JEM-2100透射电镜JSM-7600F场发射扫描电镜开放使用及
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附件:日本电子JEM-2100高分辨透射电镜/ JSM-7600F场发射扫描电镜简介
JEM-2100高分辨透射电镜
一、主要部件
JEM-2100主机,ORIUS SC1000型CCD,牛津80mm2电制冷X射线能谱仪(EDS),双轴倾转样品杆
二、主要指标
电子枪:LaB6(六硼化镧)
点分辨率:0.23 nm
线分辨率:0.14 nm
加速电压:80, 100, 120, 160, 200kV
束斑尺寸: 1.0至25 nm
放大倍数(高倍模式):2000至1,500,000
放大倍数(低倍模式):50至6,000
CCD分辨率:4008×2672 max.
倾斜角:±35º
采用MS Windows为基本操作界面,操作直观简便。
三.特色功能
⏹除高分辨、电子衍射和能谱等基本功能外,该电镜还具备纳米束电子衍射(NBD)、汇聚束电子衍
射(CBD)功能,适用于纳米晶体、多相合金、复合材料的衍射表征。
⏹配备扫描透射电镜(STEM)模式,可采集STEM明场像和暗场像,并配合能谱实现微区元素分析
和元素分布图(Mapping)。
JSM-7600F场发射扫描电镜
一、主要部件
JSM-7600F场发射扫描电镜,牛津80mm2电制冷X射线能谱仪(EDS),背散射探头(BSE)
二、主要指标
电子枪:热场发射
二次电子像分辨率: 1.5 nm(1 kV,GB 模式),1.0 nm(15 kV)
放大倍数:25 至1,000,000×
加速电压:0.1 至30 kV
束流: 1 pA 到200 nA(15 kV时)
数字图像:5120×3840 max.
样品水平行程(X-Y):140 mm×80 mm
倾斜角度:-5 至+70°
旋转角度:360°
工作距离: 1.5 mm 至25 mm
配备上方和低位SEI探测器、BSE探测器
三.特色功能
⏹Gentle Beam模式(即“减速模式”)可将电子束损伤降低到最低程度,适用于不导电样品表征。
⏹配备γ过滤器,能控制能量选择或二次电子及背散射电子像的图像混和率。
⏹背散射探头(BSE)信号可配合二次电子像生成混合运算图像,同时获取形貌图和元素衬度图。
上述特色功能欢迎有需要或有兴趣的课题组联系试用。