液晶玻璃基板工艺
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
反射膜基板的工芸流程
市晶霸威电子
素板Glass的清洗首先、先在外注工司对素板Glass進行清洗。
ITO膜的噴塗
接地
Glass
ITO ITO
ITO
ITO
磁体
加熱器加熱器
反射膜的噴塗
接地
Glass
Ag Ag
Ag
APC
磁体
加熱器加熱器
感光樹脂液
反射膜
ITO膜Glass基板
Glass基板
Glass基板
干版
Glass基板
UV光Glass基板
Glass基板
現像液Glass基板
Glass基板
蝕刻液Glass基板
Glass基板
Glass基板
感光樹脂剥離液Glass基板
Glass基板
反射膜基板的清洗
＋＋
清洗用的毛刷
乾燥後
間隙ITO膜的噴塗
接地
Glass
ITO ITO O2 ITO
ITO
磁体
加熱器加熱器
反射膜基板的清洗
＋＋
清洗用的毛刷
乾燥後
感光樹脂塗布・露光・現像①
Glass基板
Glass基板
Glass基板
Glass基板
干版Glass基板
UV光Glass基板
Glass基板
現像液Glass基板
Glass基板
蝕刻液Glass基板
Glass基板
Glass基板
感光樹脂剥離液Glass基板
Glass基板
電極確認
在緑灯下進行確認在鹵素灯下進行確認ガラスガラス
利用背灯進行確認
反射膜基板的清洗
＋＋
清洗用的毛刷
乾燥後
TOP膜的形成
絶縁剤＋輔助Roller
＋Anilox Roller
版銅
＋
絶縁膜
凸版
Glass基板Glass基板
UV照射
本焼成・冷却Glass基板Glass基板
反射膜基板的清洗
＋＋
清洗用的毛刷
乾燥後
配向膜的形成
配向液＋輔助Roller
＋Anoiax Roller
版銅
＋
配向膜
凸版
Glass基板Glass基板
本焼成・冷却
Glass基板
研磨
綿布
研磨Roller
研磨之後、在配向膜的表面形成
同一方向的研磨軌跡。
＋
Glass基板Glass基板
研磨後的反射膜基板的清洗
＋＋
清洗用的毛刷
乾燥後
CP印刷
刮板SP接着剤（CP導通剤）
印刷干版Glass基板
CP印刷後
EB材的散布
AIR＋静電気＋EB
反射膜基板
CF基板的工芸流程
素板Glass的清洗首先、先在外注工司対素板Glass進行清洗。
黒膜感光樹脂塗布
黒色感光樹脂液Glass基板
Glass基板
黒膜露光
UV光
干版Glass基板
Glass基板
黒膜現像
現像液
BLUE膜感光樹脂塗布
BLUE膜露光
UV光
干版
BLUE膜現像
現像液
紅膜感光樹脂塗布
紅膜露光
UV光
干版
紅膜現像
現像液
緑膜感光樹脂塗布
緑膜露光
UV光
干版
緑膜現像
現像液
OVC感光樹脂塗布
OVC露光
UV光
OVC現像
現像液
CF外観確認
在緑灯下進行確認在鹵素灯下進行確認ガラスガラス
利用背灯進行確認
CF基板的清洗
＋＋
清洗用的毛刷
乾燥後
ITO膜噴塗
接地
Glass
ITO ITO
ITO
ITO
磁体
加熱器加熱器
CF基板的清洗
＋＋
清洗用的毛刷
乾燥後
CF感光樹脂塗布・露光感光樹脂塗布
露光
CF現像・ITO蝕刻現像
ITO蝕刻