电子显微镜S-3000N操作手册

电子显微镜S-3000N操作手册

SEM开机

请依照下列程序开启电子枪体及操作系统，我们可由以下整理齐全

的开机程序来进行开机。

(1) 开起冷却循环水，确认水流量设定在1至1.5公升/分钟

的流量，水流量计在电子枪体之左侧。

(2) 打开NFB(在配电盘上)主电源开关。

(3) 打开EVAC POWER真空系统电源开关，打开后RP会开始运

转，真空操作面板上的LOW指示灯及WAIT指示灯会亮。

(4) 将真空控制板上的EVAC/AIR按键，押至EVAC位置。

NOTICE：大概约20分钟左右WARM UP灯会熄灭，自动真空系统启动，抽至高真空时HIGH的指示灯会亮。

(5) 将DISPLAY POWER开关打开。

(6) PC进入操作系统。

(7) 上步骤(6)做完之后，下一步会进入user name及

Password，输入正确的使用者名称及密码注册后，随及进入操作

画面。

使用者名称：PC-SEM

密码：没有设定

user name和passward设完成后将OK按下即可进入(请不

要设定Administrator的密码)。

SEM样品置换

(1)请确认HV是否关掉，若无将HV OFF。在取出样品之前样品轴

五轴要归位(Tilt:0,Z轴:白点对白点,X轴:30,Y

轴:20,Rotation:随意)

(2)在关掉高压等待5-10分钟之后,将真空控制板上EVAC/AIR按

键， AIR，此时LOW的指示灯亮，真空室内进入空气，样品

室将会破真空。

(3) 等待2-3分钟,样品台与样品室有明显缝隙后,顺着样品台轨

慢慢轻柔的将样品座拉出(在等待时间内,请不要用力向外拉

样品台)。

(4) 将样品放置于样品座上面顺时针旋紧至固定牢靠,使样品的上

表面与标尺的中间刻线齐平,后把样品轻轻的放入样品台,使

样品固定环的上表面与样品固定槽座的上表面齐平。请再此

确认样品轴五轴归位.

(5) 将放置好样品的样品台，轻轻推回主体之样品室内，用手推

样品台,使样品台与样品室门压在一齐.后将EVAC/AIR之开关

切至EVAC,直到机台后马达声响起后,把手松开。

NOTICE：如果背向散射电子侦测器是在放入的位置，注意Ｚ轴(W.D)

的位置在10mm至35mm和T轴是0°，再进入样品室内。

(6) 等待高真空(High)指示灯亮起(大约3到4分钟)。

(7) 当真空计于操作屏幕上颜色出现蓝色，则HV的按键出

现于工作列上，此时可加加速电压然后操作观察影像。

导电性非导电性样品的观察

1.导电性样品可以在高真空下观察SE影像 BSE影像，

低真空下只能观察BSE影像.不会有放电现象发生

2.非导电性样品,只能在低真空进行BSE观察，在高真空情况

下,样品会发生放电现象

SE BSE影像的区别

1.SE 只能在高真空下进行观察，BSE不但可以在高真空下进

行观察,也可以在低真空下观察

2.SE 观察的是样品表面结构像,BSE观察的是样品成分像

3.SE像的分辨率比较高，容易观察；BSE像的分辨率比较

差，不易观察。

SE影像观察

1.通过Signal select按键选择信号为SE，设置好样品后，

把样品放进样品室进行抽真空

2.3分钟后真空面板上High 灯会亮,显示器上真空状态条由红

色、绿色、变成蓝色 HV出现，样品室内达到真空状态，便可操作。

3.加上高压(在HV按键上按一下，高压便会自动加上) 注意有

无发射电流存在 15KV 60-90 20KV 70-120之间(若没有请参考常见故障排除)

4.确认Movable aperture 是否在第三孔,否请拉至第三孔.

5.设置扫描模式为快扫描方式 TV1 (影像调节时跟随性较好),

把放大倍率设定在最低的位置.

6.手动调节亮度、对比度或执行亮度对比度自动调整

7.调节样品在样品室中的位置，建议调节在15mm,便于EDS分

析用，调节机械轴Z轴使其对准15位置处.(注意;制作样品时,样品的表面要和标尺的中间刻线齐平,向样品室放入样品时,一定要把样品放进样品台槽座中.要保证样品在样品室中工作距离要在15-35mm之间)

8.焦距粗调整,把SEM画面上WD设定在15左右,画面上就会有

图像出现.如若没有请参考常见没有图像解决办法

9.反复调节样品台上的X Y 机械轴,寻找样品的边缘或样品上

比较大的异物,对其进行调节焦距,增加倍率,直到能够找到

我们想要观察样品上的微颗粒为止

10.设定影像调节倍率.调节倍率要高于我们欲观察的倍率(拍照

倍率)

11.把倍率调节到影像调节倍率,轻轻调节Focus 判断有无影像

移动.有则启动Aperture alignment 窗口,选择Aperture

分别调节Movable aperture X轴Y轴使影像调节到晃动最

小或是影像呈心脏式跳动调整后关闭Aperture alignment.

12.正反两方向调节Focus 判断影像有无流动向现象.若有则有

像散存在.分别调节stigma X stigma Y 使影像达到最清晰.

13.调节Stigma X Y有无影像移动,调节若有的话,启动

Aperture alignment 调节Stigma X 有移动时在Aperture alignment窗口中选择Stig X 然后分别调节多功能面板上

X Y旋钮,使影像晃动最小调节Stigma Y 有移动时在

Aperture alignment窗口中选择Stig Y 然后分别调节多功能面板上 X Y旋钮,使影像晃动最小调整后关闭

Aperture alignment.

14.重复调节Focus,Stigma X ,Stigma Y使影像流动中间位置

或调节到最清晰的位置(可选择一个较明显边界的微小颗粒

在小画面进行调节)

15.缩小放大倍率到欲拍照的倍率,选择Slow4慢扫描模式

16.执行亮度对比度自动调整,选择Standard 截取影像

17.对截取后的影像进行保存.

18.把放大倍率降到最低,高压关掉,五轴归位

NOTICE:如果放大倍率在2K以下,11-15步骤可以忽略