无铅化PCB表面材料及工艺特点
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无铅HASL工艺中所使用的SnCu合金工艺参数见 表1。研究表明:如果考虑到电子部件之间的焊接强 度或250 ℃~300 ℃的焊接温度,SnCu合金镀层中铜
图3 HASL表面镀层形貌 表1 无铅镀层与有铅镀层工艺参数
镀槽温度 气刀温度 油温 合金
θ/℃ θ/℃ θ/℃
SnPb 250
250
230
SnCu 280
修、运输装载难、对钎料具有选择性和焊点强度不 稳定。ENIG工艺中化学镀镍层(含磷/钴)厚度一般 控制在5μm,在400 ℃以下EN/Cu间的互扩散不会影 响界面结合强度,故热处理本身不会对EN/Cu结合强 度产生很大影响,其可靠性取决于随镍沉积的磷含 量。一般溶液根据含磷量可分为低P型(质量分数为 2%~4%),耐蚀性和耐酸性均差;中P型(质量分 数为4%~9%)耐蚀性好,但耐酸性差;高P型(质 量分数为10%~14%)耐蚀性和耐酸性均好。根据 失效模式可分为高P型(质量分数为>9.5%)和低P 型(质量分数为<9.5%)两种,磷浓度过低则可焊性 差,容易产生“黑盘”现象[7];磷浓度过高则增加热 应力,降低连接强度,易产生腐蚀。实际应用中, 许多文献都推荐质量分数为7%~8%。
DOI:10.14176/j.issn.1001-3474.2011.05.014
306
电子工艺技术
Electronics Process Technology
2011年9月 第32卷第5期
SMT论坛
无铅化PCB表面材料及工艺特点
史建卫
(日东电子科技(深圳)有限公司,广东 深圳 518103)
摘 要:无铅化电子组装中PCB表面镀层技术主要有无铅钎料热风整平、浸锡、浸银、化学镀镍/浸金和有 机可焊保护层五种。每种工艺技术具有各自的优缺点,每种工艺材料与不同无铅钎料具有不同的兼容性。从可 制造性、可生产性以及与无铅钎料的匹配性等方面对五种PCB表面镀层技术做了较为全面的阐述,并通过对润 湿性和可靠性评估得到一定的最佳配比,为无铅化生产提供了一定的指导作用。
质量分数为0.1%~2.5%,最好为0.5%~2.0%。低于 0.1%,就容易发生锡须而可能导致短路;高于2.5%, 镀层熔点就会超过300 ℃而难以进行良好焊接。
(a)针孔
(b)裂纹
图1 电镀工艺失控造成的质量问题
(a)80 ℃
(b)88 ℃
(c)95 ℃
图2 不同温度下化学镀表面粒度特征
1 几种常见无铅表面镀层 焊盘保护镀层的种类很多,比如纯金属Sn、
280
255
空气加热转
化器θ /℃
250 300
PCB预
热θ /℃
150 200
HASL主要不足为:工艺控制困难;表面平整度
差,镀层缺乏连续均匀性;强活性焊剂容易产生离子
污染,导致低的SIR(表面绝缘电阻);剧烈的热冲
击会导致尺寸稳定性问题,不适合复杂设计的PCB表
面镀层;表面张力大易造成“龟背”现象;避免过高
制造
厚度d /μm
应用范围
工艺
Au
Ni
SMT/超声波焊
0.05~0.15(通常)
化学镀
盘/热压焊滑动
0.02~0.05(流行) 5.00~7.00(通常)
镍/浸金
触点领域/连接
0.10~0.30(绑定或 3.00~5.00(流行)
ENIG
器低负载触点
双面焊)
领域
焊接/弹簧片连 电镀镍
1.50~3.00(通常) 5.00~7.00(通常) 接连接器等插 /硬金
ENEG(Electroless Ni/Au)和ENIG(Electroless Ni/I-Au)
两种,表3为其各自工艺特点。ENEG工艺主要用于
印制插头(金手指)或印制接触点,而ENIG工艺应
用领域较之更广。
Au具有平整耐磨、接触电阻小、ICT(在线测
