GMS教育训练气体监控系统介绍资料
控制系统说明
控制系统说明(Control System Description)由于工艺的需要,要用有毒或危险性气体,为了对气体系统进行统一的监控,防止发生意外事故,需要建立全厂的气体监控系统(GMS)。
该系统需要监测的项目有晶片制造过程中使用的危险性气体、有机溶剂是否存在泄漏,以及工作环境中氧气的浓度,以及气瓶柜的状态等等,要求监控系统在气体出现泄漏时,根据设定值来判断发生泄漏的区域,并发出警示信号或执行连锁停机操作,当险情时通过广播传达紧急疏散信息。
在气体监控系统(GMS)中,涉及到紧急应变中心(ERC)、PLC控制柜、现场的各种监测仪器(CM4、A TMI)、报警灯(LAU)以及广播系统(PA)几个部分。
目前而言,现场各种监测仪器以及其使用的电源线、报警器控制线以及与气瓶柜监测系统的PLC的线路、紧急按钮(EMO)都集中连接到PLC控制柜中;紧急应变中心与PLC控制柜通过线路连接,实现监控数据的采集。
据此分析,该监控系统的网络如图1所示。
其中,气体监测器、地震仪以及紧急按钮的信号是作为PLC的输入信号,而报警灯、广播系统以及气瓶柜监控系统的信号是PLC的输出信号,监控软件部分和PLC通讯是双向的。
大致的工作流程是:PLC实时采集气体监测器的测量值,并判断是否达到了低值报警和高值报警的范围。
如果达到低值报警范围(HiAlarm),控制报警黄色灯亮,并在监控画面上显示报警的区域以及产生报警的气体监测器的位置;如果达到高值报警条件(HiHiAlarm),控制报警红色灯亮,并发出报警声音,同时相应的广播系统发出语音广播信息,在监控画面上显示报警的区域以及产生报警的气体监测器的位置,按要求向气瓶柜监控系统(GDS)输出关闭相关气瓶柜的信号。
如果发生地震,PLC会采集位于不同位置的三个地震仪的检测数据,通过比较确认地震的等级,根据地震等级不同,控制相应的报警灯、广播系统以及关闭气瓶柜。
在紧急的情况下,可以通过紧急按钮来控制某个区域设备的关停。
gms介绍
行业应用前景
智能交通
GMS可以应用于智能交通领域,提供实时交通信息、车辆跟踪、 路况预测等功能,提高交通运营效率,减少交通拥堵。
智能物流
通过GMS技术,可以实现物流信息的实时跟踪、货物状态的实时 监控,提高物流效率,降低物流成本。
智能农业
在农业领域,GMS可以提供土壤状况监测、作物生长预测等功能 ,提高农业生产效率,增加农业收益。
可靠性
GMS系统采用了先进的数 据存储和备份技术,确保 数据的安全性和可靠性。
扩展性
GMS系统可以方便地进行 功能扩展和规模扩展,满 足不同用户的需求。
gms系统的功能
数据管理
GMS系统可以实现对各种类型的 数据进行存储和管理,包括结构 化数据、半结构化数据和非结构
化数据。
流程管理
GMS系统可以定义各种业务流程 ,实现流程的自动化和规范化。
报表生成
GMS系统可以快速生成各种报表 和统计数据,方便用户进行数据
分析和决策。
gms系统的应用范围
制造业
GMS系统在制造业中有着 广泛的应用,包括生产管 理、质量管理、库存管理 等方面。
物流业
GMS系统可以实现物流信 息的自动化处理和跟踪, 提高物流效率。
服务业
GMS系统可以应用于服务 业中,实现服务流程的自 动化和规范化。
用于将网络流量从一个网络转发到另一个网 络。
防火墙
用于保护网络免受未经授权的访问和攻击。
交换机
用于将网络流量从一个端口转发到另一个端 口。
VPN设备
用于创建安全的远程访问通道,以确保远程 用户可以安全地连接到公司网络。
终端设备
电脑
包括台式机、笔记本电脑和平板电脑 等,用于执行应用程序和存储数据。
gms介绍
评估指标四
资源配置优化率
成功案例分析
成功案例一
某制造企业通过GMS系统实现了 生产过程的可视化,提高了生产 效率和产品质量,最终实现了企 业整体效益的提升。
成功案例二
某物流企业利用GMS系统优化了 运输路径,降低了运输成本,提 高了企业的竞争力。
成功案例三
某医疗机构采用GMS系统实现了 医疗资源的优化配置,提高了医 疗服务水平,赢得了患者的好评 和信任。
GMS发展历程
早期发展
GMS最早是在Android操作系统中集 成的,为Android设备提供了基本的 Google服务支持。
不断扩展
独立化
为了更好地满足不同国家和地区的需 求,Google将GMS从Android操作 系统中独立出来,成为一个单独的服 务集。
随着Android设备的普及和Google服 务的不断扩展,GMS的应用和服务也 不断增加,涵盖了更多的领域。
语音通话
GMS系统支持语音通话功能,用户 可以通过语音通话与其他用户进行沟 通。
信息推送
GMS系统可以向用户推送各种信息 ,如天气预报、新闻资讯、广告等。
优势分析
高精度定位
GMS系统的定位精度较高,可以为用户提供 更加准确的定位服务。
良好的兼容性
GMS系统可以与其他系统进行良好的兼容, 方便用户在不同设备之间进行切换。
案例一
01
某制造企业通过GMS系统实现了生产过程的可视化,提高了生
产效率和产品质量。
案例二
02
某物流企业利用GMS系统优化了运输路径,降低了运输成本。
案例三
03
某医疗机构采用GMS系统实现了医疗资源的优化配置,提高了
医疗服务水平。
GMS介绍
Gas Piping
Interlock Signal VMB Profibus
RIO PLC
Profibus
RIO
SCADA Alarm Display Stick1 Gas Leak
2011-5-23
When gas leak happens at Tool,VMB must be shut down by human Judgement by using the remote shut down function of SCADA
Target Equipment GC,VDB,Mixer in the room GC,VDB in the room CIF3 Gas Cabinet Sih4 BSGS
Gas Cabinet 2011-5-23
16
GDS-地震仪三选二联动关系图
Interlock Signal
Gas Cabinet
气体侦测与监控系统 HammerPlus 2011-05-23
2011-5-23
1
气体侦测与监控系统
• 系统简介
GMS气体监控系统(Gas Monitor System)在半导厂中担任 极重要的角色,它主要分为GDS和GIS两部分: GDS是气体侦测器系统,当监控区域出现 气体泄漏时该 系统能实时提供 :区域性警示灯 - LAU 、全厂广播 - PA SYSTEM 、记录报表、连锁控制 - G/C、VMB、TOOL等功能。 GIS是气体信息系统,主要负责收集气体供应设备BSGS、 GC、VDB、VMB的气体供应状态,如管路压力、阀门状态、 报警和故障情况等,当监控区域出现气体供应设备异常时 该系统能实时提供 区域,设备报警提示,让现场操作人员 最快时间发现问题,同时还可实现定期自动抄表功能。
GMS系统介绍
◆氧化性气体(Oxide Gas) 这类气体具有较强的氧化性,一般同时还有其他特性,如毒性或腐蚀性等,
