生产车间防静电技术要求

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生产车间防静电技术要求

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1范围

本标准规定了本公司生产车间静电防护的技术要求；

本标准适用于本公司产品生产、物料存放、试验现场的防静电控制。

2术语

2.1防静电工作区（EPA）

配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记且满足防静电要求，为建立保护面积和进行保护性操作所必须配置的设施和工具的统称，如有静电敏感元器件和组装件操作的生产区和物料存放区域。

2.2硬接地（hard ground）

直接与大地电极做导电性连接的一种接地方式。

2.3软接地（soft ground）

通过一足以限制流过物体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式。

2.4大地电极(earth electrode)

埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。他可以是杆状的、板状的或网状的，为接地系统提供接大地的基准点。

2.5静电耗散材料（dissipative materials）

其表面电阻率等于或大于1×105Ω，但小于1×1012Ω；或体积电阻率等于或大于1×104Ω•cm，但小于1×1011Ω的材料。

3 一般要求

3.1防静电标记符号

在防静电工作区应在明显的位置贴静电防护标志，如图3-1

3-1 静电防护标志

3.2工作人员在进入防静电工作区时，须穿戴好防静电工作服、工作鞋。

3.3工作人员对静电敏感元器件、组装件进行操作时，须戴好ESD防护腕带，并测试合格。

3.4指定人员定期测量并记录车间环境条件。

4详细要求

4.1气候与环境条件

4.1.1温度

EPA内应装有温度调节装置，以维持其室温在25±5℃，采用准确度优于±2℃的温度计测量EPA 的室温，并在每日的同一时间进行测量并记录。记录表见附表1

4.1.2湿度

EPA内应装有湿度调节装置，以维持室内相对湿度在30~70%RH范围内。采用准确度优于±2%的湿度计测量EPA内的湿度，并在每日的同一时间进行测量并记录。记录表见附表1

4.1.3洁净度

保持生产现场干净、整洁。

4.1.4静电消除器

在对静电敏感元器件或组装件操作的工作台上，应装设静电消除器（离子风机等），以消除未打开的包装件上的静电荷和在操作过程中因人体、工具及其他物品相互摩擦在工件上产生的静电荷。静电消除器应能消除任何一种极性的电荷，并在其有效防护区域内使静电位保持在规定值以内，中和能力应优于±250V/s。

4.2接地

EPA内应有满足使用功能要求的防静电接地分系统，并通过大地电极分系统接到大地。

4.2.1防静电接地分系统

EPA的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地板防静电接地和操作装置、仪器的防静电接地等，连接方式如图4-1。除个别指明需采用硬接地外，一般采用软接地方式，其接地电阻可由外界

电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。

4.2.2接地安装注意事项

防静电接地分系统最好与电源地等其它分系统各自独立；防静电工具、装置等的接地端子允许使用易于拆卸的各种夹式连接器，如鳄鱼夹、插针等，但应确保电气连接可靠。

接地主干线截面积应不小于100mm2；支干线截面积应不小于6mm2；设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25mm2的多股敷塑导线，接地线颜色应和操作现场其它电源线等的颜色有较大区别。

4.3各种器材、用具的静电性能

4.3.1 测量仪器

EPA相关设施安装完成后应定期对其进行检测，并记录检测结果（检测记录表见附表2），接地系统的测量仪器的量程应为0~1011Ω，测量电极为圆柱形，直径50mm，重量2kg。仪器的输入和输出线与两电极通过鳄鱼夹、连接器等便于拆卸的方式连接，测量时施以500V电压。

4.3.2 ESD防护工作台面

除非制造工艺要求要使用导（静）电工作台面，EPA内的工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。ESD防护工作台面的对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。对地电阻测量时，将测量仪器的一端接到工作台与地线的连接线上，另一个电极测量五个点取平均值（如图4-2）。表面（点对点）电阻测量时，两测试电极相距0.9m，测量五组数据取平均值，测量时一电极不动，另一

电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动（如图4-3）

4.3.3 ESD防护地面

除非制造工艺要求需要使用导（静）电地面，EPA内应采用静电耗散地板、地垫或喷涂防静电漆，并良好接地，其对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。对地电阻测量时，仪器一个电极接防静电接地分系统，另一电极放置在防静电地面上，取房间不同位置测量并取平均值（如图4-4）；

表面（点对点）电阻测量时，一个电极固定，另一个电极以0.9m为半径取5个测量点，并取平均值（如图4-5）。

表1 EPA内各种器材的静电性能要求

器材名称

章条号表面（点对点）电

阻（Ω）对地电阻（Ω）

穿戴状态

下的对地

电阻（Ω）

说明

ESD防护工作台 4.3.2 7.5×105~1.0×1010 7.5×105~1.0×109/ ESD防护地面 4.3.3 1.0×105~1.0×1010 1.0×105~1.0×109/

ESD防护腕带 4.3.4

/ / 7.5×105~3.5×107

/ 7.5×105~1.0×

1010

/

内表面对电缆

扣

7.5×105~5.0×106

//腕带连线端对端

物流车、存放架 4.3.5 7.5×105~1.0×10107.5×105~1.0×109