试)测试好、可焊性好及耐氧化等优点,常用于金
手指及引线键合等。由于Au晶格空隙率大,Cu原子
图1为电镀工艺失控造成的质量问题,图1(a)是 针孔,图1(b)是裂痕现象。化学镀质量好,但工 艺控制难,供应商必须对该技术有很好的认识和掌 握。镀液的配方非常关键,镀槽中需有丰富的特殊 金属还原剂,如镀Ni需次磷酸盐/二甲胺,镀Cu需 甲醛。除了要掌握配方外,还需对过程的温度、时 间、耗损及酸性值等必须控制。图2为不同温度下化 学镀表面粒度特征。化学镀化学反应严格,镀层厚
合工艺兼容;高温下耐氧化,适合大功率器件散热
通道,被广泛应用于手机按键和接插件中。焊接时
钎料与镍层形成锡镍化合物,使焊点更可靠,少量
Au熔于钎料中不会引起“脆化”作用。
ENIG工艺主要不足之处包括成本高、不可返
电子工艺技术
308
Electronics Process Technology
2011年9月
属面,铜以一价、两价铜离子方式溶入锡溶液。由 于Sn(-0.136 V)与Cu(0.337 V)之间存在负的电位 差,Sn不会沉积在Cu板上,因此浸锡工艺中使用含 有硫脲(CH4N2S)和/或氰化物等成分,通过与铜的 络合作用减少Cu离子浓度接近零,同时浸锡槽内的 溶液主体是硫酸锡或氯化锡溶液。此外为了防止二 价Sn和硫脲的氧化,还必须添加次磷酸钠等强烈的 还原剂。预浸工艺使晶粒增大、不易氧化、晶格空 隙少和不易藏杂质。值得注意的是锡沉积具有自限 的条件,因为不断增长的锡层会形成一层障碍,阻 碍铜离子移向表面产生反应。
作者简介:史建卫(1979- ),男,硕士,毕业于哈尔滨工业大学,主要从事SMT工艺与设备方面的研究工作。
第32卷第5期
史建卫:无铅化PCB表面材料及工艺特点Biblioteka Baidu
307
度一般可达7μm。浸镀不需使用电流和还原剂,化 学反应严格,镀层厚度主要受材料影响而不受工艺 因素控制,如浸Sn镀层厚度比浸Ag镀层厚,但是低 温时镀层厚度也很薄。这些技术和镀层材料的配合 会产生不同的工艺特点和寿命特性。
温度形成可焊性差的Cu3Sn。生产中有时可用电镀工 艺来代替HASL,表2为无铅钎料两种镀层工艺比较。
表2 无铅钎料表面镀层工艺
制造工艺 厚度d/μm
应用范围
HASL
4~16 SMT焊盘,热压焊盘,插头部位焊盘
电镀
8~12
热压焊盘,插头部位焊盘
1.2 ENIG Ni/Au镀层主要工艺方法包括化学镀和电镀[5],即
(Sun East Electronic Technology (Shenzhen) Company Ltd, Shenzhen518103, China)
Abstract: HASL, I-Sn, I-Ag, ENIG and OSP are main PCB finish materials and coating technology in lead-free electronic assembly, which have advantages and disadvantages either, and have different compatibility with lead-free solder as well. Illustrate the five kind of coating process in detail form manufacturability, producibility and combinability with lead-free solder, and get a series of optimum combination by estimating wettability and reliability, which provide a guidance for production.
