EVO-18 扫描电镜操作规程
蔡司EVO18电镜技术说明
蔡司EVO18电镜技术说明钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号:EVO 18Attachment-1/24蔡司SMT目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务蔡司SMT附件一: 聚焦?CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO(里奥),更早叫Cambridge(剑桥)和Zeiss。
积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一: , 第一台静电式透射电镜 (1949), 第一台商业化扫描电镜 (1965), 第一台数字化扫描电镜(1985), 第一台场发射扫描电镜(1990), 第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992), 第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003), 第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
蔡司SMT附件二:设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息(如二次电子，背反射电子)，然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
EVO18技术说明
钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO 182009年6月3日目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围及报价附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务附件一：聚焦·CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。
积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：•第一台静电式透射电镜(1949)•第一台商业化扫描电镜(1965)•第一台数字化扫描电镜(1985)•第一台场发射扫描电镜(1990)•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。
、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。
二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。
三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。
SEM操作规程
EVO18 SEM/EDS操作流程
1.开机，开启电镜后面的空开，OFF灯亮。
（如果不亮，检查设备供
电及电源插头）
2.按下Standby，真空系统开始工作（机械泵、分子泵开始工作）（如
果机械泵声音异常或不工作，检查机械泵泵油和供电）
3.按下On，PC自动开启，进入Windows。
4.双击SmartSEM，EM Server启动，电镜开机自检，输入用户名及
密码
5.点击VENT放气，注意N2减压阀要小于0.03mpa，以保护EDS
探头，更换样品。
6.点击PUMP，等待真空达到工作状态（1.3 x 10-4mbar）
7.检查Gun选项卡，确认参数后，开启电子枪，检查灯丝像，并进
行调整。
8.选择合适的探头，进行样品观测，低倍找感兴趣区域，高倍观测，
并对图像进行调节。
9.对图像慢扫，进行保存
10.如果进行EDS分析，点击Remcon32，打开端口，并打开EDS电
脑Aztec软件，确认通讯正常。
11.调整电镜参数，抓取电镜图像，进行元素分析。
12.关闭电子枪，放气后取出样品，重新抽真空。
13.关闭EDS电脑，关闭电镜电脑，依次按下Standby、OFF，间隔
30s。
EVO18使用说明
