第九章电子能谱1

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电子能谱学笔记

电子能谱学笔记

电子能谱学笔记电子能谱学是一种分析化学方法,用于表征原子、分子和固体材料中的电子结构。

本文将介绍电子能谱学的基本原理、仪器和应用。

一、电子能谱学的基本原理电子能谱学是通过测量电子的能量和角度分布来分析样品的化学组成和结构。

在这种分析中,样品通常被照射以产生束缚电子或自由电子,然后使用能谱仪来测量这些电子的能量和角度。

束缚电子是指原子或分子中由于化学键形成而束缚在原子核周围的电子。

自由电子是指没有被原子或分子束缚的电子,例如金属中的自由电子。

束缚电子和自由电子可以分别通过不同的电子能谱学技术来测量。

在电子能谱学中,常用的测量技术包括X射线光电子能谱(XPS)、紫外光电子能谱(UPS)和交换能电子能谱(ESCA)。

XPS技术利用X射线照射样品,使得样品中的束缚电子被激发到价带,然后用一个能谱仪测量其能量分布。

由于不同元素的束缚电子的能级不同,因此通过测量其能量分布,可以确定样品中元素的种类和相对含量。

此外,XPS还可以通过测量电子的波长分布来确定样品的化学状态。

UPS技术则是利用紫外光照射样品,使得样品中的价带电子被激发到导带。

测量激发电子的能量和角度分布可以确定样品中价带的能级结构和电子的壳层结构。

ESCA技术则是将样品置于真空中,并用一个电子枪向其表面发射高能电子,在电子碰撞表面原子或分子时,产生的光电子可以用能谱仪测量其能量分布。

相比于XPS和UPS,ESCA 可以测量更低的电子能级,因此对于金属和导体等样品的表面分析更加适用。

二、电子能谱学的仪器电子能谱学的仪器主要由以下组成部分:1. 光源:产生激发样品的电磁波,如X射线或紫外光。

2. 样品台:支撑待测样品,并能够控制样品的位置和角度。

3. 光电子能谱仪:通过收集光电子并测量其能量和角度分布来分析样品的电子结构。

4. 数据处理系统:对测量得到的数据进行分析和处理。

电子能谱学的仪器通常需要极高的真空度,以防止在测量过程中的气体干扰。

此外,为了提高测量的准确性和精度,电子能谱学仪器还需要具备高分辨率、高稳定性和高重复性等特性。

电子能谱分析课件

电子能谱分析课件

分类与应用
分类
电子能谱分析可分为能量损失谱、X射线光电子能谱、紫外光电子能谱等不同 类型。
应用
广泛应用于材料科学、化学、生物学等领域,用于研究表面结构、化学键、元 素组成等。
历史与发展
历史
电子能谱分析起源于20世纪初,经过不断发展,已经成为一种成熟的实验技术。
发展
随着科技的不断进步,电子能谱分析的精度和分辨率不断提高,应用范围也不断 扩大。
数据采集
启动电子能谱仪,采集样品的电子能量分布 数据。
实验设置
根据实验需求,设置电子能谱仪的参数,如 加速电压、电子束流等。
数据处理与分析
使用计算机与软件对采集的数据进行整理、 分析和解释,得出实验结果。
实验数据处理与分析
数据清洗
去除异常值和噪声,确保数据准确性 。
标定与校准
将实验数据与已知标准数据进行对比 ,确保测量准确性。
电子能谱分析课件
目录
• 电子能谱分析简介 • 电子能谱分析实验技术 • 电子能谱分析的理论基础 • 电子能谱分析的应用实例 • 电子能谱分析的挑战与展望 • 参考文献
01
电子能谱分析简介
定义与原理
定义
电子能谱分析是一种利用电子能量损 失或电子跃迁信息来研究物质内部结 构和化学状态的方法。
原理
通过测量电子在物质中损失的能量, 可以推断出物质的结构、组成和化学 环境等信息。
元素识别与定量分析
通过电子能谱数据识别样品表面的元 素种类和含量,进行定量分析。
结果解释与报告
根据实验结果,撰写实验报告并进行 结果解释,为后续研究提供依据。
03
电子能谱分析的理论基础
量子力学基础
01 02

电子能谱分析课件

电子能谱分析课件
数据处理算法
优化数据处理算法,提取更多有用的物理信息,提高分析的准确性和可靠性。
多维能谱技术
发展多维能谱技术,将电子能谱与其他谱学技术相结合,提供更全面的物质信息。
03
02
01
THANK YOU
感谢聆听
01
元素种类
电子能谱分析可以揭示物质中所包含的元素种类,从而判断物质的化学组成。
02
元素含量
通过电子能谱分析,可以得出各元素在物质中的相对含量,有助于了解物质的比例关系。
电子能谱分析案例研究
总结词:电子能谱分析在材料表面分析中具有重要作用,能够提供表面元素组成、化学态和电子结构等信息。
总结词:电子能谱分析在生物分子结构研究中具有重要作用,能够提供分子内化学键和电子状态等信息。
选择合适的电子能谱仪,确保其性能稳定、精度高。
01
02
03
04
数据采集
数据清洗
数据分析
结果解释
采用适当的分析方法对数据进行处理,提取有用的信息,如元素组成、含量等。
对采集的数据进行清洗,去除异常值和噪声,提高数据质量。
采集实验数据,包括能谱图、峰位、峰强等信息。
根据分析结果,对样品的组成和性质进行解释,并给出相关结论。
电子能谱分析结果解读
1
2
3
通过电子能谱分析,可以得出物质内部电子的能级分布情况,从而了解物质的电子结构特征。
能级分布
根据电子能谱的峰位和强度,可以判断电子跃迁的类型,从而推断出物质所处的状态和所处的环境。
跃迁类型
通过电子能谱分析,可以推断出分子轨道的能量分布和轨道构型,有助于理解分子的成键特性和化学性质。
电子能谱仪通过发射高能电子束轰击样品,使样品中的原子或分子的内层电子被激发,产生特征能量损失。

