镀膜机安全技术操作规程示范文本

镀膜机安全技术操作规程

示范文本

In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each

Link To Achieve Risk Control And Planning

某某管理中心

XX年XX月

镀膜机安全技术操作规程示范文本使用指引：此操作规程资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。

一、目的

消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威

胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发

生，实现安全正常生产。

二、适用范围

本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。

三、安全操作规程

1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补

充后再开机。

2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa

时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力

的溅射室。

3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。

4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。

5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电源。

6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。

7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。

8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。

9、更换靶材时，不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零

件，必须清除油污及汗渍。

10、开启溅射室盖时，室内应处于常压，决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。

11、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。

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