认识厂务系统种类

厂务系统有哪些

Cleanroom System [洁净室系统 ]

a内装修工程：(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceilinggrid、无尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等；

b,循环空调系统：(包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.)；

c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS 系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.

Mechanical System [机械系统 ]

中央动力， Central utility ： Mechenica(l 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水

PCW生产上水、自来水、饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施)

Specialty Gas and Bulk Gas 特[ 殊气体和大宗气体 ]

a,Bulk Gas GAS YARD气站，CQC (N2/H2/O2/Ar/He天然气)【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气( CDA) --有些 FAB 还将机台用 CDA 和厂务设备用 CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等；

b,Specialty Gas System 部( 分特性有重迭 )：

( 1)易燃性气体 (Flammable Gas)

( 2)毒性气体( Toxic Gas)

( 3)腐蚀性气体( Corrosive Gas)

( 4)惰性气体 (Inert Gas)

( 5)氧化性气体( Oxide Gas)

( 6)低压 /保温气体( HeatGas)

Water Treatment System 水[ 处理系统 ]

a超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc.

b,工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.)

c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统

etc

Exhaust System工艺排气系统] a工厂SCRUBBER酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.有些FAB还包括了紧急排烟 /事故排风系统 ]

b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类（1）电热水洗式 ; （2）燃烧水洗式（3）填充水洗式 ;（4）干式吸附式。

Chemical Dispensing Syster化学品供应系统]

包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个 FAB 产品的不同而不同 :

a,Chemical Dispe nsi ng Syste化1 学品供应系统

酸性

碱性

有机溶剂

氧化腐蚀性

b,化学品回收系统：光刻胶resist STRIPPER剥离液（EKC、SST-A2 ORP、N311、

T106 PGMEA、PGME etc.）异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等

Vacuum System [真空系统 ]

真空系统包括工艺真空（ProcessVacuum ）、真空吸尘（Hose Vacuum）或者清扫用真空、设备真空 Pump in g-li ne/ve n係统 /Pumpi ng-Exhaus系统。

Power Supply & Automation System 电[ 力供应及自动化 ]

a强电：高低压供电（包括中央变电站和各终端变电站）、ups电源供应系统（蓄电池组）、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS电容补偿系统等、各类配电盘、照明（包括tear drop泪滴型照明灯具、黄光灯）、插座；

b弱电：各类动力、EHS方面的自控部分（包括各类弱电盘面）、 FMCS厂务监控系统（包括各sub-scada系统），【监控方面还有气体监控系统（GMS）、气体侦测系统（GDS）、有的厂是 GMS+ GDS= FMCS、有的厂GMS和GDS会分开来的】、各类电气接地、静电防护系统 etc.

Construction [ 建筑结构 ]

建筑结构相关（包含厂房维修），主要分为建筑和结构两大块（有些 FAB 将 EHS 相关的防火门、逃生门、紧急疏散口、挡烟垂臂、升降平台etc也归入此类）

EHS System Control [环境健康安全 ]

EHS 涉及环境保护（污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFC、CFC、PFOS ROHS指令等、WEEE等】）、健康（职业卫生）、工业安全、能源、治安保卫、ERC（ERT应急响应等）、风险管理【ISO14001 OHSAS18001 QC080000 等】，EHS其它等。

硬件涉及：消火栓设备、喷淋系统、漏液检测系统、门禁系统、电话广播系统、

PHS系统、紧急对讲机系统，感温电缆报警系统、 vesda烟感热感探头、闭路电视系统/CCTV监视摄像头、消防与观光电梯、地震监控系统、SCBA呼吸面具、紧急冲淋、各类灭火器、PPE个人防护用具etc.

Energy Saving厂务节能］

涵盖所有厂务系统的节能降耗、 cost saving/cost dow、nVE 提案、能源管理等