属于这类气体的如CL2、O2、CLF3等。
1.2、特气供应系统 高 纯工业气体供应方式一般有多种,如现场制气, 用管道输送供气,槽车输送供气,外购钢瓶或者钢瓶组 输送供气等。具体采用哪种方式公司,设计人员主要考 虑的因素是工厂的生产规模和用气需求及周边地区的气 体供应情况等。综合所有条件经过认真的技术及经济比 较后方可确定。我们的设计原则是既要做到确保供气的 质量、运行管理方便,还要降低产品的生产成本,以便 安全、可靠、高 效地供应气体。 对于特种气体的供应方式,目前应用最为广泛的 是采用外购气体钢瓶或钢瓶组来输送供气。因为它具有 投资较少,使用方式灵活的优点,电耗及制气成本也相 对比较低廉。但在气体输送的过程中气体比较容易烧到 污染,这就要求整个供应系统得到严格的管理及维护。
特殊气体从气瓶出发,先经过各种阀、配件以及 压力调节器等,由特殊气体输送管道供应到位于厂房二 楼SubFab或者洁净室的多个阀分配箱(VMB:Valve Manifold Box)中。然后再由VMB的各个Stick点供应到生 产区域的设备使用。而用气设备的尾气也还要进入现场 尾气处理装置(Local Scrubber)进行处理。
1.1、气体的分类
半导体制造业等相近行业所使用的气体一般按其使用时的特性(图1-1) 可分为五大类
图1-1 气体的分类
1.1、气体的分类
◆易燃性气体(Flammable Gas) 把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这一类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃
烧,当温度达到一定时,PH3和B2H6等气体也会产生自燃。可燃、易燃气体有一定的着火燃烧爆 炸范围,及上限值与下限值。此范围越大的气体,其爆炸燃烧危险性就越高。如B2H6的爆炸上 限为98%,下限为0.9%。
GMS系统介绍
GMS系统介绍一、引言在本章中,将介绍GMS系统的背景和目的,以及本文档的范围和目标读者。
1.1 背景GMS系统是一个全球物流管理系统,旨在提高运输效率,简化物流流程,并为用户提供实时的物流数据和分析报告。
1.2 目的本文档的目的是介绍GMS系统的各个功能模块和使用方法,以便用户能够快速上手并充分利用系统提供的各项功能。
1.3 范围本文档将详细介绍GMS系统的以下功能模块:- 订单管理- 运输管理- 库存管理- 资源管理- 报表分析1.4 目标读者本文档的目标读者包括但不限于以下人员:- GMS系统的管理员和维护人员- GMS系统的使用者和操作人员- 其他对GMS系统感兴趣的相关人员二、订单管理在本章中,将介绍GMS系统的订单管理功能模块的主要特点和使用方法。
2.1 订单创建2.1.1 创建新订单2.1.2 编辑和删除订单2.1.3 导入订单数据2.2 订单查询2.2.1 搜索订单2.2.2 高级筛选订单2.2.3 查看订单详情2.3 订单处理2.3.1 分配订单给运输车辆2.3.2 实时跟踪订单状态2.3.3 更新订单状态三、运输管理在本章中,将介绍GMS系统的运输管理功能模块的主要特点和使用方法。
3.1 运输计划3.1.1 创建运输计划3.1.2 编辑和删除运输计划3.1.3 导入运输计划数据3.2 运输调度3.2.1 分配运输任务给司机3.2.2 路线优化和调整3.2.3 实时监控运输车辆位置3.3 运输报告3.3.1 运输报告3.3.2 导出运输报告数据3.3.3 运输效率和成本分析四、库存管理在本章中,将介绍GMS系统的库存管理功能模块的主要特点和使用方法。
4.1 入库操作4.1.1 添加新货物进入库存4.1.2 收货确认和验货4.1.3 入库记录和报告4.2 出库操作4.2.1 出库操作和发货确认4.2.2 出库记录和报告4.2.3 库存预警和补货提示4.3 库存查询4.3.1 查询库存4.3.2 库存调整和变更4.3.3 库存报告和分析五、资源管理在本章中,将介绍GMS系统的资源管理功能模块的主要特点和使用方法。
GMCS气体监测报警系统——彩页
提供了各种现场气体检测仪表、报警控制器、控制输出设备、网络通讯平台以及监控管理软件的智能工业控制系统。
最多512点。
主要功能:性能优越的RS-485总线传输方式。
多种不同的系统构架。
可同时监测多种气体。
高可靠性的组态软件。
直观的电子地图显示探测器位置。
实时气体浓度值显示。
永久的数据和报警记录,刻录功能。
报警实时打印。
网络功能:通过IE浏览器远程监测。
长远距离监测。
语音报警,高报、低报及故障时均为语音报警提示。
长达2小时的备电工作时间。
应用领域:技术指标:石油、化工燃气城市住宅、供水污水处理订购指南:SP-1003气体检测报警控制器:N套(最多32套)各种气体检测器:N台(最多512台)工控机:1台显示器:1台(20’’)SCADA软件:1套加密锁:1只通讯传输方式: 网络通讯模块:1块光纤和网络传输 UPS:1台光纤传输操作台:1个网络传输打印机:1台普通RS-232使用说明书:1册GMCS32监测报警系统是一套提供了各种现场气体检测仪表、报警控制器、控制输出设备、网络通讯平台以及监控管理软件的智能工业控制系统。
最多32点。
主要功能:性能优越的RS-485总线。
多种不同的通讯传输方式。
可同时监测多种气体。
高可靠性的组态软件。
直观的电子地图显示探测器位置。
实时气体浓度值显示。
数据和报警记录。
长远距离监测。
高报、低报及故障时均有报警提示。
应用领域:技术指标:石油、化工煤矿、冶金燃气城市住宅、供水污水处理订购指南:采集模块:4套各种气体检测器:N台(最多32台)工控机:1台显示器:1台(20’’)SCADA软件:1套加密锁:1只通讯转换模块:1块UPS:1台操作台:1个打印机:1台使用说明书:1册基本配置:。
GMS中文使用手册
1.1.2 纲要......................................................................................................................................... 7
