火花作用下形成等离子炬（即等离子体），这种等离子体温度可达10000K以上。待测水溶液经喷雾器形成气溶胶进入石英炬管中心通道。原子在受到外界能量的作用下电离，但处于激发态的原子十分不稳定，从较高能级跃迁到基态时，将释放出巨大能量，这种能量是以一定波长的电磁波的形式辐射出去。不同元素产生不同的特征光谱。这些特征光谱通过透镜射到分光器中的光栅上，计算通过控制步进电机转动光栅,传动机构将分光后的待测元素特征谱线光强准确定位于出口狭缝处，光电倍增管将该谱线光强转变为电流，再经电路处理和V/F转换后，由计算机进行数据处理，最后由打印机打出分析结果。

仪器型号：HKYT-2000型

技术指标

整机技术指标

(1) 分析速度快

(2) 扫描范围：范围180~500nm、方式为正弦杆，由计算机控制的脉冲马达

驱动，最小扫描步距0.0005nm

(3) 波长示值误差和重复性：波长示值误差：± 0.03nm 重复性≤0.005nm

(4)相关系数≥0.9998%

(5) 精密度高相对标准偏差RSD≤1.5%（HKYT－2000型RSD≤2.0%）

(6) 稳定性：相对标准偏差RSD≤2.0%（HKYT－2000型RSD≤3.0%）

(7) 测量范围：超微量到常量

(8) 检出限低 ppb（ug/L）级(部分元素检出限见附录一)_

(9) 分析元素多可对72种金属元素和部分非金属元素（如B、P、Si、Se、

Te）进行定量或定性分析

(10) 测量方式单、多元素顺序测量

(11) 功率 800W—1200W 可调

(12) 操作便捷全新WindowsXP下运行的第三代多窗口升级中文或英文

分析软件速度更快，功能更全,多窗口多任务同时执行(国

内独此一家)

射频发生器（RF）

（1）电路类型：电感反馈自激式振荡电路、同轴电缆输出、匹配调谐、取功率

反馈信号，进行闭环自动控制。

（2）工作频率：40.68MHz ±0.05%

（3）频率稳定性：≤0.1%

（4）输出功率：800—1200W

（5）输出功率稳定性：≤0.3%

（6）电磁场泄漏射强度：距机身20cm

电场强度E：＜2 V / m

进样装置

（1）输出工作线圈内径25mm 、3匝

（2）炬管：三同心型，外径20mm的石英炬管

（3）同轴型喷雾器外径6mm

（4）双筒型雾室外径34mm

（5）观测位置纵向观察高低和横向观察前后，可通过软件直观地调为最佳（6）氩气流量计规格和载气压力表规格：

1等离子气流量计(100－1000)L/h (1.6－16L/min)

2辅助气流量计(10－100)L/h (0.16－1.66L/min)

3载气流量计(10－100)L/h (0.16－1.66L/min)

4载气稳压阀(0－0.4Mpa)L/h

5冷却水水温：15－25℃流量＞5L/min 水压＞0.1Mpa 冷却水：电阻率＞1MΩ

分光器

（1）光路：Czerny－Turner

（2）焦距：1000mm

（3）光栅规格：离子刻蚀全息光栅；刻线密度3600线/mm, 刻线面积：

80×110mm

(可选用刻线密度2400线/mm, 刻线面积：80×110mm) （4）线色散率倒数：0.26nm

（5）分辨率：≤0.008nm

（6）扫描波长范围：3600线/mm扫描波长范围：180—500nm

2400线/mm扫描波长范围：180—800nm

（7）步进电机驱动最小步距：0.0005nm

（8）出射、入射狭缝：20μm 、25μm

（9）反射镜规格：（78×105×16）mm

（10）透镜φ30, 1:1成像

（11）反射镜规格凹型

（12）分光器恒温装置：26℃±1℃

测光装置

（1）光电倍增管规格：R212UH或R928

（2）光电倍增管负高压：200—1000V 自动调节稳定性＜0.05%

（3）光电倍增管电流测量范围: 10-4~10-9A

（4）信号采集为V/F交换: 1mV对应100Hz

（5）采样电路使用国外高精密度运算放大器，使仪器的灵敏度和精确度大大提高

（6）仪器数据采集是通过串口与电脑连接，从而简化了电路使连接更加便捷（7）测光方式单、多元素顺序测量

仪器操作软件要求

（1）操作系统Windows XP 操作平台

（2）测定波长数任意选择

（3）数据库谱线库11万条以上

（4）多窗口在测量完一次结果后可以在显示窗口保留上次结果同时、测

量下一样品

（5）有标准加入法软件要有标准加入法，以便在不同条件和应用中下使用(6)分析模式软件默认最佳分析模式，拥有仪器诊断、谱图分析及几种测量

方式和几种积分模式，单位任选等多种功能

(7)历史数据库在历史数据库中，可以同时可选择性地打印想要打印的批次

分析结果

(8)输出数据要求软件支持激光打印机打印分析结果

计算机及输出设备

主机、显示器、打印机：根据用户要求提供。

1. 波长示值误差：±0.03nm 重复性≤ 0.005nm（专指HK－2000型）

2．扫描波长范围：189—500nm/3600线/mm,

189nm—800 nm/2400线/mm

3．测量分辨率：≤0.008nm

4．仪器的重复性：相对标准偏差RSD≤1.5%（HKYT-2000型RSD≤2.0%）5．仪器的稳定性：相对标准偏差RSD≤2.0%（HKYT-2000型RSD≤3.0%）6．代表元素的检出下限：µg/L（附录一）