Carl Zeiss SMT - Nano Technology Sy st e ms EVO® MA /LS 系列扫描电子显微镜使用说明ZEISS EVO® MA/LS系列扫描电子显微镜使用说明Contents目录Section 1. General Information 第一章综合信息 (1)1．Abstract 概要 (1)2. Important Information 重要信息 (2)3. Safety Precautions (Warnings and Cautions) 安全措施（警告和注意） (2)4. Notes about the Mains Supply 关于主电源的说明 (4)5. Use of Liquid Nitrogen 液氮的使用 (4)6. Do’s and Don’ts 可做和不可做 (6)Section 2. Basic design Principles of the SEM 第二章SEM 的基本设计原理 (7)1. Introduction 介绍 (7)2. Resolution. 分辨率 (8)3. Depth of field 景深 (9)4. Microanalysis. 微区分析 (10)5. Beam Specimen interactions. 电子束与样品的相互作用 (12)6. Detectors 探测器 (14)7. How it works 如何工作 (16)8. Specimen preparation guidance. 样品制备指南 (21)Section 3. Operation of the SEM 第三章SEM的操作 (25)1. Consider the properties of the specimen 样品性质的考虑 (25)2. Guide to SEM Operating Parameters SEM工作参数指南 (26)2.1 Conductive specimens 导电样品 (26)2.2 Non-conductive specimens 非导电样品 (27)2.3 Imaging wet samples using the Peltier coolstage 使用帕尔贴冷台观察含水样品 (29)3．Sequence Guide to Operation of the SEM SEM操作顺序指南 (31)Section 4. Operation of the SmartSEM®第四章SmartSEM®的使用 (32)1. Introduction (32)1.1. Intended use 预期用途 (32)1.2. About this software 关于本软件 (32)1.3. Safety instructions in this section 本部分中的安全指示 (32)2. Description 描述 (34)2.1. System requirements 系统要求 (34)2.2. Installation 安装 (34)2.3. Principle of operation (34)2.4. SmartSEM® user interface (UIF) SmartSEM®用户界面 (35)2.5. User access levels 用户访问级别 (37)3. First steps 第一步 (38)3.1. Switching on the SEM 开启SEM (38)3.2. Starting the SmartSEM® user interface 启动SmartSEM®用户界面 (39)3.3. Finding your way in the software 在软件中找到您的方式 (41)3.4. Obtaining the first image 获得第一幅图像 (46)3.5. Using the help functions (63)3.6. Closing the SmartSEM®software 关闭SmartSEM®软件 (68)4. Operation 操作 (69)4.1. Controlling the vacuum 控制真空 (69)4.2. Navigating the specimen 样品导航 (75)4.3. Setting SEM conditions 设置电镜条件 (89)4.4. Imaging 成像 (99)4.5. Annotating images 注释图像 (125)4.6. Working with recipes 用配方工作 (135)4.7. Saving and managing images 存储和管理图像 (142)4.8. Customising the SmartSEM®software 定义SmartSEM®软件 (149)5. Troubleshooting 故障处理 (162)5.1. Initialising the stage 初始化样品台 (163)5.2. Changing the joystick TV angle 改变操纵杆TV 角 (164)5.3. Resetting touch alarm (165)Section 5. Appendices 第五章附录 (166)1. Replacement of filament 更换灯丝 (166)2.Table of Pressure Limiting Apertures 压差光栏表 (170)3. An introduction to Macros 宏指令介绍 (171)4．Shortcuts 快捷键 (182)5．Annotation icons 注释栏图标说明 (184)Section 1. General Information 第一章综合信息1．Abstract 概要本使用说明向新用户介绍ZEISS EVO系列扫描电子显微镜（SEM）。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以对样品表面进行扫描，获得高清晰度、高放大倍数的图像。