电子能谱(1)

电子能谱(1)
298K吸附一层气体分子所需时间
10-4Pa时为1秒;10-7Pa时为1000秒
能谱(1)
8.5.5 样品处理
电子能谱仪原则上可以分析固体、气体和液体样品。
气体
化气
液体
冻冷
固体
采用差分抽气的方法把气体 引进样品室直接进行测定
校正或消除样 品的荷电效应
块状:直接夹在或粘在 样品托上在样品托上; 粉末:可以粘在双面胶 带上或压入铟箔(或金 属网)内,也可以压成 片再固定在样品托上。
能谱(1)
化学位移现象起因及规律
内层电子一方面受到原子核强烈的库仑作用 而具有一定的结合能,另一方面又受到外层 电子的屏蔽作用。当外层电子密度减少时, 屏蔽作用将减弱,内层电子的结合能增加; 反之则结合能将减少。因此当被测原子的氧 化价态增加,或与电负性大的原子结合时, 都导致其XPS峰将向结合能的增加方向位移。
研究表明,表面组成和 体相组成不同,这是由 于发生表面富集或形成 强的吸附键所导致的。 用AES或XPS能测量样品 表面“富集”情况。
体相Pd原子浓度为 40%的Ag-Pd合金
Ar轰击表面清洁处理后,由 于Ag的溅射几率较高,合金 表面Pd的相对浓度为57%
高温退火后,合金稳定的表 面组成为Pd32Ag68,表面为 Ag富集。
能谱(1)
§8.3 X射线光电子能谱(XPS)
由于各种原子轨道中电子的结合能是一定的,因此 XPS 可用来测定固体表面的化学成分,一般又称为化 学分析光电子能谱法( Electron Spectroscopy for Chemical Analysis,简称 ESCA)。
与紫外光源相比,射线的线宽在0.7eV以上,因此 不能分辨出分子、离子的振动能级。

电子能谱课件

电子能谱课件

一、基本原理
• 1.化学位移 • 在实际测定中往往发现得到的结合能谱峰与 单个原子结合能谱峰有一点的偏差,从而表 现在谱线的位移上,称为结合能的位移。其 原因是是原子的一个内壳层电子的Eb。同时 受核内电荷与核外电荷分布的影响,当这些 电荷分布发生变化时,就会引起Eb的变化。 同种原子中处于不同的化学环境的电子引起 结合能的变化,在谱线上造成位移,称为化 学位移。
2.1 AES的基本原理
俄歇效应(Auger Effect)
俄歇过程是一三电子过程终态
俄歇过程示意图
原子双电离。与入射激发源的 独立性(不与光电发射竞争)。 俄歇电子动能与光电子动能类 似,所以有类似的表面灵敏性。 初始芯空穴可由X射线产生(可 观察到XPS中的俄歇峰),也可 由电子束(最常用于AES),谱中 包含俄歇电子入射和非弹性散 射电子但无光电子峰。

X射线光电子能谱不仅能测定表面的组成元素,而 且还能给出各元素的化学状态信息。Kai Siegbahn由 于其在高分辨光电子能谱方面的杰出贡献荣获了1981 年的诺贝尔物理奖。 • 俄歇电子能谱:1923年法国科学家Pierre Auger发 现:当X射线或者高能电子打到物质上以后,能以一 种特殊的物理过程(俄歇过程)释放出二次电子——俄 歇电子,其能量只决定于原子中的相关电子能级,而 与激发源无关,因而它具有“指纹”特征,可用来鉴 定元素种类。六十年代末采用微分法和锁相放大器技 术将它发展成为一种实用的分析仪器。到了七十年代, 出现了扫描俄歇,性能不断改善。俄歇电子能谱以其 优异的空间分辨能力,成为微区分析的有力工具。主 要用于对金属、合金和半导体等材料表面进行分析。
俄歇电子能谱在材料科学研究中的分析作用
1.元素(及其化学状态)定性分析。 (1).表面检查和污染分析 用俄歇电子能谱很容易检测下列各种表面污染: (a)金属元素 (Li,Be,Na,Mg,Al,Si,K,Ca,Sc,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu ,Zn,Ga, (b)吸附的吸收的或离子注入的元素 (B,C,N,O,F,P,S,Cl,Br,I,Ne,Ar,Kr,Xe, (c)氧化物膜氮化物膜碳化物膜硫化物膜硅化物膜卤化物 膜等表面无机 变质层 (d)不挥发性有机污染

