串列加速器操作规程

2×1.7MV串列加速器操作规程

（以双等源为例）

开机操作：

1.检查离子源状态，保证接线正确，气体种类和气压（3.6kg/cm2）

正常，进气处于关闭状态。

2.检查空气压缩机各个阀门；确保处于正常供气状态。检查高压罐

气压，保证气压在10kg/cm2以上检查压缩机输出端气压，保证在6-8 kg/cm2。

3.检查水箱水位，要求高于水箱高度的2/3 。

4.检查剥离气体压力，正常值为11-12 kg/cm2。

5.检查加速器各个阀门、开关、旋钮是否处于正常状态；除离子源

隔离阀和终端站“BYPASS”外，所有阀门及开关处于关闭状态；

灯丝电流旋钮，引出电压旋钮，弧电压旋钮，开头磁铁旋钮均处于最小状态；其它旋钮可处于前次工件状态。

6.检查市电电压与变电器输入端电压是否一致。若不一致，调整变

压器输入端。若一致，开启加速器总电源。

7.开启地架电源，终端站电源，机械泵电源。

8.开启前级低真空规，当气压小于1mTorr 时开启高低能端蝶阀。当

气压再次小于1mTorr 时开启低能端高真空规和扩散泵电源。

9.当高低能端气压小于2×10-7mTorr 时，开启“STANDBY”低能

端隔离阀、氟里昂开关和离子源电源。

10.开启离子源“BYPASS”缓慢地均匀增大灯丝电流直至27A时，

对灯丝进行除气。新蘸灯丝除气不少于四小时，非新蘸灯丝除气不少于半小时，每次增大电流不得使低能端气压大于1×10-6Torr。

11.灯丝除气完成后，关闭离子源“BYPASS”开启弧电压电源，调节

电压到100V左右。将进气针阀置于“OPEN”状态，缓慢进气直至起弧。在起弧过程中，低能端气压不得高于3×10-6Torr 时。起弧后，将灯丝电流退至20A以下。

12.将聚焦磁铁电流调至3A，开启放电闭锁与管镜电源，低能端磁铁

(1×2)电源，板极电源，高能端磁铁，高能端磁铁与四极透镜电源。

离子源分析磁铁电源，离子源偏转板电源和引出电压电源。

13.开启电流表开关，先至30nA档。将电流表转换开关置于“前”状

态，按下前级法拉第筒。调引出电压至16KV，根据450磁体电流找到所需离子束。配合调节引出电压(微调)，450磁体电流微调，聚焦透镜电压，聚焦磁铁电流，灯丝电流和第一偏转板电压，使束流强度达到所需的值。在束流的调节过程中，注意转换电流表量程，不得使束流超过量程。

14.将所测样品置于靶室，压靶室上盖，关靶室放气针阀。开启靶室

两插板阀，机械泵电源和低真空规。当靶室气压低于1mTorr 时，开启靶室高真空规和分子泵电源。

15.开高压总电源，旋转伏特计开关和控制板电源，等待75秒，当控

制弧绿灯亮之后，按下终端控制板高压开关和“SPARK”开关，缓慢增加高压直至所需值。在加速器长时间没有加高压的情况下，应先锻炼加速管。

16.当靶室气压小于1×10-6Torr时，开启高低能端隔离阀，开关磁铁

电源和偏转电源。将电流表转换开关置“后“状态，提起低能端法拉第筒。根据开关磁铁电流与不同价态入射离子能量关系曲线，将开关磁铁电流调至所需值。配合调节开关磁铁电流，三偏转板电压，四极透镜电压，管透镜电压，四极磁导向器电流，两450磁铁电流（微调），两极准值光栏，使束流强度和束斑大小达到所需值。至此，可以正式开始实验测量。

关机步骤：

1.将电流表转换开关置于“前”状态，放下低能端法拉第筒。将高

压退至零，关闭终端面板高压电源，靶室插板阀，分子泵电源，高低能端隔离阀。将开关磁铁电流退至零，关闭开关磁铁电源，偏转板电源，控制板电源，高压总电源，离子源偏转板电源。将分析磁铁电流和引出电压退至零，关闭分析磁铁电流和引出电压电源。将灯丝电流退至零，将进气开关置“SHUT”状态，直至关闭进气阀。将聚焦磁铁电流和弧电压退至零，关闭弧电压开关。

2.关闭离子源开关，放电闭锁与管透镜电源，低能端磁铁（1）（2）

电源，板极电源，高能端磁铁电源与四极透镜电源，氟里昂开关和旋转伏特计开关，

3.关闭“STANDBY”，高低能端蝶阀，高低能端扩散泵，等待半小

时，关闭靶室机械泵和前级机械泵，关闭终端站电源，地架电源。注：实验过程中突然断电时迅速关闭进气表减压阀，用自来水迅速冷却扩散泵，然后将所有旋钮置于最小状态，所有开关置于关闭状态。