1.2 未安装 ESRI ARCOBJECTS............................................................................................................. 7 1.3 开始................................................................................................................................................ 7 1.4 读取 SHAPEFILE 文件..................................................................................................................... 7 1.5 查看 SHAPEFILE 文件..................................................................................................................... 8 1.6 查看属性表.................................................................................................................................... 8 1.7 文件转换为 2D 离散点..................................................................................................................9
空气质量监控系统
空气质量监控系统空气质量监控系统是一套用于监测和评估环境空气质量的高科技设备和软件的集合。
它通过一系列传感器和分析仪器,实时收集空气中的污染物数据,并通过数据处理和传输系统,将信息提供给相关机构和公众。
这些系统对于保护公众健康、制定环境政策和改善空气质量至关重要。
空气质量监控系统通常包括以下几个关键组成部分:1. 传感器:这些是监控系统的前端设备,负责直接与空气接触并检测污染物。
常见的传感器类型包括颗粒物传感器、气体传感器和气象参数传感器。
颗粒物传感器可以检测PM2.5、PM10等颗粒物;气体传感器可以检测SO2、NOx、CO等有害气体;气象参数传感器则可以监测温度、湿度、风速和风向等环境参数。
2. 数据采集器:传感器收集到的数据需要通过数据采集器进行处理和存储。
数据采集器通常具备数据预处理功能,如滤波、校准和异常值处理,以确保数据的准确性和可靠性。
3. 传输系统:数据采集器处理后的数据需要通过有线或无线传输系统发送到中央监控中心。
无线传输系统如GPRS、3G/4G网络等,可以实现远程监控和数据实时更新。
4. 数据处理和分析软件:在中央监控中心,接收到的数据通过专业的数据处理和分析软件进行进一步的处理。
这些软件可以进行数据的统计分析、趋势预测和污染源追踪等,为环境管理和决策提供科学依据。
5. 显示和报警系统:空气质量监控系统通常配备有显示终端,如大屏幕显示器或移动设备应用程序,用于实时显示空气质量指数(AQI)和相关污染物浓度。
此外,系统还可以设置报警阈值,当污染物浓度超过安全标准时,自动触发报警,提醒相关部门和公众采取应对措施。
6. 报告和发布系统:空气质量监控系统还应具备报告和发布功能,能够生成定期的环境质量报告,并通过互联网、移动应用等渠道向公众发布,提高公众的环境意识和参与度。
空气质量监控系统的应用范围非常广泛,包括城市环境监测、工业污染控制、交通污染监测、农业和林业环境监测等。
随着技术的进步和环境意识的提高,空气质量监控系统将在未来的环境管理和保护中发挥更加重要的作用。
SonicWall全球管理系统(GMS)产品说明说明书
SONICWALL GLOBAL MANAGEMENT SYSTEM Comprehensive security management, monitoring, reporting and analyticsA winning security management strategy demands deep understanding of the security environment to promote better policy coordination and decisions. Not having an enterprise-wide view of the full security construct often leaves organizations at risk to preventable cyber-attacks and compliance violations. Using numerous tools running on different platforms and reporting data in different formats make security analytics and reporting operationally inefficient. This further impairs the organization’s ability to quickly recognize and respond to security risks. Organizations must establish a systematic approach to governing the network security environment to overcomethese challenges.SonicWall Global Management System (GMS) solves these challenges. GMS integrates management and monitoring, analytics, forensics andaudit reporting. This forms thefoundation of a security governance,compliance and risk managementstrategy. The feature-rich GMS platformgives distributed enterprises, serviceproviders and other organizations afluid, holistic approach to unifying alloperational aspects of their securityenvironment. With GMS, security teamscan easily manage SonicWall firewall,wireless access point, email security andsecure mobile access solutions, as wellas third-party network switch solutions.This is all done via a controlled andauditable work-stream process to keepnetworks sharp, safe and compliant.GMS includes centralized policymanagement and enforcement, real-time event monitoring, granular dataanalytics and reporting, audit trails,and more, under a unifiedmanagement