下面将介绍扫描电镜的基本操作流程。
1.准备工作：a.打开电镜室门，确保电镜室的温度和湿度处于适宜范围内。
b.穿戴好实验室所需的个人防护装备，如手套、护目镜和实验服等。
c.打开电镜主机的电源，等待电镜系统启动完成。
2.样品制备：a.选择适当的样品，并将其切割成小块，大小约为2-5毫米。
b.将样品固定在样品架上，并使用导电胶固定好。
c.将样品架放入样品台的样品仓中，并调整好样品的位置。
3.调节参数：a. 调节电子束对准仪（Electron Beam Alignment）：使用电子束对准仪对电子束进行调节，使其准直，并使束斑圆形对称。
b.调节电镜放大倍数：根据样品的大小和需要的分辨率，选择合适的放大倍数。
c. 调节工作距离（Working Distance）：调节样品与电子枪的距离，以获得最清晰的图像。
4.图像获取：a. 打开电子枪（Electron Gun）和电子镜（Objective Lens），调节电子束的亮度和对比度，使图像清晰可见。
b.调节扫描线圈和透镜电流，根据需要调整图像的聚焦和深度。
c.使用电子束扫描样品表面，通过检测电子的散射信号，生成图像。
d.调整扫描速率和扫描模式，以获得更多的图像细节。
5.图像处理：a.将图像转移到计算机上，进行存储和分析。
b.使用图像处理软件对图像进行增强、增加对比度、调整亮度等操作，以改善图像质量。
c.使用测量工具对图像中的尺寸、表面形貌等进行检测和分析。
6.清洁和保养：a.使用真空泵或气体吹枪等清理系统内的灰尘和杂质，以保持显微镜的清洁。
b.对电子枪和电子镜等关键部件进行定期维护和清洁，以保证其正常运行和寿命。
以上是扫描电子显微镜的基本操作流程。
在实际操作中，还需要根据具体的样品和要求进行一些细微的调整和处理。
EVO18电镜操作培训ppt课件
2、原子序数效应： 二次电子图像中包含有与原子序数有明显的 依赖关系的背散射电子图像， 因此，二次电子 图像的衬度中也包含了原子序数引起的衬度。
背散射电子像
二次电子像
表面抛光的合金
3、电场和磁场： 电压衬度：正电位——黑区，负电位——亮 区。 不同的磁场强度分布，也可以形成衬度。 4、样品充电（荷电效应） ： 导体——不产生电荷 积累，可直接观察。 非导体——局部充 电产生过强衬度，应在 表面镀导电膜。 样品表面充电引起的过强衬度
若SEM分辨能力为10nm，人眼分辨能力 为0.2mm，则
M 有效 0.2( m m) 2 104 10( nm)
第四部分 电镜样品的处理和制备
• • • • • 样品要干燥、洁净，没有挥发性和腐蚀性 物质。 不要用裸手去接触样品和样品台，含有溶 剂的样品要充分去除溶剂。 样品导电性良好。 样品在电子束照射下稳定。 样品要牢固地固定在样品台上。
• 加灯丝电流 • 真空度达到要求后，屏幕右下角的Vac会打 上绿钩 • 点击右边的Gun，选择Beam On • 灯丝电流加载完后，Gun也会打上绿钩
• 样品定位 • 选取 stage/navigation • 双击所要观测样品桩
• 调整样品台高度 • 在TV模式下调整高度
样品台目前所在的位置 选择时，样品台在泄真 空时自动下降到最低点 选择时，SEM显示的工作 距离随样品台的Z方向移 动自动进行更性。特别是磁性粉末样品 会对电子光学系统造成危害。 • 如果是铁磁性块状样品，必须尽可能减小 样品尺寸（不大于3×3mm2)，且用导电胶牢 固地固定在样品台上。 • 样品要清洗干净，表面不能有污染。 • 表面导电性不好的样品要镀导电膜。
粉未试样
• 用溶剂或水将粉末超声分散后滴在盖玻片 上，然后将盖玻片固定在样品台上。 • 也可用碳导电胶带固定粉末，并将胶带上 表面与样品台用导电胶连通。 • 样品粘好后，用吸耳球用力将未固定牢固 的粉末吹走，以免污染电镜。 • 镀导电膜。
蔡司EVO18扫描电镜操作规程
蔡司E V O18扫描电子显微镜操作规程为保证人员安全和设备安全，扫描电镜操作人员必须经过培训并且严格按照操作规程进行操作，蔡司EVO 18扫描电镜的操作分为三大部分：一、准备工作检查实验室电源、温度和湿度等环境条件，并准备好所需实验材料；二、实验过程实验过程主要包括设备开机、待机、待机重启和关机四个部分：（一）、开机操作:1、打开墙上空气开关；2、启动UPS：打开UPS电池开关，按前面面板上ON键，至两个绿灯亮；3、按下电镜黄灯：机械泵打开，分子泵、潘宁计、离子泵顺序自动启动；4、按下绿灯：计算机自动启动；5、打开SmartSEM软件，输入用户名system以及密码；6、检查真空读数，等待几分钟至System vacuum<1.2×10-4mBar，真空就绪；7、检查灯丝设置，开启扫描电镜灯丝；8、检查灯丝像和光阑对中；9、观察样品，从低倍到高倍对样品进行观察和拍摄图片。