电子能谱ppt

电子能谱ppt
遥襟甫畅,逸兴遄飞。爽籁发而清风 生,纤 歌凝而 白云遏 。睢园 绿竹, 气凌彭 泽之樽 ;邺水 朱华, 光照临 川之笔 。四美 具,二 难并。 穷睇眄 于中天 ,极娱 游于暇 日。天 高地迥 ,觉宇 宙之无 穷;兴 尽悲来 ,识盈 虚之有 数。望 长安 于日下,目吴会于云间。地势极而南 溟深, 天柱高 而北辰 远。关 山难越 ,谁悲 失路之 人?萍 水相逢 ,尽是 他乡之 客。怀 帝阍而 不见, 奉宣室 以何年 ?
勃,三尺微命,一介书生。无路请缨 ,等终 军之弱 冠;有 怀投笔 ,慕宗 悫之长 风。舍 簪笏于 百龄, 奉晨昏 于万里 。非谢 家之宝 树,接 孟氏之 芳邻。 他日趋 庭,叨 陪鲤对 ;今兹 捧袂, 喜托龙 门。杨 意不逢 ,抚凌 云而自 惜;钟 期既 遇,奏流水以何惭?
呜乎!胜地不常,盛筵难再;兰亭已 矣,梓 泽丘墟 。临别 赠言, 幸承恩 于伟饯 ;登高 作赋, 是所望 于群公 。敢竭 鄙怀, 恭疏短 引;一 言均赋 ,四韵 俱成。 请洒潘 江,各 倾陆海 云尔: 滕王高阁临江渚,佩玉鸣鸾罢歌舞。 画栋朝飞南浦云,珠帘暮卷西山雨。 闲云潭影日悠悠,物换星移几度秋。 阁中帝子今何在?槛外长江空自流。
凝聚分子的谱带明显增 宽,并失去精细结构
气体分子有明显 的振动精细结构
横坐标为分子的电离能In 或
光电子动能 En hv In
苯在Ni(111)上的UPS谱
8.2.2 振动精细结构
对于同一电子能级,分子还可能有许多不同的 振动能级,因此实际测得的紫外光电子能谱图既 有结合能峰,又有振动精细结构。
化学位移现象起因及规律
内层电子一方面受到原子核强烈的库仑作用 而具有一定的结合能,另一方面又受到外层 电子的屏蔽作用。当外层电子密度减少时, 屏蔽作用将减弱,内层电子的结合能增加; 反之则结合能将减少。因此当被测原子的氧 化价态增加,或与电负性大的原子结合时, 都导致其XPS峰将向结合能的增加方向位移。

第九章电子能谱1

第九章电子能谱1


3. 检测器
• XPS分析中产生的光电流:10-13~10-19A; • 电子倍增器作为检测器; • 单通道电子倍增器;多通道电子倍增器;
•4. 真空系统
• 光源、样品室、电子能量分析器、检测器都必须在高真 空条件下工作; • 真空度:1.3310-6 Pa 。 • 目的:减少电子在运动过程中同残留气体分子发生碰撞 二损失信号强度。
•Ey(Z+ ):y轨道电子电离的电离能;
•2020/7/26

3. Auger电子产额
• 用几率来衡量两个竞争过程,发射X射线荧光的几率PKX ;发射K系 Auger电子的几率PKX ,则K层X射线荧光产额:
•K层Auger电子几率产额:

KA=1- KX
•Z<14, KA >90%;
•由图可见,Auger电子能谱
第九章电子能谱1
2020年7月26日星期日
一、基本原理
principles
• 电子能谱法:光致电离;

A + h A+* + e
•紫外(真空)光电子能 谱
•h
•X射线光电子能 谱
•h
•Auger电子能谱
•h
• 单色X射线也可激发多种核内电子或不同能级上的电子 ,产生由一系列峰组成的电子能谱图,每个峰对应于一个原 子能级(s、p、d、f);
•2020/7/26

5. Auger电子能谱图
• Auger电子能量与元素序数和产生的能级有关,具有特征 性; • 对于 3 ~ 14 的元素, Auger峰类型为:KLL 型; • 对于14 ~ 40的元素, Auger峰类型为:LMM 型;
• 如图,按X射线能谱 记录的曲线上,Auger谱 峰淹没在本底中,采用微 分曲线,则Auger谱峰明 显;