platform.Benefits:• Establishes a unified securitygovernance, compliance and riskmanagement security program• Adopts a coherent and auditableapproach to security orchestration,forensics, analytics and reporting• Reduces risk and provide a fastresponse to security events• Provides an enterprise-wide view ofthe security ecosystem• Automates workflows and assuressecurity operation compliance• Reports on HIPAA, SOX, and PCI forinternal and external auditors• Deploys fast and easy with software,virtual appliance or cloud deploymentoptions — all at a low cost.GOVERNS CENTRALLY• Establish an easy path to comprehensive security management, analytic reporting and compliance to unify your network security defense program• Automate and correlate workflowsto form a fully coordinated security governance, compliance and risk management strategy COMPLIANCE• Helps make regulatory bodies andauditors happy with automatic PCI,HIPAA and SOX security reports• Customize any combination of securityauditable data to help you move towardsspecific compliance regulationsRISK MANAGEMENT• Helps make regulatory bodies andauditors happy with automatic PCI,HIPAA and SOX security reports• Customize any combination of securityauditable data to help you move towardsspecific compliance regulationsGMS provides a holistic approach to security governance, compliance and risk managementGMS satisfies the enterprise’s change management requirements through a workflow automation processes and procedures. The workflow feature assures the correctness and the compliance of policy changes by enforcing a rigorous process for configuring, comparing, validating,reviewing and approving policies prior to deployment. The approval groups are flexible, enabling adherence to company security policy while mitigating risk, reducing errors, improving efficiency, and ensuring high security effectiveness.With GMS’s workflow automation and auditing of policy changes, enterprises gain agility and confidence in deploying the right firewall policies, at the right time, and in conformance to compliance regulations.GMS Workflow Automation: Five steps to error-free policy management1. CONFIGURE AND COMPARE GMS configures policy change orders and color-codes diffs for clear comparisons2. VALIDATE GMS performs an integrityvalidation of the policy’s logic3. REVIEW & APPROVE GMS emailsreviewers and logs a (dis)approval audit trail of the policy4. DEPLOY GMS deploys the policy changes immediately or on a schedule5. AUDIT The change logs enable accurate policy auditing and precise compliancedataScalable distributed architectureAt the core of GMS is a distributed architecture that facilitates limitless system scalability. A single instance of GMS can add visibility and control over thousands of your network security devices under its management, regardless of location. At the user-experience level, the GMS universal dashboard utilizes cutting-edge user interface design and usability concepts that work together to provide consistent operator