曝光工艺流程示意图

剥膜（脱膜机）
脱膜机
8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
将脱膜液喷淋到蚀刻后的产品表面， 脱膜液会将未被UV光照射的感光光阻PR溶解掉， 留下被保护的 ITO 部分， 从而形成线路
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曝光
UV灯
UV灯
掩膜版
掩ຫໍສະໝຸດ Baidu版固 定位置
曝光产品
曝光产品 固定位置
被照射部分
UV 光透过掩膜版，照射到曝光产品的感光光阻表面，掩膜版上透明的部分，UV光可以透过并照射到感 光光阻上，使光阻产生反应。掩膜版上黑色不透明的部分， UV 光无法透过，故此部分的光阻不产生反 应。 从而使掩膜版上的电路图图案，投影到涂布在 ITO 玻璃表面的感光光阻 (PR)上。
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显影
曝光后产品
显影（显影机）
被曝光部分
未被曝光部分
显影机
8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
将显影液喷淋到曝光后的产品表面， 显影液会将被UV光照射发生反应的感光光阻溶解掉，从产品表面去 除，留下未被UV光照射的部分，保留在产品表面
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玻璃盖板 Cover Lens 来料
镀ITO导电膜(镀膜机）
光阻涂布（涂布机） 烘烤
曝光
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检查 剥膜（脱膜机）
后烘烤
蚀刻（蚀刻机）
显影（显影机）
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镀膜
玻璃盖板 Cover Lens
镀ITO导电膜(镀膜机）
真空镀膜机
8486302200 制造平板显示器用物理气相沉积装置 在来料玻璃盖板表面镀一层 ITO 导电膜 (氧化铟锡) 用于导电， 如图中黄色示意部分
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涂布
镀完ITO导电膜产品
光阻涂布（涂布机）
涂布机
在镀过 ITO (氧化铟锡) 的玻璃表面均匀涂布一层感光光阻材料 (PR, 如图中蓝色示意部分)， 然后再进行烘烤
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曝光
感光光阻涂布后产品
UV灯 掩膜版
曝光产品
曝光机
8486303900 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置(制造平板显示器用的机器或装置) 将掩膜版上的电路图图案，投影到涂布在 ITO 玻璃表面的感光光阻 (PR)上
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蚀刻
显影后产品
蚀刻（蚀刻机）
未被曝光部分
蚀刻机
8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
将蚀刻液喷淋到显影后的产品表面， 蚀刻液会将未被感光光阻 PR 覆盖部分的 ITO 蚀刻掉， 留下被感 光光阻 PR 覆盖保护的部分，保留在产品表面
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剥膜
蚀刻后产品