EVO-18 扫描电镜操作规程

ZEISS EVO-18 扫描电镜操作规程

1、将控制面板灯从红色的“OFF”依次按到—黄色的“STANDBY”—

绿色的“ON”按钮。

2、打开计算机，进入“”“SmartSEM User Interface”操作系统，屏幕上会

出现一个“EM Server”状态栏，不用动等他自动运行。然后会出现一个“用户名和密码”，选择填写用户名为“system”即可，密码没有。这样就进入了操作软件，点击屏幕上方的“TV”模式，可以看到样品室的状态。

3、然后进行样品制备，将样品通过导电胶粘到设备标准样品台上粘牢。样品高

度严格要求在20mm以内，同一批样品高度尽量统一，最大高度差不能超过5mm。样品最大长度和宽度不能超过样品台直径20mm。

4、首先将氮气瓶的总阀门逆时针打开，减压阀不动，在操作软件右侧

“SEM control”界面，点击“Vaccum”按钮，再点击“Vent”进行放气，等样品室门有明显缝隙能够打开的时候，将氮气瓶总阀门顺时针关上，将样品台背面的卡槽和样品室内的卡槽对应上，装上样品台。将样品室门关紧用手按住，同时点击“Vaccum”按钮中的“Pump”进行抽真空。等待真空值达到“System Vaccum=3.00e-005mbar”以上。

5、然后点击“SEM control”界面内点击“Gun”按钮，选择“Beam State”下拉

框为“Beam On”将灯丝电压和电流自动升到固定值。升好后，在“TV”模式下，将样品调到适当高度，点击“Stage Navigation”根据样品地图点击相应位置，找到想要看的样品位于中心位置。然后再点击“TV”将切换到“SEM”

扫描模式，在“SEM control”界面内点击“Scanning”按钮，将“Noise Reducion”

下面的两个下拉框，分别选择为“End Frame”和“Line Avg”。一般N=20，进行样品观察。这时再看屏幕右下角的“WD”值，“WD=8.5~12mm”为最佳，如果不在这个范围，通过“TV”模式再进行调节。

6、样品观察时，有几个键务必记住，界面全屏切换“Shift+F3”；观察区域移动

至中心位置“Ctrl+Tab”；小区域聚焦框健“Reduced”；粗细调焦转换健“Tab”。

操作面板上有“放大按钮”和“调焦距”按钮需要熟练操作。

7、样品观察结束后，进行第“5”步操作，然后点击“SEM control”界面内点

击“Gun”按钮，选择“Beam State”下拉框为“Shut Down”将灯丝电压和电流自动降为零。等几分钟后再进行第“4”步操作，将样品室放气，取样品，再抽真空。等真空度抽到“System Vaccum=3.00e-005mbar”以上时，将软件程序退出，关闭“EM Server”状态栏。关掉计算机。进行能谱测试的计算机

也关机。最后进行第“1”步操作，将控制面板灯从绿色的“ON”按钮—依次按到黄色的“STANDBY”, 再等几分钟，—按红色的“OFF”。

8、有需要对样品进行能谱测试的时候，需要在第“2”步操作时，也打开能谱计

算机，点击桌面上的“INCA”软件，输入密码为“INCA”，进入界面。同时在扫描电镜计算机上进入“Smart SEM User Interface”操作系统时，有“Remcon 32”的对话框出现，点击绿色的对号，出现黄色字符串，代表两台机器已经连上，可以进行能谱测试了。然后在能谱软件程序里，进行相应的分析测试。

做能谱时，要求工作距离在调好聚焦情况下在10-15mm之间，高低样品差距较大的尤其要注意高度调节。进行能谱分析时，I-probe 数值拉动到700-800PA 即可，一定不能超过1nA。做完能谱分析后将电流再调回扫描状态下的数值，50-100PA。