串列加速器-子注入机-射电镜联机系统的建立
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串列加速器 离子注入机 透射电镜 . . 联机系统的建立
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沿课题 ! 如纳 米 结 构 以 及 非 晶 $ 准 晶$ 纳米晶等
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了一些前所 未 知 的 新 现 象 $ 新 知 识%为 深 入 研 究载能离子束作用下材料辐照损伤和远离平衡 态材 料 微 结 构 的 形 成 与 演 化 过 程! 推动离子束 航天 $ 材料表面改性等高科技领 技术在核工程 $ 域的 应 用! 在武汉大学加速器实验室建立了国 内第 " 套 加 速 器 电 镜 联 机 装 置% 本 文 介 绍 该 C 光 路 计 算$ 设 备 改 造$ 隔震措 装置的总体 布 局 $ 施$ 联机调试以及初步的原位观测实验结果 %
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郭立平 ! 刘传胜 ! 黎 明! 宋 搏! 叶明生 ! 付德君 ! 范湘军
" 武汉大学 物理学院 加速器实验室 ! 湖北 武汉 !! # @ * * + )
摘要 ! 建立了由 )a"’ + E$ 串列加速器 $ ) * *S $ 离子注入机 $ V = * * 型透射 电 子 显 微 镜 和 联 机 传 输 系 统 组成的我国第 " 套串列加速器 离子注入机 透射电子显微镜联机装置 % 对主要设备进行了改造 ! 并采取 C C 有效措施解决了联机装置的隔震问题 %) 台加速器和所有 的 真 空 泵 都 运 行 时 ! 电 镜 仍 可 正 常 工 作! 观察 到的图像质量不受振动影响 % 电镜室内样品倾斜角 最 大 可 达 B 以 上! 离 子 注 入 不 影 响 电 镜 观 测! 可进 ) c 行离子注入的原位和实时结构研究 % 离子注入机输出的 " " BS 3 $ 氮离子在电镜入口测得 的 束 流 强 度 达 显示这套装置具 有 离 子 注 " * *$" = *2 ,% 初步实验已原位观察到氮离子注入导致单晶硅非晶化的过程 ! 入条件下的原位观测能力 % 关键词 ! 原位透射电子显微镜 & 加速器 & 联机装置 & 离子注入 " # 中图分类号 ! ,!!! 文章编号 ! : ? B )!!! 文献标识码 ! " * * * C # D @ " ) * * + * # C * # ! = C * B
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