workflows across the security ecosystem.GMS is an on-premises solution, deployable as a software or a virtual appliance. Alternatively, SonicWall Cloud Global Management System (Cloud GMS) is cloud-delivered security management and reporting platform that accelerates and simplify security management operations while increasingservice agility – all at a low subscription cost.Port Expansion ScalabilityWall GMS Secure Compliance EnforcementVPNEnterprise ClientsMSSP’s managed firewalls MSSP’s co-managed firewallsCloud-based SonicWall Global Management System EnvironmentsContext-sensitive dashboards display a variety of informational widgets, such as geographical maps, syslog reports, bandwidth summaries, top websites accessed, or the data that is most relevant to specific users.Intuitive graphical reports simplify managed appliance monitoring. Easily identify traffic anomalies based on usage data for a specific timeline, initiator, responder or service. Export reports to a Microsoft Excel spreadsheet, portable document format (PDF) file or directly to a printer.Minimum system requirementsBelow are the minimum requirements for SonicWall GMS with respect to the operating systems, databases, drivers, hardware and SonicWall-supported appliances:Operating systemWindows Server 2016Windows Server 2012 Standard 64-bitWindows Server 2012 R2 Standard 64-bit (English and Japaneselanguage versions)Windows Server 2012 R2 DatacenterHardware requirementsUse the GMS Capacity Calculator to determine the hardware requirements for your deployment.Virtual appliance requirementsHypervisor: ESXi 6.5, 6.0 or 5.5Use the GMS Capacity Calculator to determine the hardware requirements for your deployment.VMware Hardware Compatibility Guide:/resources/compatibility/search.php Supported databasesExternal databases: Microsoft SQL Server 2012 and 2014Bundled with the GMS application: MySQLInternet browsersMicrosoft® Internet Explorer 11.0 or higher (do not use compatibility mode) Mozilla Firefox 37.0 or higherGoogle Chrome 42.0 or higherSafari (latest version)GMS gatewaySonicWall SuperMassive™ E10000 Series, SonicWall SuperMassive™ 9000 Series, E-Class Network Security Appliance (NSA), and NSA Series Supported SonicWall appliances managed by GMSSonicWall Network Security Appliances: SuperMassive E10000 and 9000 Series, E-Class NSA, NSA, and TZ Series appliances®SonicWall Secure Mobile Access (SMA) appliances: SMA Series andE-Class SRASonicWall Email Security appliancesAll TCP/IP and SNMP-enabled devices and applications for active monitoringAbout UsSonicWall has been fighting the cyber-criminal industry for over 25 years, defending small, medium size businesses and enterprises worldwide. Our combination of products and partners has enabled a real-time cyber defense solution tuned to the specific needs of the more than 500,000 global businesses in over 150 countries, so you can do more business with less fear.。
监控系统用户使用手册