《电子能谱分析法》课件

《电子能谱分析法》课件
特点
高分辨率、高灵敏度、高精度和高可 靠性,能够提供物质内部结构和化学 键合状态的详细信息。
工作原理
电子能谱仪通过发射高能电子束轰击 样品,使样品中的原子或分子的内层 电子被激发,产生特征能量损失或能 量沉积。
通过测量这些能量损失或能量沉积的 分布,可以推断出样品中元素的种类 、含量和化学状态等信息。
特征提取与模式识别
通过改进算法和计算机技术,实现更快速、准确地进行特 征提取和模式识别,为后续的数据分析和解释提供有力支 持。
多维数据分析
引入多维数据分析方法,将不同来源、不同类型的电子能 谱数据整合起来,进行综合分析和比较,提高分析结果的 全面性和可靠性。
新技术的应用与拓展
01 02
人工智能与机器学习
稳定性与可靠性
仪器在工作过程中需要保持稳定性和可靠性,减少误差和干扰,提 高分析结果的准确性和可靠性。
自动化与智能化
为了提高工作效率和降低人为误差,需要加强仪器的自动化和智能化 程度,实现快速、准确地获取和分析数据。
数据分析方法改进
算法优化
针对不同类型的电子能谱数据,需要不断优化算法以提高 数据处理速度和准确度。
利用人工智能和机器学习技术对电子能谱数据进行深度学习和挖掘,发 现隐藏在数据中的规律和知识,为科学研究和实际应用提供新的思路和 方法。
联用技术
将电子能谱分析与其它分析技术联用,如色谱、质谱等,实现多维、多 角度地获取样品信息,提高分析结果的全面性和准确性。
03
跨学科融合
加强与其他学科的交叉融合,如化学、生物学、医学等,拓展电子能谱
2023
REPORTING
《电子能谱分析法》 ppt课件
2023
目录
• 电子能谱分析法概述 • 电子能谱分析法的基本原理 • 电子能谱分析法的实验技术 • 电子能谱分析法的应用实例 • 电子能谱分析法的挑战与展望

电子能谱学

电子能谱学
• 诱导效应对电离电位的影响可用一系 列烯烃的例子来说明.
• 在一系列烯烃CH2=CH2,CH3— CH=CH2,C2H5CH=CH2, C3H7-CH=CH2分子中,由于烷基 具有正的诱导效应,所以在这些烯烃 中。轨道的电离电位逐渐减小.实际 的数值分别是10.51,9.74,9。 61和9.51电子伏
• 其中有一个4p轨道也具有 相同的对称性,因此它能 与π c=c轨道结合,生成 两个溴乙烯分子轨道。
• 另一个独对轨道具有不同 的对称性,它保持非键合 性质,因此在谱图上仍出 现尖锐的峰
清华大学化学系材料与表面实验室
33
• 峰的强度近似地正比于轨道的简并度.
清华大学化学系材料与表面实验室
12
紫外光电子能谱的原理
• (X~)<-(X)电离跃迁对应于一个非键电子被移去,(X~)态的振 动频率基本上相同于(X)态的频率.
• (A~)(A)电离跃迁对应于一个成键电子被移去,rc增加,ω减 少。
• (B~)(X)电离跃迁对应于一个反键电子被移去,rc减少,ω增 加.
清华大学化学系材料与表面实验室
27
中介效应
• 另一种和诱导致应相反的效应是所谓中介效应.
• 例如在溴乙烯分子中.溴的孤对电子的电荷向C=C键 移动。
• 这种效应使溴乙烯的π轨道的电离电位降低,例如它比 乙烯的要低.
• 因此在这里卤素原子中介效应的方向和卤素原子诱导效 应的方向是相反的.
• π电离电位的变化反映了这两种相反的效应的作用并达 到平衡时的情况.在解释紫外光电子能谱时,这种效应 也是应当考虑到的.
清华大学化学系材料与表面实验室
17
紫外光电子能谱的解释
• 气态分子的紫外光谱主要和分子轨道的电离能有关以及 与分子轨道的振动状态有关;

