Silvaco-TCAD交互式工具的界面及基本操作教学提纲
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• Interactive Tools
DeckBuild，Maskviews，DevEdit，Tonyplot，Tonyplot3D；
• Virtual Wafer Fab
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1.2 Silvaco TCAD的主要交互工具
• 集成环境 DeckBuild
仿真控制 进行仿真语法输入和编辑； 仿真的实时输出； 各仿真器通过DeckBuild调用；
2.2.4 DeckBuild菜单栏——Execution
• 进度控制（运行、结束、暂停、设置“断点”、 运行到“断点”暂停、初始化、退出、强制结束）
Page 12
2.2.5 DeckBuild菜单栏——Help
• 导入示例
Page 13
2.3 DeckBuild进度控制
• 仿真控制
Run（Ctrl + R）：从上致下执行到“断 点”（即“Stop at line”的“line”） 时结束；
Stop（Shift + F5）：执行完当前行就停 止；
Next（F10）：运行完下一行就停止； Continue（F5）：在之前停止运行的行 开始往下运行；
Initialize：从仿真历史初始化； Kill（Ctrl + K）：强制立即结束； Line（Ctrl + L）：重置当前行为选择的 行；
Page 9
2.2.2 DeckBuild菜单栏——Edit
• 输入程序的编辑，设置DeckBuild特性(保存历史文 件、工作路径，默认仿真器、实时输出…)
Page 10
2.2.3 DeckBuild菜单栏——Command
• 快速提取（材料厚度、结深、方块电阻…），显 示当前结构，工艺优化
Page 11
• 对一维曲线进行积分 • Cutline得到一维分布或器件仿真得到的特性曲线
Page 24
4 总结
• 本课的主要内容
Silvaco TCAD框架 交互工具DeckBuild及主要操作 交互工具Tonyplot及主要操作
• 下一课主要内容
TCAD仿真流程 语法规则
• 在二维结构中划“线”（直线或折线）以显示一 维信息
Page 21
3.2.1 Tonyplot －Tools>Cutline
Page 22
3.2.2 Tonyplot－Tools>Ruler
• 测量两点的距离、连线和水平线的夹角angle以及 斜率
Page 23
3.2.3 Tonyplot－Tools>Integrate
Silvaco TCAD框架，交互式工具的界面及基本操作
主要内容
第一部分 第二部分 第三部分
Silvaco TCAD框架 DeckBuild 界面及主要操作 Tonyplot 界面及主要操作
Page 2
来自百度文库
1.1 Silvaco TCAD 框架
• Process Simulation
3D-VICTORY PROCESS，VICTORY CE 2D-ATHENA，SSuprem4，MC Implant/Deposit/Etch，Elite，Optolith； 1D-ATHENA 1D，SSuprem3；
• 显示工具Tonyplot
显示器件结构 显示特性曲线 导出数据
Page 5
1.3 Silvaco TCAD启动方式
• 快捷方式文件夹路径 X:\sedatools\shortcuts • 或 启动>所有程序>S.EDA Tools>DeckBuild
Page 6
2 DeckBuild界面及主要操作
• Device Simulation
3D-VICTORY DEVICE，Device 3D，Giga3D，Luminous3D，Quantum3D， TFT3D，Magnetic3D，Thermal3D，MixedMode3D
2D-ATLAS，S-pisces，Blaze，MC Device，Giga，MixedMode，Quantum， Ferro，Magnetic，TFT，LED，Luminous，Laser，VCSEL，Organic Display， Organic Solar，Noise，Mercury；
Contours：显示器件结构内部的物理量
Vectors：显示器件内部的矢量信息
Light：显示光线在器件内部的特性
Junction：显示器件结构中结的边界
Electrodes：显示电极的名称
3D：显示三维信息
Lines：按照颜色来显示
Page 20
3.2.1 Tonyplot－Tools>Cutline
第一部分 第二部分 第三部分
Silvaco TCAD框架 DeckBuild 界面及主要操作 Tonyplot 界面及主要操作
Page 7
2.1 DeckBuild界面
菜单栏 控制条 仿真输入
实时输出
Page 8
2.2.1 DeckBuild菜单栏——File
打开/保存输入文件，保存实时输出信息
Stop at line（Ctrl + B）：设置断点。
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2.4 DeckBuild输入
• 仿真程序输入
go athena line x loc=0 spac=0.1 line x loc=1 spac=0.1 line y loc=0 spac=0.02 line y loc=10 spac=0.2 init c.phos=2e13 oreit=111 two.d tonyplot
• 显示结构和仿真曲线
Page 18
3.1.1 Tonyplot－Plot菜单
• Display：显示方式设置
Page 19
3.1.2 Tonyplot－Plot>Display
Mesh：显示结构中的网格分布
Edges：显示结构的边界
Regions：显示材料区域
EMCEJRudloeengngscehritosrionudnsrses
Page 15
2.5 DeckBuild实时输出
• 程序运行时实时显示运行进度和结果
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3 Tonyplot界面及主要操作
第一部分 第二部分 第三部分
Silvaco TCAD框架 DeckBuild 界面及主要操作 Tonyplot 界面及主要操作
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3 Tonyplot界面
DeckBuild，Maskviews，DevEdit，Tonyplot，Tonyplot3D；
• Virtual Wafer Fab
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1.2 Silvaco TCAD的主要交互工具
• 集成环境 DeckBuild
仿真控制 进行仿真语法输入和编辑； 仿真的实时输出； 各仿真器通过DeckBuild调用；
2.2.4 DeckBuild菜单栏——Execution
• 进度控制（运行、结束、暂停、设置“断点”、 运行到“断点”暂停、初始化、退出、强制结束）
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2.2.5 DeckBuild菜单栏——Help
