真空机组使用说明及注意事项正式样本

文件编号：TP-AR-L9927

There Are Certain Management Mechanisms And Methods In The Management Of Organizations, And The Provisions Are Binding On The Personnel Within The Jurisdiction, Which Should Be Observed By Each Party.

（示范文本）

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真空机组使用说明及注意事项正式样本

真空机组使用说明及注意事项正式

样本

使用注意：该管理制度资料可用在组织/机构/单位管理上，形成一定的管理机制和管理原则、管理方法以及管理机构设置的规范，条款对管辖范围内人员具有约束力需各自遵守。材料内容可根据实际情况作相应修改，请在使用时认真阅读。

一真空机组开机流程

1、启动VB150维持泵，然后打开出口阀。当电

阻计2真空度达到5帕以下时，启动扩散泵加热。

2、启动VB200旋片泵，打开旁通阀；当电阻计

1真空度达到2000帕以下时，开启2ZJP—300罗茨

泵，进行预抽。

3、扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到

5帕以下时，先关闭旁通阀，再打开主阀，进行主

抽。

4、关闭2ZJP—300罗茨泵，30秒后关闭VB200

旋片泵。

二真空机组关机流程

1、关闭主阀。

2、启动-----关机程序。

三真空机组使用注意事项

1、真空机组在使用的整个过程中，必须保证水路、气路完整通畅。

2、必须严格按照真空机组的开机、关机流程，进行操作。

3、扩散泵加热过程中，若不慎断水。应先关闭扩散泵电源，再关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器，并使用电风扇进行降温。在这过程中，要一直保持VB150维持泵和出口阀处于开启状态。

4、扩散泵加热过程中，若VB150维持泵出现故障不工作，应先关闭出口阀，然后启动VB200旋片

泵，再启动2ZJP—300罗茨泵，打开维持阀进行主抽。

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