电子能谱分析范文

电子能谱分析范文

电子能谱分析范文电子能谱分析是一种通过分析物质中电子能级的特征,来研究物质的结构和化学性质的方法。

它是一种非常重要的分析方法,广泛应用于有机化学、物理化学、材料科学等领域。

在本文中,我们将介绍电子能谱分析的原理、常用的实验技术和应用。

电子能谱分析的原理是基于能级的分布和电子能量的定理。

在原子、分子或固体中,电子存在不同的能级,每个能级上的电子具有不同的能量。

当物质处于激发态时,电子会从低能级跃迁到高能级,吸收一定的能量;当物质处于基态时,电子会从高能级跃迁到低能级,释放出一定的能量。

这些能量的变化可以通过测量电子发射或吸收的能量谱来获得,从而推断出物质的能级分布和电子结构。

电子能谱分析有多种实验技术,其中最常用的是X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)。

XPS是利用X射线激发物质表面的电子,测量其能量分布和强度的变化。

它可以提供物质表面的元素组成、化学状态和价态信息,并且具有非常高的表面灵敏度。

UPS则是利用紫外光激发物质中的电子,测量其能量分布和强度的变化。

相比XPS,UPS可以提供更多关于电子能级和束缚态的信息,对于研究分子和固体的电子结构非常有用。

电子能谱分析在许多领域有着广泛的应用。

在有机化学领域,它可以用于研究有机分子的结构和化学反应过程。

通过测量电子能谱,可以确定有机分子的键合和取代基团的位置,揭示分子的电子结构和反应机理。

在物理化学领域,电子能谱分析对于研究材料的电子结构、能带与导电性质有着重要意义。

它可以用于表征材料的表面态、表面吸附和氧化还原反应等。

在材料科学领域,电子能谱分析可以用于研究新型材料的电子结构和光电性质。

通过对材料中电子能级和能带结构的分析,可以为设计和开发新型功能材料提供有价值的信息。

除了XPS和UPS,还有其他一些电子能谱分析的技术,如电子能量损失谱(EELS)和光电子能谱显微镜(PEEM)。

EELS是利用电子束与物质相互作用而损失能量的原理,测量被探测物质中电子能量的变化。

电子能谱引言PPT课件

电子能谱引言PPT课件
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• 此外,由于由样品表面发射的电子或离子的信号 非常微弱,一般在 10-11 10-10 A 的量级,因此,没 有前置放大技术,根本不可能获得谱图。此外, 分析器的能量分辨率,直接关系到电子能谱的应 用,必须具有足够的分辨率,才能在表面分析上 应用。微电子技术和计算机技术的发展,大大促 进了电子能谱学的发展。
SRPES 成分、原子及电子态
红外吸收谱
IR
原子态
拉曼散射谱
RAMAN 原子态
扩展x射线吸收谱精细结构 SEXAFS 结构
角分辨光电子谱
ARPES 原子及电子态结构
I
光子诱导脱附谱
PSD
原子态
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表面分析技术
探测粒 子
E
发射粒子
分析方法名称
e 场电子显微镜
E
I
场离子显微镜
E
I
场离子显微镜-原子探针
分析方法名称 低能电子衍射 反射式高能电子衍射 俄歇电子能谱 扫描俄歇探针 电离损失谱 能量弥散x射线谱 俄歇电子出现电势谱 软x射线出现电势谱 消隐电势谱 电子能量损失谱 电子诱导脱附 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 扫描透射电子显微镜
简称 LEED RHEED AES SAM ILS EDXS AEAPS SXAPS DAPS EELS ESD TEM SEM STEM
主要用途 结构 结构 成分 微区成分 成分 成分 成分 成分 成分 原子及电子态 吸附原子态及成分 形貌 形貌 形貌
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表面分析技术
探测粒子 发射粒子
分析方法名称
I
I
离子探针质量分析
I

电子能谱课件

电子能谱课件
600 500 400 300 200 100 0 Binding Energy [eV]
Al 2s Al 2p
计数 / 任意单位
PZT薄膜中碳的化学价态谱
有机碳 285.0 eV 60 min 40 min 20 min
Surface
288 286 284 282 结合能 / eV
金属碳化物 280.8 eV
2.3
4.6
Mg → MgO 0.4 6.4
Ag →Ag2SO4 0.2 4.0
In →In2O3 0.5 3.6
XPS的定性分析
不同元素、不同价态的电子结合能有其固定值, 根据所测得的谱峰(主峰)位置,对照《X射线光电 子能谱手册》,可确定试样表面含有哪些元素,以及 这些元素存在于什么化合物中(元素的化学状态)。
不同氧化态(价态) W的4f电子有不同 的结合能, W氧化 为氧化钨后,W的 4f结合能变大。
俄歇线也有化学位移,而且与光电子线的位移方向 一致。有时候光电子线位移不明显时,可以利用俄歇线 位移,分析元素的化学状态。
状态变化
光电子位移/eV 俄歇线位移/eV
Cu→Cu2O Zn → ZnO
0.1
0.8
Ni 2p Cr 2p metal
40
O 1s
20
Si 2p
0
0
Sputter Depth (nm)
185
Kratos AXis Ultra (DLD)
多功能光电子能谱仪(测试中心) 性能指标:能量分辨率:0.48eV,成像空间分辨率:
3微米,最小分析区域:15微米 主要附件:AES、SEM、SAM、UPS、ISS
谱峰(主峰):即光电子线,反映不同 轨道上电子的结合能或电子动能;

电子能谱分析(1)

电子能谱分析(1)
试样和谱仪(壳材料)的费米面拉平; • 此时,忽略Er,则试样和谱仪壳材两者分别有以下能量关系:谱仪逸
出功 sp代替试样逸出功s:
试样谱仪未连接 试样谱仪连接
电子能谱分析(1)
EKsp EK
EK + s = EKsp+ sp
EKsp
仪器的sp 是给定不变的, 可通过实测EKsp来求得试样的结合能Eb.
这些复杂现象的出现同体系的电子结构密切相关,它们在XPS谱图上 表现为除正常光电子主峰外,还会出现若干伴峰,使得谱图变得复杂。 解释谱图并由此判断各种可能的相互作用,获得体系的结构信息,这是 当前推动XPS发展的重要方面,也是实用光电子谱经常遇到的问题。
电子能谱分析(1)
1.1.8 非导电样品的荷电校正
因此,在实际应用中,人们要对材料和器件工作表面的宏 观性能做出正确的评价与理解,首先必须对各种条件下表面 的化学组成和化学状态进行定性和定量的测定和分析。
电子能谱分析(1)
• 固体表面状态,包括表面成分、结构、配位、化学键性、 能带、电子态等等,对材料的许多物性以及相关的应用和 理论都有非常重要的意义。
电子能谱分析(1)
2020/11/28
电子能谱分析(1)
固体表面的化学组成和体内不完全相同,甚至完全不同, 造成这种差别的原因主要有:
★ 表面原子(或离子)化学键部分断裂(悬挂键), 能量状态与体内不同;
★ 外来物在表面的吸附、污染; ★ 表面的氧化、腐蚀和摩擦; ★ 人为加工的表面,如离子注入、钝化和各种涂层。
则可将其激发电离为二次电子,并以一定动能 EK(kinetic energy, EK) 逸出,可见信息产生是基于爱因斯坦光电效应。
电子能谱分析(1)
1.1.2 信息能量