• 导入示例
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2.3 DeckBuild进度控制
• 仿真控制
Run（Ctrl + R）：从上致下执行到“断 点”（即“Stop at line”的“line”） 时结束；
Stop（Shift + F5）：执行完当前行就停 止；
Next（F10）：运行完下一行就停止； Continue（F5）：在之前停止运行的行 开始往下运行；
Initialize：从仿真历史初始化； Kill（Ctrl + K）：强制立即结束； Line（Ctrl + L）：重置当前行为选择的 行；
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2.2.2 DeckBuild菜单栏——Edit
• 输入程序的编辑，设置DeckBuild特性(保存历史文 件、工作路径，默认仿真器、实时输出…)
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2.2.3 DeckBuild菜单栏——Command
• 快速提取（材料厚度、结深、方块电阻…），显 示当前结构，工艺优化
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• 对一维曲线进行积分 • Cutline得到一维分布或器件仿真得到的特性曲线
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4 总结
• 本课的主要内容
Silvaco TCAD框架 交互工具DeckBuild及主要操作 交互工具Tonyplot及主要操作
• 下一课主要内容
TCAD仿真流程 语法规则
• 在二维结构中划“线”（直线或折线）以显示一 维信息
Page 21
3.2.1 Tonyplot －Tools>Cutline
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3.2.2 Tonyplot－Tools>Ruler
• 测量两点的距离、连线和水平线的夹角angle以及 斜率
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3.2.3 Tonyplot－Tools>Integrate
Silvaco TCAD框架，交互式工具的界面及基本操作
主要内容
第一部分 第二部分 第三部分
Silvaco TCAD框架 DeckBuild 界面及主要操作 Tonyplot 界面及主要操作
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来自百度文库
1.1 Silvaco TCAD 框架
• Process Simulation
3D-VICTORY PROCESS，VICTORY CE 2D-ATHENA，SSuprem4，MC Implant/Deposit/Etch，Elite，Optolith； 1D-ATHENA 1D，SSuprem3；
• 显示工具Tonyplot
显示器件结构 显示特性曲线 导出数据
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1.3 Silvaco TCAD启动方式
• 快捷方式文件夹路径 X:\sedatools\shortcuts • 或 启动>所有程序>S.EDA Tools>DeckBuild
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2 DeckBuild界面及主要操作
• Device Simulation
3D-VICTORY DEVICE，Device 3D，Giga3D，Luminous3D，Quantum3D， TFT3D，Magnetic3D，Thermal3D，MixedMode3D
2D-ATLAS，S-pisces，Blaze，MC Device，Giga，MixedMode，Quantum， Ferro，Magnetic，TFT，LED，Luminous，Laser，VCSEL，Organic Display， Organic Solar，Noise，Mercury；
Contours：显示器件结构内部的物理量
Vectors：显示器件内部的矢量信息
Light：显示光线在器件内部的特性
Junction：显示器件结构中结的边界
Electrodes：显示电极的名称
3D：显示三维信息
Lines：按照颜色来显示
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3.2.1 Tonyplot－Tools>Cutline
第一部分 第二部分 第三部分
Silvaco TCAD框架 DeckBuild 界面及主要操作 Tonyplot 界面及主要操作
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2.1 DeckBuild界面
菜单栏 控制条 仿真输入
实时输出
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2.2.1 DeckBuild菜单栏——File
打开/保存输入文件，保存实时输出信息
Stop at line（Ctrl + B）：设置断点。
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2.4 DeckBuild输入
• 仿真程序输入
go athena line x loc=0 spac=0.1 line x loc=1 spac=0.1 line y loc=0 spac=0.02 line y loc=10 spac=0.2 init c.phos=2e13 oreit=111 two.d tonyplot
• 显示结构和仿真曲线
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3.1.1 Tonyplot－Plot菜单
• Display：显示方式设置
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3.1.2 Tonyplot－Plot>Display
Mesh：显示结构中的网格分布
Edges：显示结构的边界
Regions：显示材料区域
EMCEJRudloeengngscehritosrionudnsrses
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2.5 DeckBuild实时输出
• 程序运行时实时显示运行进度和结果
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3 Tonyplot界面及主要操作
第一部分 第二部分 第三部分
Silvaco TCAD框架 DeckBuild 界面及主要操作 Tonyplot 界面及主要操作
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3 Tonyplot界面