目录第一章系统概述…………………………………………. 第二章系统配置与安装…………………………………. 第三章系统使用说明…………………………………….第一节启动SQL SERVER……………………………第二节进入系统……………………………………….第三节主界面………………………………………….第四节实时监控……………………………………….第五节信息查询……………………………………….第六节报表统计……………………………………….第七节系统管理………………………………………. 第四章技术支持………………………………………….第一章系统概述1、CNGMS加气站管理系统概述CNGMS加气站管理系统是随着现代科技的发展,根据加气站的实际情况而开发的一套管理系统。
该系统是智能化的售气管理系统,它采用先进的加气机前端控制和通讯技术,加之配有功能强大,数据安全准确的大型数据库及操作方便,界面友好的计算机管理系统,使得控制系统不仅具有在加气控制过程中的必备功能,还能解决许多一般CNG加气站在售气控制系统不能够数据采集、统计、查询和报表处理的问题,达到满足CNG站加气机与计算机终端硬件有效联机,结合完善的智能中央数据统计管理系统软件、配套IC卡,实行一车一卡或一车多卡,每车打印出加气信息参数,统计数据随调随查,每天每月每年信息保存量大、数据统计准确,使加气站的售气工作管理更加科学化、智能化,提高了CNG加气站的售气工作效率,为大规模多站联网奠定坚实的基础。
系统能时时记录下端机传来的数据,对下端机加气数据进行监控、处理、存储,并提供了多种查询、统计方式供用户使用,以便满足用户的各种不同要求;这种配套使用非接触式IC卡的加气站管理系统也称为射频卡收费系统,它采用先进的非接触式IC卡技术、微处理器技术和图文并茂的WINDOWS界面, 使用当今世界上流行的RAD(Rapid Application Development)工具和大型数据库 SQL SERVER 开发。
GMS系统介绍(2023版)
GMS系统介绍GMS系统介绍一、背景介绍GMS系统(Global Management System)是一款全球化管理系统,旨在帮助企业实现跨国贸易和全球市场拓展。
该系统提供了一系列功能强大的工具和模块,以满足企业的各种管理需求。
二、系统特点⒈多语言支持:GMS系统支持多种语言,为国际化企业提供了便利。
用户可以根据自身需求选择系统界面语言,实现全球统一管理。
⒉企业资源管理:该系统提供了全面而灵活的企业资源管理功能,包括人力资源管理、财务管理、供应链管理等。
企业可以通过该系统有效管理和配置资源,提高工作效率和资源利用率。
⒊销售管理:GMS系统提供了强大的销售管理功能,包括客户管理、销售订单管理、销售分析等。
通过该系统的销售管理模块,企业可以实时掌握销售情况,制定销售策略,提高销售效益。
⒋采购管理:系统提供了完善的采购管理模块,包括供应商管理、采购订单管理、库存管理等。
企业可以通过该系统对采购流程进行规范化管理,降低采购成本,提高采购效率。
⒌库存管理:GMS系统提供了全面的库存管理功能,包括库存盘点、库存报表等。
企业可以通过该系统对库存进行实时监控,避免库存过量或不足,提高库存周转率。
⒍数据分析与报表:系统提供了强大的数据分析和报表功能,帮助企业进行数据统计和分析。
通过灵活的报表设计和数据图表展示,企业可以更好地了解业务情况,做出决策。
三、系统架构GMS系统采用分布式架构,拥有多个子系统,并与企业现有的ERP系统进行集成。
系统拥有一个中央控制台,用于管理不同的子系统和模块。
四、系统使用流程⒈登录与权限管理用户通过登录页面输入账号和密码进行登录。
系统根据用户权限控制,进入不同的功能模块。
⒉主页面导航系统主页面提供了导航菜单,供用户快速进入各个功能模块。
用户可以根据自身需求选择相应模块进行操作。
⒊功能模块操作用户进入具体功能模块后,可以根据系统提供的操作界面和指南进行相应操作,如添加客户、报表等。
⒋数据分析与报表用户可以根据自身需求进行数据分析和报表。
GMS教育训练 气体监控系统介绍
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TUONENG TECH - CONFIDENTIAL
File Number
1.3、BSGS简介
BSGS即Bulk Special Gas System,针对有些气体的用量很大,为 了减少更换钢瓶的频率,减少运营成本。设计者会考虑使用BSGS。其 系统构成请见图1-3
图1-3
10
TUONENG TECH - CONFIDENTIAL
◆腐蚀性气体(Corrosive Gas) 这些腐蚀性气体通常也具有较强的毒性。腐蚀性气体一般在干燥状态下不容 易腐蚀金属,但是一遇到水就有很强的腐蚀性,如HCL、HF、SiF4、WF6等等。
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TUONENG TECH - CONFIDENTIAL
File Number
1.1、气体的分类
◆惰性气体(Inert Gas) 惰性气体本省一般不会直接对人体产生伤害。在气体运输过程中在安全上没 有以上其他几种气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间发生泄漏会使 人窒息而发生伤亡事故。 ◆氧化性气体(Oxide Gas) 这类气体具有较强的氧化性,一般同时还有其他特性,如毒性或腐蚀性等, 属于这类气体的如CL2、O2、CLF3等。
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TUONENG TECH - CONFIDENTIAL
File Number
2.3、紧急停止按钮的作用与简介
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TUONENG TECH - CONFIDENTIAL
File Number
2.2、报警灯的作用与简介
• 用途:报警指示灯在GMS系统主要用于指示现场报警情况,由报警灯和 蜂鸣器组成,报警灯包含黄色报警灯和红色报警灯。当泄漏报警达到一 段报警时,本地报警单元黄灯和蜂鸣器启动;当泄漏报警达到二段报警 时,本地报警单元红灯和蜂鸣器启动。 • 特性:报警指示灯一般选用塔式报警灯,报警灯需求电力24VDC,指示 灯选用黄色灯、红色灯,蜂鸣器声响需达到80分贝或更高。 • 信号:每种报警指示灯都可由控制单元(PLC)来控制其起停。一般报警指 示灯都需要控制单元(PLC)提供两组信号:一段报警输出信号、二段报警 输出信号。 • 安装:报警指示灯一般安装在供气设备旁边或厂房中显眼位置,方便现 场人员在第一时间得知报警的发生。指示灯的排列方式为红色灯在上, 黄色灯在下。
GS现场气体系统知识培训
3 气体设备自身安全措施-2
g. 抽风口处安装侦测器取样口,与 气柜联动。 h.气柜上防安装警示灯。
i.气柜安装有EMO摁钮。
j.出口管路为双套管设计,并装设负压传感器。 k.气柜与GMS联动,具备远程操作,监控功能。 l. 自动关断装置,当气柜收到关断信号时不仅切断出 口阀,而且关断根会关断钢瓶出口阀门。
6、侦测器
现场只有在侦测器正常工作下检测气体泄露PLC程序会
响应,报警灯才会报警.