（二）、待机步骤：1、关闭灯丝；2、打开TV，降下样品台，注意样品台是否会碰到探头；3、关闭SmartSEM软件，包括关用户界面和EM Server；4、关闭电脑；5、关能谱控制器及能谱电脑；6、按下黄灯，电子光学系统、样品台、检测系统关闭，灯丝与真空系统继续工作。
（三）、待机重启步骤：1、按下绿灯，电脑自动启动；2、启动SmartSEM软件，输入用户名System以及密码；3、检查真空读数；4、换样或加高压观察样品。
（四）、关机步骤：1、关灯丝；2、打开TV，降下样品台；注意样品台是否会碰到探头；3、关SmartSEM软件；包括关用户界面和EM Server；4、关电脑；5、关能谱，包括能谱控制器及能谱电脑；6、按下黄灯，电子光学系统、样品台、检测系统关闭；7、按下红灯；真空系统关闭；8、必要时，关UPS；9、必要时，关总空气开关。
三、注意事项1、操作过程中一定注意样品和设备探头的工作距离，以防碰到探头；2、长时间不使用电镜时，每周至少保持抽真空两次，保持机器内真空度。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种将电子束聚焦在样品表面，通过扫描方式来获得样品高分辨率3D表面形貌和成分信息的仪器。
为了确保SEM操作的有效性和安全性，以下是SEM操作规程。
一、设备准备：1.认真阅读并了解SEM操作说明和安全规范。
2.检查SEM主机和附件是否处于正常工作状态，包括真空度、电源和冷却系统。
3.确保SEM试样台和样品夹具是干净的，无油污和灰尘。
二、样品处理：1.样品制备前，需要了解样品性质和要求，选择合适的样品制备方法。
2.对于生物样品，应优先使用冷冻切片等方法固定样品形态，以避免形变。
3. 样品尺寸应适合SEM观察，常规样品尺寸为10mm×10mm。
三、真空系统操作：1.打开SEM干净室门前，请先关闭室门内的LED灯进行暗室操作。
2.打开真空系统电源，并调节抽真空系统排气阀门，观察真空度是否达到工作要求。
若真空泄漏现象，请通知维修人员。
3.室外样品台安装完成后，请确保样品台和附件干净，并将样品固定到样品夹具上。
4.朝样品夹具上的固体样品均匀喷涂金属薄层来提高导电性。
四、SEM主机操作：1.打开SEM主机电源开关，仪器会进行自检程序，确认系统启动正常后才能进行操作。
2.将SEM控制软件打开，并加载上一次使用的配置文件，确认加热丝和工作功能正常。
3.调节电子枪电流和加速电压，以达到最佳分辨率和清晰度。
4.运用选择二级电子或回散二级电子来实现图像形成，根据具体需求调整像素率和扫描速度。
五、SEM样品观察：1.在获得清晰的样品图像之前，调整样品和悬臂梁的位置，以保证电子束准确的投射到样品表面。
2.调节电子束扫描范围、分辨率和时间，以获得高质量的SEM图像。
六、SEM样品操作结束：1.操作完成后，关闭SEM主机电源开关和控制软件。
2.关闭系统真空排气阀门，并观察真空泵的运行情况，确保真空度恢复正常。
3.清理和保养SEM主机和附件，如清除样品夹具上的残留物。
国检检测扫描电镜操作规程
国检检测电子扫描显微镜操作规程一．启动系统1、开启设备总电源开关2、启动主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。
3、在主机前面板上的EV AC真空控制面板上将钥匙转动到START位置，然后放手，系统开启。
4、等待计算机进入操作界面，按确定键启动软件。
二、安装样品1、在控制面板上按AIR按钮，系统开始放气。
2、等到放气结束电脑显示可更换样品时，带上清洁手套，测量安装在样品托上的整个样品的高度，然后打开样品室，将安装有样品的样品托放入样品室。
3、关上样品室，按EV AC键1～2秒，设备开始抽真空，约两分钟后可开始观察样品。
三、样品扫描1、待控制面板显示抽真空结束时，按操作软件左上角的ON按钮，开始加载加速电压。
2、加速电压加载完毕后，可开始扫描操作。
四、更换样品1、按操作软件左上角的OFF按钮，开始卸载加速电压。
2、按HOME键，将样品调整至最初位置。
3、按AIR键按1～2秒，样品室开始放气，待放气完毕即可开始更换样品。
五、关闭设备1、关闭设备前，要保持样品室是真空状态。
2、直接点击操作软件右上角的关闭键，关闭软件。
3、关闭电脑4、将前控制面板上的钥匙旋转至OFF位置。
5、关闭主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。