浸锡工艺表面形貌如图5所示,其工艺成本较 低,且锡的硫酸盐镀液中不含氟和铅,污水处理简 单;润湿性良好,沉积层平整均匀;与无铅钎料兼 容性好,对塞孔有良好的操作性,ICT测试性好,晶 体在热力学性能上较稳定,广泛应用于元件引脚和 插入压接。
图4 ENIG表面镀层形貌 表3 ENEG和ENIG工艺特点
0.50~1.50(流行) 3.00~5.00(流行) 头部位焊盘滑 ENEG
动触点领域 补充:(1)化学镀镍/自催化金(ENAG)具有焊接以及出色的
热超声波键合性,但成本高,可焊性受限,仅适用于低负载领
域;(2)化学镀镍/钯/金具有出色的热超声波键合性及耐磨性,
超声键合受限,连续加工存在问题,不可返工;(3)电镀镍/软
Key words: Finish Material; Hot Air Solder Leveling (HASL); Electronicless Ni/Immerse Au (ENIG); Organic Solderability Protection (OSP); Wettability
Document Code: A Article ID: 1001-3474(2011)05-0306-07
关键词:表面镀层材料;热风整平;化学镀镍/浸金;有机可焊保护层;润湿性 中图分类号:TN605 文献标识码:A 文章编号:1001-3474(2011)05-0306-07
Material and Technology Characters of Lead-free PCB Finish
SHI Jian-wei
浸锡工艺蚀刻后边缘得不到保护,带来的锡外 伸会导致断裂。此外浸锡工艺易产生“锡须”问题 影响可靠性。目前PCB镀层采用新的镀“毛锡”技术 来代替传统浸镀工艺,其特殊镀液配方能产生较大 多边形结晶颗粒结构,防止“晶须”的产生。实际 应用中,对于低端产品及使用寿命少于5年的,一般 采用镀纯Sn,对于高可靠性产品及使用寿命大于5年 的,采用另一种工艺防止“晶须”,即先镀1μm厚 以上Ni,再镀2μm~3μm厚毛锡。 1.4 I-Ag
易扩散,中间需镀一层Ni做阻挡层。Au易与钎料形 成AuSn4或Au3Sn化合物,导致焊点“脆化”[6],一般 金含量控制在脆性等级以下,即质量分数小于2%,
最大不能超过3%。
ENIG工艺表面形貌如图4所示,其工艺成熟稳
定,焊盘镀层表面平整且较薄,适合细间距焊接;
可焊性好(Au不易氧化),接触电阻低,与引线键
Ag、Pd以及二元合金SnAg、SnBi、SnCu,还有Ni/ Sn、Ni/Pd、Ni/Au、Ni/Sn、Pd/Au、Ni/Au/Cu以及有 机镀层OSP。目前主要集中在HASL、I-Sn、I-Ag、 ENIG和OSP五大镀层。 1.1 HASL
HASL即热风整平,俗称喷锡[4],表面形貌如 图3所示。HASL工艺分为垂直式和水平式两种, 水平式相比垂直式平整度高、钎料分布均匀和镀 层厚度最大可达38μm,一般大于8μm,最佳为 10μm~12μm,当小于2μm时会形成Cu3Sn而影响 可焊性。HASL质量与焊料温度、风刀气流温度以及 压力、操作时间和提升速度等都有关系。选择镀层 焊料时要对其润湿性(润湿平衡法)和承载铜的能 力进行测试评估,另外对多次整平中PCB铜层厚度的 减少和选用焊膏的润湿性要进行测试,选择最佳匹 配组合。HASL由于成本较低和可焊性好,日本投入 研究较多,主要镀层材料为SAC和SnCu两种合金。 欧美没有大量使用主要是因为其平整度问题(圆顶 形)、高温加工和对员工健康风险问题、形成的金 属间化合物(IMC)影响可靠性以及PCB绿油问题。
钎料合金和表面镀层材料的冶金特性是生成完 美焊点的最关键因素,表面镀层主要起到以下四个 关键作用:可焊性保护、接触/通断、引线键合及焊 点界面[1-3]。常用镀层技术有电镀、化学镀、浸镀或 混合镀。电镀容易控制,所需电流工艺窗口较宽, 镀层厚度可达10μm,起到抗腐蚀作用。但是因加工 时必须通电,而决定电镀程度的电流密度受电镀表 面外形影响,所以用在高密度组装工艺上不理想。
数为99.99% 的金,具有柱状结构,它有极好的导电性和可焊性
1.3 I-Sn
I-Sn即浸锡,工艺流程一般为酸洗→微蚀→预浸
→浸锡→烘干。浸锡反应机理为锡金属离子与金属
铜作置换反应,在裸露铜面形成平整、光滑的锡金
图5 I-Sn表面镀层形貌
