多晶硅流程图及阀门分布图

冶炼 硅矿石
99%浓度硅粉 HCL
盘阀 混合器
耐磨球阀 氧化反应釜
冷氢化工艺：
区别 优点
阀门
类型 项目
Si+H2+SiCl4三者反应
投资大，效益高
1500吨/年， 其中回有 Incology 800 特材球 阀，仪表和 工艺加起来 不超过10台 。
如图所示
内蒙古包头三路集团3000吨/年多晶硅项目，项目经理：洪川。仪表设计：杨勇。审核：顾兴海
热氢化工艺：
区别 优点
阀门
类型 项目
Si+Hcl,硅粉与盐酸直接反应
投资小，适合规模小的单位，技术成熟，成达院以此设计为主。
1500吨/年， 耐磨阀数量 为40-50台， 四寸价格为 10万人民币 左右。硬密 封球阀价格 为5-6万人民 币左右。
如图所示
新疆特变电工1500吨/年加1000吨/年。仪表设计：顾兴海
冶炼 硅矿石
99%浓度硅粉 H2
盘阀 混合器
Байду номын сангаас
耐磨球阀、Incology 氧化反应釜
主。
SIHCL3（三氯氢硅）提纯 H2
还原反应
硬密封球阀
Si
提纯处理 硅板99.999999%
SiCl4
可直接在市场上采购SIHCL3后进行 还原反应，进行产量扩容，新疆特 变电工就是如此，只有后端还原部
。仪表设计：杨勇。审核：顾兴海
Incology特材阀 SIHCL3（三氯氢硅）提纯 H2
还原反应
硬密封球阀
Si
提纯处理 硅板99.999999%
SiCl4