电子能谱学笔记

电子能谱学笔记

电子能谱学笔记电子能谱学的定义⏹电子能谱学可以定义为应用具有一定能量的粒子〔光子,电子,粒子〕轰击特定的样品,研讨从样品中释放出来的电子或离子的能量散布和空间散布,从而了解样品的基本特征的方法。

⏹入射粒子与样品中的原子发作相互作用,阅历各种能量转递的物理效应,最后释放出的电子和粒子具有样品中原子的特征信息。

⏹经过对这些信息的解析,可以取得样品中原子的各种信息如含量,化学价态等电子能谱学的运用⏹电子能谱学的运用主要在外表剖析和价态剖析方面。

可以给出外表的化学组成,原子陈列,电子形状等信息。

⏹关于XPS和AES还可以对外表元素做出一次全部定性和定量剖析,还可以应用其化学位移效应停止元素价态剖析;应用离子束的溅射效应可以取得元素沿深度的化学成份散布信息。

⏹此外,应用其空中间区分率,还可以停止微区选点剖析,线散布扫描剖析以及元素的面散布剖析。

⏹这些技术使得电子能谱学在资料迷信,物理学,化学,半导体以及环境等方面具有普遍的运用。

X射线光电子谱(XPS)—特点⏹XPS的主要特点是它能在不太高的真空度下停止外表剖析研讨,这是其它方法都做不到的。

当用电子束激起时,如用AES法,必需运用超高真空,以防止样品上构成碳的堆积物而掩盖被测外表。

X射线比拟柔和的特性使我们有能够在中等真空水平下对外表观察假定干小时而不会影响测试结果。

⏹此外,化学位移效应也是XPS法不同于其它方法的另一特点,即采用直观的化学看法即可解释XPS中的化学位移,相比之下,在AES中解释起来就困难的多。

XPS-光电进程机理⏹光与物质的相互作用⏹光电离激起进程⏹光电离几率⏹偶极发射和外表发射⏹光电子谱线的特点及表示光线与物质的相互作用:1、反射〔能量不损失〕;2、吸收〔能量转化为热能〕;3、光电离〔转化为电子〕M + hV--»M+ +e普通为单电子进程要光子能量足够,可以激起出一切轨道电子。

光电离进程:X射线光电子能谱基于光电离作用,当一束光子辐照到样品外表时,光子可以被样品中某一元素的原子轨道上的电子所吸收,使得该电子脱离原子核的约束,以一定的动能从原子外部发射出来,变成自在的光电子,而原子自身那么变成一个激起态的离子光电离几率:1、关于每一种物质其光电离几率与很多要素有关:如激起光子能量,原子种类,原子形状等。

电子能谱

电子能谱

表面结构命名法:
1. Wood 命名法
M (h k l )(m n) R A

表面基矢与基底晶面基矢之间的关系:
as m a ,
bs n b
矩阵命名法
as M 11a M 12b bs M 21a M 22b
若另:
M 11 M M 21
M 12 M 22



一、表面分析技术
表面:物体与真空或者气体的界面称为表面。表 面向外的 一侧没有近邻原子,形成“悬空键”, 因此表面具有与体相不同的物理、化学性质。
体相分析
薄膜分析 表面分析
表面分析技术:用一个探针去探测样品表面,在两 者相互作用时,从样品表面发射及散射电子、离子, 光子等,检测这些粒子的能量、角度分布、束流强 度,从而间接的得到了样品表面的信息。所用到的 探针包括原子、离子、电子、光子。
表面结构基础
一、晶体表面的周期结构
1、点阵和表面晶胞
斜 方
正 方
矩 形


有心矩形
晶体平移矢量
T ha kb lc
表面晶胞平移矢量
T has kbs
密勒指数
z 1c
3b
y
2a
x 2,3,1 1/2, 1/3, 1 ( 3, 2, 6 ) 密勒指数



俄歇电子能谱的特点

俄歇电子能谱可以分析除氢氦以外的所有元 素 ,是有效的定性分析工具; 俄歇电子能谱具有非常灵敏的表面性,是最 常用的表面分析手段,检测深度在0.5-2nm; 检测极限约为 3~10 原子单层。 采用电子束作为激发源,具有很高的空间分 辨率,最小可达到10nm。 可进行微区分析和深度分析,具有三维分析 的特点。 要求是导体或半导体材料;

电子能谱分析(1)