6、关闭设备总电源开关六、注意事项1、样品在放入样品室之前必须要干燥、清洁。
2、更换样品须带上清洁手套，不允许用赤裸的手握样品或样品托。
3、开关机顺序和更换样品顺序都必须按照规定步骤进行。
4、测量样品高度时，误差不得超过4mm，否则会导致镜头损坏。
七、维护保养1、一个星期对空压机进行排水，以保证空压机的性能。
2、一个星期检查压力计、压力开关和安全阀一次。
3、一个月对螺栓、螺钉、螺母的进行拧紧一次。
【VIP专享】EVO18技术说明
Attachment-1/14
6.培养学生观察、思考、对比及分析综合的能力。过程与方法1.通过观察蚯蚓教的学实难验点，线培形养动观物察和能环力节和动实物验的能主力要；特2征.通。过教对学观方察法到与的教现学象手分段析观与察讨法论、，实对验线法形、动分物组和讨环论节法动教特学征准的备概多括媒，体继课续件培、养活分蚯析蚓、、归硬纳纸、板综、合平的面思玻维璃能、力镊。子情、感烧态杯度、价水值教观1和.通过学理解的蛔1虫.过观适1、察于程3观阅 六蛔寄.内列察读 、虫生出蚯材 让标容生3根常蚓料 学本教活.了 据见身： 生，师的2、解 问的体巩鸟 总看活形作 用蛔 题线的固类 结雌动态业 手虫 自形练与 本雄学、三： 摸对 学动状习人 节蛔生结4、、收 一人 后物和同类 课虫活构请一蚯集 摸体 回并颜步关 重的动、学、蚓鸟 蚯的 答归色学系 点形教生生让在类 蚓危 问纳。习从 并状学理列学平的害 题线蚯四线人 归、意特出四生面体以形蚓、形类 纳大图点常、五观玻存 表及动的鸟请动文 本小引以见引、察璃现 ，预物身类 3学物明 节有言及的、导巩蚯上状 是防的体之生和历 课什根蚯环怎学固蚓和， 干感主是所列环史 学么据蚓节二样生练引牛鸟 燥染要否以举节揭 到不上适动、区回习导皮类 还的特分分蚯动晓 的同节于物让分答。学纸减 是方征节布蚓物起 一，课穴并学蚯课生上少 湿法。?广的教， 些体所居归在生蚓前回运的 润；4泛益学鸟色生纳.靠物完的问答动原 的4蛔，处目类 习和活环.近在成前题蚯的因 ？了虫以。标就 生体的节身其实端并蚓快及 触解寄上知同 物表内特动体结验和总利的慢我 摸蚯生适识人 学有容点物前构并后结用生一国 蚯蚓在于与类 的什，的端中思端线问活样的 蚓人飞技有 基么引进主的的考?形题环吗十 体生行能着 本特出要几变以动，境？大 节活的1密 方征本“特节化下物.让并为珍 近习会形理切 法。课生征有以问的小学引什稀 腹性态解的 。2课物。什游题主.结生出么鸟 面和起结蛔关观题体么戏：要利明蚯？类 处适哪构虫系察：的特的特用确蚓等 ，于些特适。蛔章形殊形征板，这资 是穴疾点于可虫我态结式。书生种料 光居病是寄的们结构，五小物典， 滑生？重生鸟内学构，学、结的型以 还活5要生类部习与.其习巩鸟结的爱 是如原活生结了功颜消固类构线鸟 粗形何因的存构腔能色化练适特形护 糙态预之结的，肠相是系习于点动鸟 ？、防一构现你动适否统。飞都物为结蛔。和状认物应与的行是。主构虫课生却为和”其结的与题、病本理不蛔扁的他构特环以生？8特乐虫形观部特8征境小理三页点观的动位点梳相组等、这；，哪物教相，理适为方引些2鸟，育同师.知应单面导鸟掌类结了；？生识的位学你握日构解2互.。办特生认线益特了通动手征观识形减点它过，抄；察吗动少是们理生报5蛔？物，与的解.参一了虫它和有寄主蛔与份解结们环些生要虫其。蚯构都节已生特对中爱蚓。会动经活征人培鸟与飞物灭相。类养护人吗的绝适这造兴鸟类？主或应节成趣的为要濒的课情关什特临？就危感系么征灭来害教；？；绝学，育，习使。我比学们它生可们理以更解做高养些等成什的良么两好。类卫动生物习。惯根的据重学要生意回义答；的3.情通况过，了给解出蚯课蚓课与题人。类回的答关：系线，形进动行物生和命环科节学动价环值节观动的物教一育、。根教据学蛔重虫点病1.引蛔出虫蛔适虫于这寄种生典生型活的线结形构动和物生。理二特、点设；置2.问蚯题蚓让的学生生活思习考性预和习适。于穴居生活的形态、结构、生理等方面的特征；3.线形动物和环节动物的主要特征。
扫描电镜安全操作规程
扫描电镜安全操作规程扫描电镜安全操作规程一、设备安全操作环境要求：环境温度：17℃—24℃相对湿度： < 80%场地磁场：同步：<3x10-7T异步：<1x10-7T振动：对于主动式电磁减振： <10um/s 低于30HZ<20um/s 高于30HZ噪声：小于60dBC海拔：低于3000m二、设备硬件主要由UPS 、氮气瓶、真空泵、电镜主机部分组成1. 电镜用电安全：a) 只有工程师才能对电镜的主电源，UPS 电源线和UPS 开关进行维修操作。
b) 用户负责熟悉设备保养和安装。
电镜工作所需要的高电压是有危险性的。
2. 电镜使用UPS 时：a) 开机：首先确认市电是否正常，电池开关处于闭合状态。
按面板上的开关键（3—5秒）后放开，待UPS 内部自检完毕开机。
换样品时卸至标准气压UPS 供电电镜主机供电电脑开启真空泵开启氮气瓶更换样品换好样品后抽真空软件控制真空状态b)关机：首先确认电源负载设备断掉。
