三维立体结构微纳电极研究

三维立体结构微纳电极研究

摘要基于体硅加工工艺和纳米材料技术，研制微电机系统(MEMS)尺度敏感微结构与纳米铂颗粒的复合结构，提高微电极电化学性能，制备具有三维立体微结构的安培型微电极传感器。利用硅的各向异性湿法腐蚀技术在毫米级的工作电极表面实现微米级的锥体形微池阵列，以H??2O??2为检测对象考察立体电极结构对传感器性能的改进效果，实验证明，立体结构的设计使传感器具有更低的检出限（8 μmol/L）及更高的灵敏度（在0~200 μmol/L浓度范围内检测灵敏度提高约85%），且具有较好的线性和重复性。利用电化学方法在电极表面沉积铂黑，通过微观形貌分析和电化学特性考察，比较了在平面微电极和立体微电极上修饰纳米材料的效果。立体结构为电沉积铂纳米颗粒提供了更为理想的微环境，改善了纳米材料修饰的效果；立体结构微电极与纳米颗粒的尺寸效应相结合，进一步提高了电极的催化效率和电化学特性。

关键词安培型微传感器; 微电机系统；三维立体结构；微纳电极??