电子能谱分析(1)
对Z>12的元素,为了获得尽可能好的灵 敏度,采用2p电子,并随Z增加而灵敏 度增大,在Z=31处陡降;
以此类推,结果发现如图所示的规律;
上述规律为我们分析不同组成元素选择 合理的不同壳层电子提供了依据。即:
Z=1~11, 选1s; Z=12~32,选2p; Z=33~62,选3d; Z=63~70,选4d Z=71~90,选4f.
使Er 10-1~10-2eV,从而可忽略。从上页表可见,AlK可满足这 点,这也是为什么目前x光电子谱仪均采用AlK或MgK软x射线 作激发源的原因所在;
• 光电子动能EK是可通过能量分析器测量;
• 只要逸出功s已知,即可通过测量光电子动能EK来求得元素不同 内层电子的结合能Eb , Eb是特征的,因此,可以利用作为元 素分析
第一章 X射线光电子能谱
➢ X射线光电子能谱法(XPS),因最初以化学领域应用为主要目 标,故又称为化学分析用电子能谱法(ESCA)。
➢ XPS是由瑞典Uppsala University的物理学家Kai M. Seigbahn带领他的学生及同事于1962年首次建造,并历经20 年研究发展起来的。
出功 sp代替试样逸出功s:
试样谱仪未连接
试样谱仪连接
EKsp EK
EK + s = EKsp+ sp
EKsp
仪器的sp 是给定不变的, 可通过实测EKsp来求得试样的结合能Eb.
1.1.3 逸出深度
• 光电子能量与逸出深度取决于信息能 量及其非弹性散射平均自由程;
• 逸出深度:光电子在试样中穿行,其 强度衰减至1/e时的行程称为衰减长度 ,即逸出深度。实际上与电子平均自 由程λ相等,(当x=λ时,I/I0=1/e);
1.1 基本原理
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• 紫外光源:He I(21.2eV);

He II(40.8eV)

EI > Er ;
• 高分辨率紫外光电子能谱仪可测得振动精细结构;
2020/12/9
第九章电子能谱1
•为什么电子能谱不能获得振动精细结构 •内层电子结合能>>振动能; •X射线的自然宽度比紫外大; •He I 线宽:0.003eV; •Mg K 0.68eV ; •振动能级间隔: 0.1eV;
子的屏蔽作用;电子结合能位移Eb;
• 结合能随氧化态增高而增加, 化学位移增大;为什么? • (2)电负性:三氟乙酸乙酯中碳 元素的
2020/12/9
第九章电子能谱1
3. 电负性对化学位移的影响
•三氟乙酸乙酯 •电负性:F>O>C>H •4个碳元素所处化学环境不同;
2020/12/9
第九章电子能谱1
•由图可见,Auger电子能谱
更适合轻元素分析, Z<32 。
2020/12/9
第九章电子能谱1
4. Auger峰强度
• Auger峰强度:

IA Qi ·PA
• Qi 电离截面;Auger电子发射几率;
• 电离截面Qi与束缚电子的能量(Ei)和入射电子束的能量
(Ep)有关;
• Ep< Ei 电离不能发生,则Auger产额为零;
• Ep / Ei ≈3 ,可获得较大Auger峰强度。
2020/12/9
第九章电子能谱1
5. Auger电子能谱图
• Auger电子能量与元素序数和产生的能级有关,具有特征 性; • 对于 3 ~ 14 的元素, Auger峰类型为:KLL 型; • 对于14 ~ 40的元素, Auger峰类型为:LMM 型;
•Ey(Z+ ):y轨道电子电离的电离能;
2020/12/9
第九章电子能谱1
3. Auger电子产额
• 用几率来衡量两个竞争过程,发射X射线荧光的几率PKX ;发射K系 Auger电子的几率PKX ,则K层X射线荧光产额:
•K层Auger电子几率产额:

KA=1- KX
•Z<14, KA >90%;
electron spectroscopy
•激发源 •试样装置 •电子能量分析器 •检测器 •计算机
2020/12/9
第九章电子能谱1
1. 激发源
•X射线电子能谱:X射线管(几百到几千eV); •紫外电子能谱:He、Kr的共振线5~30eV); •Auger电子能谱:强度较大的电子枪(5~10 keV); •
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第九章电子能谱1
三、紫外光电子能谱分析法
ultraviolet photoelect 外层价电子自由光电子 ( 激发态分子离子 )

