真空镀膜基础知识(5)

• 导电膜、绝缘膜、保护膜 • 逻辑元件、运算器、磁片、CCD • 透明导电膜、摄像管导电膜 • LCD、录像磁头 • 蒸发镍、铝、金属陶瓷 • 电阻、电容、影印机硒鼓
纺织品
• 装饰膜 • 金属花纹、金丝银丝线
模具 消费用品
• 刀具超硬膜
• 级面板、扶手、栏杆、不锈钢薄板、手机外 壳、香烟纸
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真空镀膜的原理
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的产 品，将被镀薄膜基材装在真空蒸镀机中，用真空泵抽真空， 使镀膜中的真空度达 到 1.3×10－2～1.3×10-3Pa,加 热坩锅使高纯度的铝丝（纯度99.99%）在 1200℃～ 1400℃的温度下溶化并蒸发成气态铝。气态铝微粒在移 动的薄膜基材表面沉积、经冷却还原即形成一层连续而光 亮的金属铝层。具体包括很多种类，包括真空离子蒸发， 磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。 主要思路是分成蒸发和溅射两种。 需要镀膜的被成为基片 或基材，镀的材料（金属材料可以是金、银、铜、锌、铬、铝等，其
中用的最多的是铝 ）被成为靶材。
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基片与靶材同在真空腔中。 蒸发镀膜一般是 加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发 出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散 点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高 能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子 形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经 历成膜过程，最终形成薄膜。
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3、机械工业的应用 自用真空镀膜中的反应性离子镀膜、磁控溅射镀膜灯镀膜技术问世。真空镀膜在机械
工业的引用范围越来越广泛。 超硬膜：在切削工具中如：钻头、铣刀、插滚齿刀灯表面，真空镀上氮化钛等超硬镀膜层 ，可大大提高切削工具的使用寿命、效率及其精度。 功能膜：在机械零件表面真空镀上耐高温、防腐蚀、自润滑的技能的功能膜，可大大提高 机械零件的使用寿命及使用功能。如汽轮机叶片。 4、塑料工业的应用
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真空镀膜之应用现状
真空镀膜时一门有发展前景的表面涂覆应用技术，它具有一定系列其他 工艺不可取代的优异特点；不受镀膜元件的材料及现状的影响。镀膜的厚度 可以控制、一般为十几分几或百分之几微米；因而、它被广泛地应用于电子 设备、天文仪器、仪器、仪表等各行各业。 1、光学工业的应用
根据光学性能的要求，需要改变光学镜片表面对光波透射，反射能力。 真空镀膜就可以实现此项需求。 2、电子工业的应用
技术部技术员培训
☆☆☆涂装真空镀膜基础知识培训
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培训的五个阶段
真空镀膜的应用范围及应用现状 真空镀膜机原理 真空镀膜机设备图示 车灯镀膜基础流程 真空行业专业术语解释
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真空镀膜应用之范围：
光学
• 反射镜、增透膜、濾光片 • 天文望远镜、建筑玻璃、相机、灯具
电子电路 显示器 元件
真空术语解释
真空的含义：
真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压 力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态 称为真空状况。
工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气 体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为高真空 、中真空和低真空
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真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（ Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱
4、托与帕的转换 1托＝133.322帕 或 1帕＝7.5×10-3托
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1643年，意大利物理学家托里拆利 (E.Torricelli)首创著名的大气压实验，获得真 空。
极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称 为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小 时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10 次的平均值为极限真空值。
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静电除尘
静电除尘： 使用静电枪 对产品进行 静电除尘。 此道工序直 接影响产品 镀膜质量。
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喷涂底漆
喷涂底漆： 对产品镀膜 区域进行底 漆喷涂，针 对不同材料 的产品不可 使用相同的 油漆。
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UV固化
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真空镀膜
立式真空镀膜机
卧式真空镀膜机
源自文库
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在塑料制品上的真空镀膜，是近几年才发展起来的，并且发展速度很快，已成为真空 镀膜的一个大的应用领域。塑料制品的真空镀膜，即可镀铝、铜等金属，也可镀氯化钛、 氧化钛灯介质。目前ABS、丙烯树脂、尼龙、PC、聚丙烯等塑料基材均可实现真空镀膜 。 5、其它方面的应用
真空镀膜在农业用的薄膜纸；香烟内包装纸也是真空镀膜的一项应用。
真空镀膜在电子行业中应用极为广泛，下面列出几种： 透明导电膜：在玻璃、聚酯等基体上，真空镀上氧化铟、氧化锡薄膜，就可 实现即透明又导电的功能。可用于显示电报、平面照相电极、观点效应记录 材料等方面。 导电加热膜：在玻璃灯基体上的局部框线真空镀以鉻或镍合金，接通电源， 就可以实现加热功能，用以清除因温差带来的水蒸气灯。
现行涂装厂使用的真空镀膜设备原理为蒸发镀膜 原理。
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原理示意图
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真空镀膜机设备图示
真空镀膜设备
其
架 体真 统传
排
镀 件测 系气制 统空 统冷 统电
它
台空
腔
动
气
源
量 统体成 压
却路
系
系
模元
系
系系
统
组
工 腔体 主腔
马达 泵 电源 真空 流量 管线 管 电控
装 架台 体 夹 具 其它 抽气
镀SIO保护膜
离子轰击
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来料检验
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净化除油
净化除油：使用 特殊的除油剂对 塑料制品进行除 油。
使用方法：将适 量的除油剂注入 容器内，先浸泡 1-3min，然后使 用干净除尘布对 塑料制品擦拭， 擦拭时间是产品 大小而定
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手动除尘
手动除尘：对 塑料制品使用 特殊化学物品 对产品进行擦 拭，达到去除 产品表面灰尘 为目的。
架台 腔体
传送 机构
升降 机构
排气 管路
阀门
电极 板
镀源 蒸镀 电子 枪
计
温度 计
感知 器
控制 器
管路 及接 头
气压 缸
电磁 阀
线箱
冰 PLC
水 模组
机 电脑
流 控制
量 计
板面
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汽车车灯真空镀铝生产流程图
来料检验（抽检）
净化除油
手动除尘
常温自流平
喷涂底漆
静电除尘
IR预烘
UV固化
真空镀铝
检验及包装