浸锡工艺镀层厚度控制能力不强,一般只达 15μm,库存寿命短。虽然纯锡与无铅钎料焊后不 存在IMC问题,但是焊盘与镀层之间的IMC厚度增 长快,影响保存寿命。薄的锡层对金属间化合物层 的生长及氧化很敏感,浸锡工艺中界面上形成的金 属间化合物一般为3μm,而锡层须有2μm厚度以 确保可焊性,故浸锡层厚度必须大于5μm,一般为 8μm~12μm。
金为半导体领域热超声波键合标准面,可焊性存在局限,常用作
电路板整体布局,不可返工
注释:(1)镍层具有均匀细致、孔隙率低和延展性好等特点,而
且低应力镍具有宜于钎焊或压焊的功能;(2)硬金指含有Co、
Ni、Fe和Sb等合金元素的合金镀层,其硬度和耐磨性都高于纯金
镀层,合金元素质量分数≤0.2%;(3)软金指镀金层为质量分
图3 HASL表面镀层形貌 表1 无铅镀层与有铅镀层工艺参数
镀槽温度 气刀温度 油温 合金
θ/℃ θ/℃ θ/℃
SnPb 250
250
230
SnCu 280
修、运输装载难、对钎料具有选择性和焊点强度不 稳定。ENIG工艺中化学镀镍层(含磷/钴)厚度一般 控制在5μm,在400 ℃以下EN/Cu间的互扩散不会影 响界面结合强度,故热处理本身不会对EN/Cu结合强 度产生很大影响,其可靠性取决于随镍沉积的磷含 量。一般溶液根据含磷量可分为低P型(质量分数为 2%~4%),耐蚀性和耐酸性均差;中P型(质量分 数为4%~9%)耐蚀性好,但耐酸性差;高P型(质 量分数为10%~14%)耐蚀性和耐酸性均好。根据 失效模式可分为高P型(质量分数为>9.5%)和低P 型(质量分数为<9.5%)两种,磷浓度过低则可焊性 差,容易产生“黑盘”现象[7];磷浓度过高则增加热 应力,降低连接强度,易产生腐蚀。实际应用中, 许多文献都推荐质量分数为7%~8%。
DOI:10.14176/j.issn.1001-3474.2011.05.014
306
电子工艺技术
Electronics Process Technology
2011年9月 第32卷第5期
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无铅化PCB表面材料及工艺特点
史建卫
(日东电子科技(深圳)有限公司,广东 深圳 518103)
摘 要:无铅化电子组装中PCB表面镀层技术主要有无铅钎料热风整平、浸锡、浸银、化学镀镍/浸金和有 机可焊保护层五种。每种工艺技术具有各自的优缺点,每种工艺材料与不同无铅钎料具有不同的兼容性。从可 制造性、可生产性以及与无铅钎料的匹配性等方面对五种PCB表面镀层技术做了较为全面的阐述,并通过对润 湿性和可靠性评估得到一定的最佳配比,为无铅化生产提供了一定的指导作用。
质量分数为0.1%~2.5%,最好为0.5%~2.0%。低于 0.1%,就容易发生锡须而可能导致短路;高于2.5%, 镀层熔点就会超过300 ℃而难以进行良好焊接。
(a)针孔
(b)裂纹
图1 电镀工艺失控造成的质量问题
(a)80 ℃
(b)88 ℃
(c)95 ℃
图2 不同温度下化学镀表面粒度特征
1 几种常见无铅表面镀层 焊盘保护镀层的种类很多,比如纯金属Sn、
280
255
空气加热转
化器θ /℃
250 300
PCB预
热θ /℃
150 200
HASL主要不足为:工艺控制困难;表面平整度
差,镀层缺乏连续均匀性;强活性焊剂容易产生离子
污染,导致低的SIR(表面绝缘电阻);剧烈的热冲
击会导致尺寸稳定性问题,不适合复杂设计的PCB表
面镀层;表面张力大易造成“龟背”现象;避免过高
制造
厚度d /μm
应用范围
工艺
Au
Ni
SMT/超声波焊
0.05~0.15(通常)
化学镀
盘/热压焊滑动
0.02~0.05(流行) 5.00~7.00(通常)
镍/浸金
触点领域/连接
0.10~0.30(绑定或 3.00~5.00(流行)
ENIG
器低负载触点
双面焊)
领域
焊接/弹簧片连 电镀镍
1.50~3.00(通常) 5.00~7.00(通常) 接连接器等插 /硬金
ENEG(Electroless Ni/Au)和ENIG(Electroless Ni/I-Au)
两种,表3为其各自工艺特点。ENEG工艺主要用于
印制插头(金手指)或印制接触点,而ENIG工艺应
用领域较之更广。
Au具有平整耐磨、接触电阻小、ICT(在线测
试)测试好、可焊性好及耐氧化等优点,常用于金
手指及引线键合等。由于Au晶格空隙率大,Cu原子