侦测器
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2、管路架构流程图
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1 特气区域平面图
金 马 北 街
GS侧门,集合点B
金
路
特气B区: Ar、TMB、PH3、 GeH4、CH4 特气A区:H2、SIH4 GS正门,集合点A
金 马 南 街
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GMS简介
将所有CM4设为 校正状态
关闭喇叭功能
关闭警示灯功能
关闭Remote shutdown功能
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GMS 简介
显示所有CM4 Rack以 及进入Rack画面
CM4
D/I x2(Fault/maintain) RS422(Value Status)
PLC HUB GMS
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GMS 简介
显示侦测浓度
显示侦测器流量,可修 改报警值
显示Alarm 状态
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GMS 简介
进入VMB盘面
显示detector读值
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GMS 简介
Alarm状态 温度值
Detector读值、自动、手动 设定 供应压力值,可修改报警值
同一GC之其他 VMB
D/I x2(Fault/shutdown)
设置手动、自动状 态
第一段报警值 第二段报警值
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GMS 简介
显示房间或区域, 并可进入该区域
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GMS 简介
显示VMB/VMP/GC/Detector 等名称、状态,并可进入设 备画面
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GSMC
Trust. Hardwork. Warmth
GMS 简介
即时警 报记录
使用者、等级
Vertex气体侦测器在GMS中的应用
Vertex气体侦测器在GMS中的应用作者:何运来源:《今日自动化》2021年第08期[摘要]隨着科学技术及智能技术的发展,人们对半导体集成电路芯片需求越来越大。
集成电路的生产加工由于工艺的需求,需要使用到一定量的特殊气体,为保证生产线人员的安全及生产过程的稳定可靠,半导体厂务运营中心需要对生产工艺中使用到的气体是否泄漏进行实时监控。
针对这一需求,设计了气体监控系统(Gas Monitor System, GMS)。
GMS通过在现场气源端、气体分配阀端、机台端、环境端装置气体侦测器,从而检测现场保障气体使用过程中的安全。
当现场发生气体泄漏,装置在现场的气体侦测器感应并发出报警,报警信号经PLC 逻辑判断后进行相应的联动输出。
当检测到的气体浓度达到一定的设定级别时,GMS会联动远程关断供气装置,从而实现GMS的自动控制。
主要讲解美国Honeywell公司生产的纸带型Vertex气体侦测器在GMS中的应用。
[关键词]气体侦测器;模拟量信号;数字量信号;PLC 总线;自动控制[中图分类号]TP273 [文献标志码]A [文章编号]2095–6487(2021)08–00–03[Abstract]With the development of science and technology and intelligent technology, the demand for semiconductor integrated circuit chips is increasing. Due to the process requirements, a certain amount of special gas is needed in the production and processing of integrated circuits. In order to ensure the safety of production line personnel and the stability and reliability of the production process, the semiconductor factory operation center needs to monitor whether the gas used in the production process leaks in real time. To meet this demand, we designed a gas monitor system (GMS). GMS system is equipped with gas detector at the gas source end, gas distribution valve end, machine end and environment end, so as to detect the gas on site and ensure the safety in the process of gas use. In case of gas leakage on site, the gas detector of the device on site senses and sends out an alarm, and the alarm signal is output through PLC logic judgment. When the detected gas concentration reaches a certain set level, the GMS system will remotely shut off the gas supply device, so as to realize the automatic control of the GMS system. This paper mainly introduces the application of tape type vertex gas detector produced by Honeywell in GMS system.[Keywords]gas detector; analog signal; digital signal; PLC bus; auto-control随着人类的发展革新,人们对工作环境、安全和健康有更高的要求,根据ISO14001环境论证体系及OHSAS18001职业健康安全论证体系的要求,生产环境的安全和人员健康的安全关系到企业的持续稳定的发展。
气体监测系统
使用说明书Gasmonitor气体监测系统京制00000189号北京科尔康安全设备制造有限公司目录主机部分一、主机说明及简介 (4)1.1主机说明 (4)1.2 主机简介 (4)二、主机的安装与连接 (5)2.1主机安装 (5)2.2主机与探头的连接 (6)三、系统描述 (7)3.1 气体检测探头通道卡 (7)3.2 显示卡 (8)3.3 报警状态 (9)3.4 继电器 (10)四、电源故障 (11)五、校准 (11)六、技术参数表 (12)附录1使用显示卡进行设置 (13)附录2软件 (18)附录 3 备件表 (19)联系我们 (20)一、主机的说明与简介1.1 主机说明探头的安装和操作请参考相应的探头说明书。
使用本设备前,一定要确认下述事项:●所有的内部连线和现场配线均已正确地完成。
●所有接地配线满足安装手册中对系统的要求,并符合本地的国家标准。
