超精密平面研磨和抛光

超精密平面研磨和抛光
一、精密平面的研磨机
二、平面研磨使用的研具
1）特种玻璃，或用在加工成平面的金属板上涂一层四氟乙烯或镀铅和铟；
优点：能得到高精度的平面
缺点：研具层寿命短
2）使用半软质研磨盘或软质研磨盘
优点：研磨出的表面变质层很小，表面粗糙度也很小；
缺点：研磨盘不易保持平面度
三、平面研磨时工件和软质研具的磨损量
工件与研具两者的任意点A处的加
工量和研具磨损量，相对于两者的
中心各自画圆弧与横轴相交，从交
点出发每20min间隔与纵轴平行地
上升或下降。

工件形成凸面，研具在半径上形成
凹面
使用ηp小的研具效果好。

使用ξ
小的研具能有效地控制平面度的恶
化，但ξ太小时，压力偏差较大，反而易引起平面度的恶化。

而当ξ较大时，只要加工量少，由于压力偏差较小，初始的平面度不会产生多大的恶化。

四、平行度和晶体方位误差的修正
平行度的修正研磨是使被加工面与基准平面的角度误差达到最小值。

单面研磨法采用使工件附加偏心压力。

晶体方位误差的修正加工是以晶格面作参照物进行研磨的。

五、获得高质量平面研磨抛光的工艺规律
1）研磨运动轨迹应能达到研磨痕迹均匀分布并且不重叠。

2）硬质研磨盘在精研修形后，可获得平面度很高的研磨表面，但要求很严格的工艺条件。

3）软质（半软质）研磨盘易获得表面粗糙度值极小和表面变质层甚小的研磨抛光表面，但不易获得很高的平面度。

4）使用金刚石微粉等超硬磨料可获得很高的研磨抛光效率。

5）研磨平行度要求很高的零件时，采用
（1）上研磨盘浮动以消除上下研磨盘不平行误差；
（2）小研磨零件实行定期180度方位对换研磨，以消除因研磨零件厚度不等造成上研磨盘倾斜而研磨表面不平行；
（3）对各晶向硬质不等的晶片研磨时，加偏心载荷修正不平行度。

6）为提高研磨抛光的效率和研磨表面质量，可在研磨剂中加入一定量的化学活性物质。

7）高质量研磨时必须避免粗的磨粒和空气中的灰尘混入，否则将使研磨表面划伤，达不到高质量研磨要求。

参考资料：/。