按面板上的开关键（3—5秒），此时UPS处于旁路状态。
依次关闭蓄电池组开关及市电开关。
3.电镜使用氮气时：a)使用时不可将钢瓶内的气体全部用完，一定要保留0.05MPa以上的残留压力。
b)使用时要把钢瓶牢牢固定，以免摇动或翻到。
c)开关气门阀要慢慢地操作，切不可过急地或强行用力把它拧开，防止压力过大造成损伤。
4.电镜使用nXDS10i完全无油干式涡旋泵时：a)注意防止液体侵入；b)注意防止灰尘堆积；c)注意环境不当的温度波动。
5.电镜样品室开关操作：a)样品室内标准气压时可以直接开启；b)样品室内真空状态需要先开启氮气瓶准备通入氮气，在软件内选择卸压，设备允许时进行开仓操作。
EVO 18扫描电镜操作规程
EVO 18扫描电镜操作规程1、打开总电源。
2、打开UPS不间断电源的黑色主机箱后面的电源开关。
3、打开电源电池机箱的开关，再按黑色主机箱前面的电源开关。
4、打开扫描电镜主机后面的电源开关。
5、按SEM主机前面的上面中间黄色按钮，约30秒后按绿色启动按钮，开启扫描电镜。
6、双击Smart SEM图标开启SEM软件，输入用户名，用户界面打开，保留EM Server界面。
7、打开氮气开关给样品室进气，点击主界面右下方的VAC键，从弹出菜单中点击VENT放气。
8、待样品室充入氮气，缓慢打开样品门，安装样品，尽可能短时间保持样品门处于打开状态。
9、正确安装样品台后，小心关闭舱门。
关闭氮气瓶的开关。
在SEM Control面板中点击Pump按钮。
真空状态信息显示当前的真空度。
10、点击TV模式，观察样品室，使用双操纵杆移动样品台接近物镜，确保驱动样品台的过程中不要碰到物镜。
11、点击Vacuum标签，检查Vac State=Ready显示。
12、在状态栏点击Gun按钮。
从弹出菜单中选择Beam On。
电子枪启动。
此时状态栏按钮聚集到一起，All按钮出现。
13、在SEM Control面板中，点击Gun标签，设定加速电压，输入所需的加速电压值。
14、点击Detectors标签，从Detectors下拉列表中选择SE1.15、点击Scanning标签，从下拉列表中选择快扫描速度。
16、点击工具栏的Magnification/Focus图标，按住鼠标左键并拖动鼠标设置低放大倍数，例如200倍。
17、按住中建并拖动鼠标聚焦。
放大倍数和工作距离WD显示在状态栏中。
18、点击Detectors标签,使用 Brightness和Contrast滑动条，调整对比度和亮度。
19、选择样品表面的一个细节，对细节聚焦。
再次调整亮度及对比度。
20、点击状态栏中的Coarse/Fine按钮，切换至Coarse（粗调）。
21、边聚焦，边放大至高倍数，选择高倍数时，推荐使用电子束位移功能来移动样品：点击Beam Shift面板按钮。
扫描电镜操作规程
扫描电子显微镜操作规程1. 打开墙上配电箱里的空气开关（见标签上开下关）2. 打开变压器电源（正常电压应为100v）3. 打开主机电源：钥匙拧到START位置，停两秒松手，钥匙回到I位置。
4. 打开电脑电源5. 点击桌面图标，等待6. 当HT图标显示蓝色后，点VENT排气（排气时vent闪，排完气vent不闪），排完气方可打开样品室7. 正确选择Z轴高度（需要估计样品高度，Z轴大于样品高度放入样品，关闭样品台，点击EV AC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手8. 打开HT图标（此图标在非真空下是灰色，真空位蓝色，打开灯丝拍照为绿色）9. 选择扫描模式、加速电压（0.5-30KV之间选择，一般微生物类样品选10左右）、WD工作距离（10-15之间选择）、SS电子束斑（一般选30-40）10. 在SCAN2下调焦、调整对比度及亮度、调消象散（放大时照片晃动、或者样品变形、或者整体移动可点WOBBLE（一般10000倍左右调节有效果）调节光缆使照片不晃动）11. 高倍下调清晰度，低倍下拍照，拍照选择photo(曝光40秒)或者SCAN4（曝光80秒），拍完选择FREEZE并保存照片12. 拍完照后关闭灯丝，点VENT排气（排气时vent闪，排完气vent不闪），排完气方可打开样品室，取出样品台；关闭样品台，点击EV AC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手13. 依次关闭软件、电脑、主机电源、变压器、空开注意事项1.注意Z轴的距离要足够高不要让样品碰到探头2.慢慢调节光缆，防止调节过快看不到被观察物3.取、放前一定要卸真空，再抽真空4.关机的时候，要在真空状态下关机5.拍完照后要及时关闭灯丝6.请不要使用UBS接口，要拷贝数据请使用一次性光盘，光盘插入直接复制数据即可7.实验前后都要填写仪器使用登记表，实验完成后填写仪器使用记录；8.正确操作仪器，使用过程中如发现仪器出现异常情况，应及时与实验室管理人员联系；9.要求用托盘盛放药品，避免药品直接放在实验台上，实验结束及时清洁实验台，带走所有实验试剂及样品；10.仪器使用人员有义务打扫实验室卫生；11.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内实验仪器的安全；12.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内水、电安全。