图1为电镀工艺失控造成的质量问题,图1(a)是 针孔,图1(b)是裂痕现象。化学镀质量好,但工 艺控制难,供应商必须对该技术有很好的认识和掌 握。镀液的配方非常关键,镀槽中需有丰富的特殊 金属还原剂,如镀Ni需次磷酸盐/二甲胺,镀Cu需 甲醛。除了要掌握配方外,还需对过程的温度、时 间、耗损及酸性值等必须控制。图2为不同温度下化 学镀表面粒度特征。化学镀化学反应严格,镀层厚
合工艺兼容;高温下耐氧化,适合大功率器件散热
通道,被广泛应用于手机按键和接插件中。焊接时
钎料与镍层形成锡镍化合物,使焊点更可靠,少量
Au熔于钎料中不会引起“脆化”作用。
ENIG工艺主要不足之处包括成本高、不可返
电子工艺技术
308
Electronics Process Technology
2011年9月
属面,铜以一价、两价铜离子方式溶入锡溶液。由 于Sn(-0.136 V)与Cu(0.337 V)之间存在负的电位 差,Sn不会沉积在Cu板上,因此浸锡工艺中使用含 有硫脲(CH4N2S)和/或氰化物等成分,通过与铜的 络合作用减少Cu离子浓度接近零,同时浸锡槽内的 溶液主体是硫酸锡或氯化锡溶液。此外为了防止二 价Sn和硫脲的氧化,还必须添加次磷酸钠等强烈的 还原剂。预浸工艺使晶粒增大、不易氧化、晶格空 隙少和不易藏杂质。值得注意的是锡沉积具有自限 的条件,因为不断增长的锡层会形成一层障碍,阻 碍铜离子移向表面产生反应。
作者简介:史建卫(1979- ),男,硕士,毕业于哈尔滨工业大学,主要从事SMT工艺与设备方面的研究工作。
第32卷第5期
史建卫:无铅化PCB表面材料及工艺特点Biblioteka Baidu
307
度一般可达7μm。浸镀不需使用电流和还原剂,化 学反应严格,镀层厚度主要受材料影响而不受工艺 因素控制,如浸Sn镀层厚度比浸Ag镀层厚,但是低 温时镀层厚度也很薄。这些技术和镀层材料的配合 会产生不同的工艺特点和寿命特性。
温度形成可焊性差的Cu3Sn。生产中有时可用电镀工 艺来代替HASL,表2为无铅钎料两种镀层工艺比较。
表2 无铅钎料表面镀层工艺
制造工艺 厚度d/μm
应用范围
HASL
4~16 SMT焊盘,热压焊盘,插头部位焊盘
电镀
8~12
热压焊盘,插头部位焊盘
1.2 ENIG Ni/Au镀层主要工艺方法包括化学镀和电镀[5],即
(Sun East Electronic Technology (Shenzhen) Company Ltd, Shenzhen518103, China)
Abstract: HASL, I-Sn, I-Ag, ENIG and OSP are main PCB finish materials and coating technology in lead-free electronic assembly, which have advantages and disadvantages either, and have different compatibility with lead-free solder as well. Illustrate the five kind of coating process in detail form manufacturability, producibility and combinability with lead-free solder, and get a series of optimum combination by estimating wettability and reliability, which provide a guidance for production.
浸锡工艺表面形貌如图5所示,其工艺成本较 低,且锡的硫酸盐镀液中不含氟和铅,污水处理简 单;润湿性良好,沉积层平整均匀;与无铅钎料兼 容性好,对塞孔有良好的操作性,ICT测试性好,晶 体在热力学性能上较稳定,广泛应用于元件引脚和 插入压接。
图4 ENIG表面镀层形貌 表3 ENEG和ENIG工艺特点
0.50~1.50(流行) 3.00~5.00(流行) 头部位焊盘滑 ENEG
动触点领域 补充:(1)化学镀镍/自催化金(ENAG)具有焊接以及出色的
热超声波键合性,但成本高,可焊性受限,仅适用于低负载领
域;(2)化学镀镍/钯/金具有出色的热超声波键合性及耐磨性,
超声键合受限,连续加工存在问题,不可返工;(3)电镀镍/软
