溅射薄膜压力传感器芯体 ver1 胡汉

输出阻抗
2.8~4.2KΩ
绝缘电阻
≥1000MΩ（100VDC）
工作温度范围
-70~+280℃
零点温度漂移
≤0.005%F.S/℃
热灵敏度漂移
≤0.005%F.S/℃
零点长期稳定性
≤±0.1%F.S/年
灵敏度（mV/V）及非线性
见附表 1
Datasheet Ver1 May.2012 For more information，please visit www-sensors-ic-com
X-Mag
新磁（上海）电子有限公司
溅射薄膜压力传感器芯体/敏感元件
产品概述 溅射薄膜敏感芯体采用离子束溅射技术将纳米薄膜应变电阻直接与金属弹性体紧密结合在陶瓷绝缘膜上，实现
了金属弹性体和绝缘膜的原子结合，具有耐腐蚀、抗振动、测量范围宽、测量精度高等特点。压力敏感元件通过与 压力接头焊接、敏感电阻引线焊接后，再进行参数补偿、信号调理、壳体封装等即可组装成满足不同压力和外形尺 寸的各种压力传感器。
外形结构与安装尺寸（单位：mm） 应变芯体结构图（￠7 mm）
X-Mag
新磁（上海）电子有限公司
上图为薄膜应变芯体结构图，其上表面为应变区域，下端为引压孔。
选型指南
代码 名称
GkB
溅射薄膜敏感元件
J
军用
M
民用
代码 桥路（可选）
1
开桥
2
闭桥
代码 补偿（可选）
A
不带 RE
B
带 RE
代码 焊接（可选）
1
产品特点
• 采用溅射工艺
• 长期稳定性好
• 激光调阻补偿零点和温度性能
• 输出信号线性化
• 宽量程，体积小型化
• 可实现智能化，数字化
性能指标
Biblioteka Baidu
技术参数
规格
测量范围
1、2、3、7、10、20、30、40、60、100、150、200MPa
允许过载
200%FS
激励电压
0~15VDC
输入阻抗
2.9~4.3KΩ
压焊
2
锡焊
代码 工作温度（可选）
C
常温（-30℃~80℃）
D
高温（-40℃~125℃）
E
高温（-70℃~280℃）
参考型号 GkBJ30MPa1A1C
Datasheet Ver1 May.2012 For more information，please visit www-sensors-ic-com