洁净室污染控制

洁净室污染控制
查清洁净室所存在的污染源及其传播途径，是制定洁净室污染控制措施的首要步骤和基本条件。

只有对各种污染源的生成机制、传播途径进行科学分析，把握了这些污染的形成、扩散规律，才有可能制定出切实可行的污染控制对策。

1.1污染源
各个不同洁净室或洁净设施，其污染源的构成及所占份额可能不尽相同，但主要的污染源包含以下几个方面：
一、人员
尽管生产工艺日益提高机械化、自动化程度，尽量减少人员直接进入生产区，以降低由于人员参与带入的污染。

但列为多数洁净室污染来源首位的仍然是人。

为防止进入洁净室人员散发过量的污染物，以致危害生产环境而采取了许多措施，如进入前穿着适用于不同级别洁净室的成套洁净服、戴口罩、操作手套、指套等；人员进入洁净室前，一般要经过空气吹淋；此外，进入人员还有其他的种种规章制度，例如个人卫生、化妆品的使用限制，在洁净室内的行走速度等。

自1实际1年代洁净室诞生以来，上述一系列措施的逐步完善，大大降低了人员的污染散发量。

但即便如此，仍然存在人体表面及内衣上的污染物穿透洁净服，以及人员呼吸所产生的污染物，扩散到洁净室空气中污染环境、产品的问题。

曾经有人为洁净室设计过类似于宇航服装的洁净工作服，人员的呼吸经封闭头盔和软管接到尾气过滤装置来完成。

虽然这种服装几乎杜绝了人员向外散发污染粒子，但是既不实用，造价也昂贵，同时因为严重制约人员的行动，妨碍正常操作和工作效率而难于推广。

二、毗邻洁净室的污染区域
与洁净室周边毗邻或相通的，较低洁净度的区域或非洁净区，由于人员、物料的进出携带的污染空气，或沉降在人员、物料上的污染物被带入，是影响室内洁净度的另一个重要污染源。

合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。

设在门口的缓冲室及风淋室也有一定的作用，但完全避免周边污染区域对洁净室环境的干扰与影响也是困难的，特别是洁净室在外门的附近区域。

因此，工艺关键区域
宜远离外门。

三、未经过滤的送风
在正常情况下，新建、改造洁净室或是末级过滤器更换后，按规范进行了严格的验收检测，那么高效过滤器本身、高效过滤器与支撑架的接触面如有泄露，都应被查出并予以处理。

此时，送风系统就应不存在未经过滤而进入洁净室的空气。

值得防范和注意的是，在生产过程中未按操作规章不慎触及脆弱的高效过滤器滤芯，或是高效空气过滤器支撑框架因振动、或是密封胶垫老化、变质致使高效过滤器与框架接触面的密封垫或胶条出现裂隙，从而泄露未经过滤的空气，污染洁净室。

四、围护结构及其他表面
随着建筑装饰材料技术的进步，洁净室墙面、地面、顶棚的产尘量日益降低。

其表面平整光滑，并防静电，因此吸附、聚积尘粒的几率也在下降。

洁净室所使用设备、家具等的表面也都具有同样的性能，正常条件下不应产尘、积尘，但洁净室各种表面依然存在由于人员的触摸被污染，或因生产过程中被污染空气所携带尘粒的沉降、附着作用，而被污染。

特别是在非工作班未设值班工况时，因洁净空调系统停止运行而对周围环境无正压功能，由于扩散效应侵入室内空气中的污染粒子将沉降、附着到各个表面上。

当洁净室重新正常运行与工作时，未清洁这些表面，那么它们将成为洁净室的又一个污染源。

五、处于工作状态的机器设备
多年来，为减少洁净室人员产生的污染以及提高工作效率和精度的双重考虑，洁净室采用了更多的机器设备、机械手及其他自动化装置。

实践过程中发现，这样固然减少了人员的污染因素，从一定程度上改善了洁净室的状况。

但运转中的机器设备由于润滑剂、机械磨损以及电器自控装置运行产生的尘粒污染，又成为了受关注的问题。

六、原材料、容器、包装等
对进入洁净室的设备、材料以及容器、包装等的预清洁、拆包地点和方法，以及进入洁净室的程序等，在洁净室运行管理的相关规范中都有明确说明。

但仍难完全杜绝粘附在原材料、容器、包装，特别是一些难于彻底清洁的产品的细小组件上的污染物被带入洁净室，不少洁净室产品部件带入的微粒是生产出现问题的重要问题。