Key words: Finish Material; Hot Air Solder Leveling (HASL); Electronicless Ni/Immerse Au (ENIG); Organic Solderability Protection (OSP); Wettability
Document Code: A Article ID: 1001-3474(2011)05-0306-07
关键词:表面镀层材料;热风整平;化学镀镍/浸金;有机可焊保护层;润湿性 中图分类号:TN605 文献标识码:A 文章编号:1001-3474(2011)05-0306-07
Material and Technology Characters of Lead-free PCB Finish
SHI Jian-wei
浸锡工艺蚀刻后边缘得不到保护,带来的锡外 伸会导致断裂。此外浸锡工艺易产生“锡须”问题 影响可靠性。目前PCB镀层采用新的镀“毛锡”技术 来代替传统浸镀工艺,其特殊镀液配方能产生较大 多边形结晶颗粒结构,防止“晶须”的产生。实际 应用中,对于低端产品及使用寿命少于5年的,一般 采用镀纯Sn,对于高可靠性产品及使用寿命大于5年 的,采用另一种工艺防止“晶须”,即先镀1μm厚 以上Ni,再镀2μm~3μm厚毛锡。 1.4 I-Ag
易扩散,中间需镀一层Ni做阻挡层。Au易与钎料形 成AuSn4或Au3Sn化合物,导致焊点“脆化”[6],一般 金含量控制在脆性等级以下,即质量分数小于2%,
最大不能超过3%。
ENIG工艺表面形貌如图4所示,其工艺成熟稳
定,焊盘镀层表面平整且较薄,适合细间距焊接;
可焊性好(Au不易氧化),接触电阻低,与引线键
Ag、Pd以及二元合金SnAg、SnBi、SnCu,还有Ni/ Sn、Ni/Pd、Ni/Au、Ni/Sn、Pd/Au、Ni/Au/Cu以及有 机镀层OSP。目前主要集中在HASL、I-Sn、I-Ag、 ENIG和OSP五大镀层。 1.1 HASL
HASL即热风整平,俗称喷锡[4],表面形貌如 图3所示。HASL工艺分为垂直式和水平式两种, 水平式相比垂直式平整度高、钎料分布均匀和镀 层厚度最大可达38μm,一般大于8μm,最佳为 10μm~12μm,当小于2μm时会形成Cu3Sn而影响 可焊性。HASL质量与焊料温度、风刀气流温度以及 压力、操作时间和提升速度等都有关系。选择镀层 焊料时要对其润湿性(润湿平衡法)和承载铜的能 力进行测试评估,另外对多次整平中PCB铜层厚度的 减少和选用焊膏的润湿性要进行测试,选择最佳匹 配组合。HASL由于成本较低和可焊性好,日本投入 研究较多,主要镀层材料为SAC和SnCu两种合金。 欧美没有大量使用主要是因为其平整度问题(圆顶 形)、高温加工和对员工健康风险问题、形成的金 属间化合物(IMC)影响可靠性以及PCB绿油问题。
钎料合金和表面镀层材料的冶金特性是生成完 美焊点的最关键因素,表面镀层主要起到以下四个 关键作用:可焊性保护、接触/通断、引线键合及焊 点界面[1-3]。常用镀层技术有电镀、化学镀、浸镀或 混合镀。电镀容易控制,所需电流工艺窗口较宽, 镀层厚度可达10μm,起到抗腐蚀作用。但是因加工 时必须通电,而决定电镀程度的电流密度受电镀表 面外形影响,所以用在高密度组装工艺上不理想。
数为99.99% 的金,具有柱状结构,它有极好的导电性和可焊性
1.3 I-Sn
I-Sn即浸锡,工艺流程一般为酸洗→微蚀→预浸
→浸锡→烘干。浸锡反应机理为锡金属离子与金属
铜作置换反应,在裸露铜面形成平整、光滑的锡金
图5 I-Sn表面镀层形貌
浸锡工艺镀层厚度控制能力不强,一般只达 15μm,库存寿命短。虽然纯锡与无铅钎料焊后不 存在IMC问题,但是焊盘与镀层之间的IMC厚度增 长快,影响保存寿命。薄的锡层对金属间化合物层 的生长及氧化很敏感,浸锡工艺中界面上形成的金 属间化合物一般为3μm,而锡层须有2μm厚度以 确保可焊性,故浸锡层厚度必须大于5μm,一般为 8μm~12μm。
金为半导体领域热超声波键合标准面,可焊性存在局限,常用作
电路板整体布局,不可返工
注释:(1)镍层具有均匀细致、孔隙率低和延展性好等特点,而
且低应力镍具有宜于钎焊或压焊的功能;(2)硬金指含有Co、
Ni、Fe和Sb等合金元素的合金镀层,其硬度和耐磨性都高于纯金
镀层,合金元素质量分数≤0.2%;(3)软金指镀金层为质量分