入射光能量h = I+ Ek+ Ev + Er
• I 外层价电子电离能; Ev分子振动能;Er 分子转动能。
2020/12/9
第九章电子能谱1
2. 电子能量分析器
•(1)半球型电子能量分析器 • 改变两球面间的电位 差,不同能量的电子依次通 过分析器;分辨率高;
•(2)筒镜式电子能量分析器 • (CMA) • 同轴圆筒,外筒接负 压、内筒接地,两筒之间形 成静电场; • 灵敏度高、分辨率低 ;二级串联;
4. X射线光电子能谱分析法的应用
•(1) 元素定性分析 • 各元素的电子结合 能有固定值,一次扫描 后,查对谱峰,确定所 含元素(H、He除外);
•(2) 元素定量分析 • 一定条件下,峰 强度与含量成正比,精 密度1-2%;
•产物有氧化现象
2020/12/9
第九章电子能谱1
特殊样品的元素分析
2020/12/9
第九章电子能谱1
•1. 俄歇电子能谱的基本原理是什么?俄歇电子的能量主要 与哪些因素有关? • 答:俄歇电子能谱(AES)的基本原理是俄歇效应。当原 子的内层电子被激发形成空穴后,原子处于较高能量的激发 态,这一状态是不稳定的,它将自发跃迁到能量较低的状态 (退激发过程),其中非辐射退激发过程通过原子内部的转 换过程把能量交给较外层的另一电子,使它克服结合能而向 外发射(Auger过程)。向外辐射的电子称为俄歇电子,其能 量仅由相关能级决定,与原子激发状态的形成原因无关。因 而它具有"指纹"特征,可用来鉴定元素种类。
2020/12/9
第九章电子能谱1
精细结构
2020/12/9
第九章电子能谱1
紫外光电子能谱:
•AB(X):基态中性分子; •AB+(X):分子离子; •AB(X) AB+(X) (最高轨道电离跃迁) •AB(X) AB+(A) (次高轨道电离跃迁) •成键电子电离跃迁 •AB(X) AB+(B) 反键电子电离跃迁 •第一谱带I1:对应于第一电离能; •分子基态(0)离子基态(0) • 裂分 峰:位于振动基态的分子, 光电离时,跃迁到分子离子的不同振
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第九章电子能谱1
紫外光电子能谱图
• 两种结构相似 有机硫化物紫外电子 能谱对比分析
2020/12/9
第九章电子能谱1
四、Auger电子能谱分析法
Auger photoelectron spectroscopy
• 1.原理
•X 射 线
• M+* → M+ + h (荧光X射线) • M+* → M+ + e (Auger电子) •两个过程竞争; •双电离态; •三 (或两)个能级参与; •标记:K LI LII;L MI MII 等; •H、He不能发射Auger电子;
X-ray photoelectron spectroscopy
• 光电子的能量分布曲线:采用特定元 素某一X光谱线作为入射光,实验测定的待 测元素激发出一系列具有不同结合能的电 子能谱图,即元素的特征谱峰群; • 谱峰:不同轨道上电子的结合能或电 子动能; • 伴峰:X射线特征峰、Auger峰、多重 态分裂峰。
• 与电子壳层平均半径,入射光子能量,原子序数有关

• 轻原子: 1s / 2 s ≈20 • 重原子: 同壳层 随原子序数的增加而增大;
• 电子逃逸深度:逸出电子的非弹性散射平均自由程;
•:金属0.5~2nm;氧化物1.5~4nm ;有机和高分子4~10nm ;
•通常:取样深度 d = 3 ;表面无损分析技术;
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第九章电子能谱1
固体化合物表面分析
• 三种铑催 化剂X射线电子 能谱对比分析 ;
2020/12/9
第九章电子能谱1
(4)化学结构分析
• 依据:原子的化学环境与化 学位移之间的关系; • 例:化合物中有两种碳原子 ,两个峰;苯环上碳与羰基上的 碳; • 羰基碳上电子云密度小,1s 电子结合能大(动能小); • 峰强度比符合碳数比。
• 功函数:电子由Fermi能级自由能级的能量;
• 每台仪器的sp固定,与试样无关,约3 ~ 4eV;Ek可由
实验测出,故计算出Eb 后确定试样元素,定性基础。
2020/12/9
第九章电子能谱1
2020/12/9
第九章电子能谱1
电子结合能
2020/12/9
第九章电子能谱1
二、X射线光电子能谱分析法
•激 发 电 子
•Auger 电子
2020/12/9
第九章电子能谱1
2. Auger电子能量
•(1)Auger电子动能与所在能级和仪器功函数有关;
•(2)二次激发,故与X射线的能量无关;
•(3)双重电离,增加有效核电荷的补偿数 ( =1/2~1/3);
•通式:
•Ew(Z) - EX(Z):x轨道电子跃迁到w轨道空穴给出的能量;
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第九章电子能谱1
3rew
演讲完毕,谢谢听讲!
再见,see you again
2020/12/9
第九章电子能谱1
2020/12/9
第九章电子能谱1
电子结合能
• 原子在光电离前后状态的能量差:

Eb= E2 – E1
• 气态试样: Eb=真空能级 – 电子能级差
• 固态试样:(选Fermi能级为参比能级)

Eb= h –sa – Ek' ≈ h –sp – Ek
• Fermi能级:0K固体能带中充满电子的最高能级;
2020/12/9
第九章电子能谱1
可从B12中180个不同原子中,检测出其中的一个Co原子
2020/12/9
第九章电子能谱1
(3)固体化合物表面分析
•取样深度 d = 3 ;
•金属0.5~2nm; •氧化物1.5~4nm ; •有机和高分子4~10nm ; •表面无损分析技术; • 钯催化剂在含氮有机化 合物体系中失活前后谱图变 化对比。
第九章电子能谱1
2020/12/9
第九章电子能谱1
一、基本原理
principles
• 电子能谱法:光致电离;

A + h A+* + e
•紫 外 ( 真 空 ) 光 电 子 能 谱
•h
•X 射 线 光 电 子 能 谱
•h
•Auger电子能谱
•h
• 单色X射线也可激发多种核内电子或不同能级上的电子 ,产生由一系列峰组成的电子能谱图,每个峰对应于一个原 子能级(s、p、d、f);
2020/12/9
第九章电子能谱1
光电离几率和电子逃逸深度
• 自由电子产生过程的能量关系:

h = Eb+ Ek+ Er ≈ Eb+ Ek
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