EVO应用指南
第三章 结构和工作原理
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一．电镜结构
电子枪 合轴线圈 聚光镜C1 镜筒 同步扫描发生器 荧光屏 聚光镜C2 物镜光阑 扫描线圈 物镜 样品 样品室 探测器 放大器
从上结构示意图可见，左面为镜筒和样品室，右面室是成像和记录系统，两 部分是由同步扫描发生器和信号探测器连接在一起。 1．镜筒：由电子枪、两个聚光镜和一个物镜组成，包括扫描线圈和消像散器。 电子枪产生电子束，通过三个透镜把电子束聚焦在样品表面，利用“Optibeam” 控制软件提供较大束流，而聚焦电子束斑直径可以小到几个纳米，在扫描线圈作 用下，在样品表面做光栅扫描，与样品逐点发生相互作用，产生信号。 2．样品室：样品放在样品台上，可以调整在 XYZ 三个方向移动，也可以倾斜或 自转，使样品的每个部位都可以移动到电子束下，将产生的信号送入探测器。 3．探测器：装在样品室，通
第五章 操作参数的选择与调整
11
一．电子枪 1．更换新灯丝（灯丝型号 Agar A054） （1）电镜放气后，打开镜筒顶盖，拧松三个固定螺钉，取下灯丝组件。 （2）把组件分解，从栅极帽中按顺序取出调节圈、对中圈、弹簧片、固定盘和 钨灯丝，见下图。
钨灯丝Biblioteka 固定盘对中圈弹簧片
栅极帽
调节圈
（3）用抛光膏清洁固定盘表面、栅极帽内孔的黑斑，直到露出金属光泽，酒精 超声清洗这两件，在放大镜下确保内孔没有残留物。 （4）安装新灯丝，注意灯丝脚与固定盘上的两个槽口对齐，调 节四个螺钉使陶瓷座与固定盘内孔同心，调好后，拧紧四个螺 钉，见左图所示。 （5）按左图，将上述组件放入对中圈内，调整另一组四个螺钉， 使灯丝组件与对中圈同心。调好后，拧紧四个螺钉。注意固定 盘上的缺口和小孔要与对中圈上的销和槽对齐。 （6）将弹簧片放入栅极帽内，再放入上述组件，利用调节圈 锁紧，见左图。 将组件翻转，使栅极帽内孔向上，观察钨尖 是否在孔中心，可以重复上述调整步骤，使钨尖位于孔中心， 最好在体视显微镜下调整，转动栅极帽，从两个方向判断钨尖 是否调整到孔心。 （7）手持整个组件，转动调节圈，使钨尖与栅极帽大平面同高。反时针转动调 节圈 1 圈加 1/4 圈，钨尖缩入下表面 0.6mm，见下图。每次更换灯丝均要保证这 个缩入量。
EVO18扫描电镜操作培训
• 关机 • 关闭软件 • 关闭电脑 • 按下黄色按钮 • 30秒后按下红色按钮
Optibeam®
分析模式 探针电流不断改变的情况下仍可聚焦试样 视场模式
大视场预览和大景深
分辨率模式 在任何的工作距离或电压下，保证探针 电流直径是最小的 景深模式 在任何的工作距离或电压下，选择的 探针电流确保具有最大的景深 鱼眼模式 大视场预览和大景深
3、电子束在样品中的散射。
分辨率取决 于电子束的散 射范围。 二次电子： 几nm； 背散射电子 和X射线：由几 百nm至几um。
俄歇电子 二次电子 背散射电子
阴极荧光
特征 X 光线
连续 X 光线 荧光 X 光线
电子束与样品的相互作用区域
2、衬度——影响衬度的因素：
1、表面形貌（倾 斜效应）：
入射电子束 方向一定，试样表 面的凹凸决定电子 束入射角。 检测器固定 后，对试样表面各 区域产生的二次电 子收集角不同。
• 电子束斑大（也即探针电流大），景深大， 信号强，图像噪音小，但分辨率较低，样 品表面易充电。 • 电子束斑的大小取决于第一聚光镜的励磁 电流，电流数值越小，电子束斑直径越大。
工作距离的选择
工作距离（WD） 是指物镜下表面
与样品表面的距
离，WD短可以得 到较高的分辨率， WD长可以得到大 的倾斜角度和大
?打开氮气?在控制面板里点击真空vaccum标签?点放气vent?拉开舱门?把样品座安装在样品台上?关紧舱门?点击抽真空pump键?加灯丝电流?真空度达到要求后屏幕右下角的vac会打?灯丝电流加载完后gun也会打上绿钩?样品定位?选取stagenavigation?双击所要观测样品桩在tv模式下调整高度样品台目前所在的位置输入移动目的地的坐标输入移动的距离选择时样品台在泄真空时自动下降到最低点选择时sem显示的工作距离随样品台的z方向移动自动进行更改选择时不使用样品台控制器调整至所需要的放大倍数并聚焦清晰选择相应的探测器选择探头收集器偏压选择两种信号混合两种混合信号的比例调节图像的亮度调节图像对比度?图像调整的优化?点击reducedraster?在小框中进一步聚焦物镜光阑合轴?消象散?点击aperature下的stigmation拖动xy轴直至图像清晰选择endframe当扫描完毕后橙点变为红点图像静止