●使用断路器和熔断器,适当地连接AC和DC电源。
GASMONITOR系统出厂前已经按照用户的要求进行配置,并随机配备详细的技术参数表,主要包括:●各通道安装输入输出卡的类型(例如CH4,O2或CO等)。
●未使用通道的位置。
●共用继电器和各继电器的工作方式和位置。
这将包括是否激活、常开/常闭、锁定/非锁定和继电器表决逻辑“图”等选项。
1.2 主机简介GASMONITOR(GMO)型固定式气体监测系统带有19英寸国际标准盘装式框架,可由微机控制并可同时检测不同的气体。
GMO每个标准框架可以控制16个通道,每个通道由输入输出通道卡连接一个气体探头。
为了确保集中控制大量现场检测探头及多级报警,GMO可根据用户的不同要求进行配置。
对于系统设置的大多数修改以及例行置零、校准和报警点的调整都能通过LCD (液晶显示)和位于显示卡前面板上的四个按钮来进行。
GMO主机提供RS232接口,与适当的PC机联接,通过SetGmon专用软件即可对整套系统进行简易快捷的设置。
经微机设置的GMO,日常维护和调整工作可脱离面板,只通过软件轻松完成。
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◆腐蚀性气体(Corrosive Gas) 这些腐蚀性气体通常也具有较强的毒性。腐蚀性气体一般在干燥状态下不容 易腐蚀金属,但是一遇到水就有很强的腐蚀性,如HCL、HF、SiF4、WF6等等。
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1.1、气体的分类
◆惰性气体(Inert Gas) 惰性气体本省一般不会直接对人体产生伤害。在气体运输过程中在安全上没 有以上其他几种气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间发生泄漏会使 人窒息而发生伤亡事故。 ◆氧化性气体(Oxide Gas) 这类气体具有较强的氧化性,一般同时还有其他特性,如毒性或腐蚀性等, 属于这类气体的如CL2、O2、CLF3等。
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引言、特气供应系统概述
在目前生产工艺较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中,大 概需要使用50种不同种类的气体。一般把气体分为大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Special Gas)两种。 大宗气体一般指集中供应及用量较大的气体,涵盖制程用气如PO2、 PH2、Ar、PHe 及非制程用气CDA、GN2等;特种气体指用量较少且 有一定危害性的气体,如易燃易爆气体SiH4、PH3等 所以针对工业用气中气体特性及用处的不同,需要设计出不同的 气体输送系统来满足不同设备的需求,本章我们就集中介绍特殊气体 供应系统。
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1.3、BSGS简介
BSGS即Bulk Special Gas System,针对有些气体的用量很大,为 了减少更换钢瓶的频率,减少运营成本。设计者会考虑使用BSGS。其 系统构成请见图1-3
图1-3
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1.1、气体的分类
半导体制造业等相近行业所使用的气体一般按其使用时的特性(图1-1) 可分为五大类
图1-1 气体的分类
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1.1、气体的分类
◆易燃性气体(Flammable Gas) 把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这一类气体。如常温下的SiH4气体只要与 空气接触就会燃烧,当温度达到一定时,PH3和B2H6等气体也会产生自燃。可燃、 易燃气体有一定的着火燃烧爆炸范围,及上限值与下限值。此范围越大的气体, 其爆炸燃烧危险性就越高。如B2H6的爆炸上限为98%,下限为0.9%。 ◆毒性气体(Toxic Gas) 工业用气中很多是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3、B2H6、PH3等的毒 性最大,它们的阀限值(TLV:Threshold Limited Valve)分别只有50ppb、 100ppb、300ppb.这些气体在空气中允许的浓度及微,因此在储存、运输及使用 中都需特别小心。一般都需采用特定的技术措施来控制使用这些气体。
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1.2、特气供应系统
高 纯工业气体供应方式一般有多种,如现场制气,用管道输送供 气,槽车输送供气,外购钢瓶或者钢瓶组输送供气等。具体采用哪种 方式公司,设计人主要考虑的因素是工厂的生产规模和用气需求及 周边地区的气体供应情况等。综合所有条件经过认真的技术及经济比 较后方可确定。我们的设计原则是既要做到确保供气的质量、运行管 理方便,还要降低产品的生产成本,以便安全、可靠、高 效地供应气 体。 对于特种气体的供应方式,目前应用最为广泛的是采用外购气体 钢瓶或钢瓶组来输送供气。因为它具有投资较少,使用方式灵活的优 点,电耗及制气成本也相对比较低廉。但在气体输送的过程中气体比 较容易烧到污染,这就要求整个供应系统得到严格的管理及维护。
GMS教育训练
气体监控系统介绍
2012年3月
1、特气供应系统
• 引言-特气供应系统概述 • 1.1-气体的分类
• 1.2-特气供应系统
• 1.3-BSGS简介
• 1.4-GC/GR简介
• 1.5-VDB/VDP简介
• 1.6-VMB/VMP简介
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1.4、GC、GR简介
用途:气柜或BSGS等供气设备在SGS系统主要用于给气体需求设备供气。
特性:一般气柜分为全自动式或半自动式及手动式三种。全自动式气柜一般都有 PLC控制,半自动式气柜一般为纯电路控制。手动式气柜一般为非电路控制; BSGS设备一般都有PLC控制。
信号:气柜或BSGS等供气设备都属于SGS系统,客户为运营的方便一般都将SGS 系统的设备信号采集到GMS系统中。全自动式气柜和BSGS设备都有PLC控制, GMS系统可通过抓取供气设备PLC的通讯或抓取供气设备PLC的信号点来实现通讯 和监控。 半自动式和手动式气柜只能通过直接抓取供气设备仪表自身的信号来实 现监控。一般GMS系统抓取供气设备的管路压力信号,气动阀的阀门状态信号, 以及磅秤信号等。 安装:使用网络线将供气设备信号传送到上层网络中,或用控制线直接将供气设备 的信号连接到GMS系统中的PLC上。
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1.2、特气供应系统
图1-2 特殊气体供应流程图
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1.2、特气供应系统
气瓶柜一般分区域的设置在主厂房的一楼的气体房内,在气体房 中技术人员要进行钢瓶更换及日常维护保养工作。对于毒性气体还要 求有各种废气处理装置(Scrubber),以便及时处理各种作业过程中 产生的有毒气体,处理后的尾气在进入中央处理装置(Central Scrubber),已确保工作环境的安全。 特殊气体从气瓶出发,先经过各种阀、配件以及压力调节器等, 由特殊气体输送管道供应到位于厂房二楼SubFab或者洁净室的多个阀 分配箱(VMB:Valve Manifold Box)中。然后再由VMB的各个Stick点 供应到生产区域的设备使用。而用气设备的尾气也还要进入现场尾气 处理装置(Local Scrubber)进行处理。