蔡司EVO18电镜技术说明
钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO 18目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务附件一：聚焦·CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。
积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：第一台静电式透射电镜(1949)第一台商业化扫描电镜(1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
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ZEISS EVO-18 扫描电镜操作规程
1、将控制面板灯从红色的“OFF”依次按到—黄色的“STANDBY”—
绿色的“ON”按钮。
2、打开计算机，进入“”“SmartSEM User Interface”操作系统，屏幕上会
出现一个“EM Server”状态栏，不用动等他自动运行。
然后会出现一个“用户名和密码”，选择填写用户名为“system”即可，密码没有。
这样就进入了操作软件，点击屏幕上方的“TV”模式，可以看到样品室的状态。
3、然后进行样品制备，将样品通过导电胶粘到设备标准样品台上粘牢。
样品高
度严格要求在20mm以内，同一批样品高度尽量统一，最大高度差不能超过5mm。
样品最大长度和宽度不能超过样品台直径20mm。
4、首先将氮气瓶的总阀门逆时针打开，减压阀不动，在操作软件右侧
“SEM control”界面，点击“Vaccum”按钮，再点击“Vent”进行放气，等样品室门有明显缝隙能够打开的时候，将氮气瓶总阀门顺时针关上，将样品台背面的卡槽和样品室内的卡槽对应上，装上样品台。
将样品室门关紧用手按住，同时点击“Vaccum”按钮中的“Pump”进行抽真空。
等待真空值达到“System Vaccum=3.00e-005mbar”以上。
5、然后点击“SEM control”界面内点击“Gun”按钮，选择“Beam State”下拉
框为“Beam On”将灯丝电压和电流自动升到固定值。
升好后，在“TV”模式下，将样品调到适当高度，点击“Stage Navigation”根据样品地图点击相应位置，找到想要看的样品位于中心位置。
然后再点击“TV”将切换到“SEM”
扫描模式，在“SEM control”界面内点击“Scanning”按钮，将“Noise Reducion”
下面的两个下拉框，分别选择为“End Frame”和“Line Avg”。
一般N=20，进行样品观察。
这时再看屏幕右下角的“WD”值，“WD=8.5~12mm”为最佳，如果不在这个范围，通过“TV”模式再进行调节。
6、样品观察时，有几个键务必记住，界面全屏切换“Shift+F3”；观察区域移动
至中心位置“Ctrl+Tab”；小区域聚焦框健“Reduced”；粗细调焦转换健“Tab”。
操作面板上有“放大按钮”和“调焦距”按钮需要熟练操作。
7、样品观察结束后，进行第“5”步操作，然后点击“SEM control”界面内点
击“Gun”按钮，选择“Beam State”下拉框为“Shut Down”将灯丝电压和电流自动降为零。
等几分钟后再进行第“4”步操作，将样品室放气，取样品，再抽真空。
等真空度抽到“System Vaccum=3.00e-005mbar”以上时，将软件程序退出，关闭“EM Server”状态栏。
关掉计算机。
进行能谱测试的计算机
也关机。
最后进行第“1”步操作，将控制面板灯从绿色的“ON”按钮—依次按到黄色的“STANDBY”, 再等几分钟，—按红色的“OFF”。
8、有需要对样品进行能谱测试的时候，需要在第“2”步操作时，也打开能谱计
算机，点击桌面上的“INCA”软件，输入密码为“INCA”，进入界面。
同时在扫描电镜计算机上进入“Smart SEM User Interface”操作系统时，有“Remcon 32”的对话框出现，点击绿色的对号，出现黄色字符串，代表两台机器已经连上，可以进行能谱测试了。
然后在能谱软件程序里，进行相应的分析测试。
做能谱时，要求工作距离在调好聚焦情况下在10-15mm之间，高低样品差距较大的尤其要注意高度调节。
进行能谱分析时，I-probe 数值拉动到700-800PA 即可，一定不能超过1nA。
做完能谱分析后将电流再调回扫描状态下的数值，50-100PA。