测试场效应晶体管流程

测试场效应晶体管流程：

一、基本性能：

1.源栅漏电测试—正负对调

2.漏栅漏电测试—正负对调

3.源漏两极电阻扫描,交换电极

4.转移曲线：根据初步数据改变栅极电压测试范围和数据间隔时间

5.输出曲线：根据转移曲线亚阈值区域确定栅压范围

交换源漏电极

6.转移曲线：根据初步数据改变栅极电压测试范围和数据间隔时间

7.输出曲线：根据转移曲线亚阈值区域确定栅压范围

二、性能摸索：

1.多次循环扫描,确定阈值电压和迁移率稳定性，时间间隔组

2.测试不同源漏电压下转移曲线

交换源漏电极

3.多次循环扫描,确定阈值电压和迁移率稳定性

4.测试不同源漏电压下转移曲线

测试场效应晶体管光响应流程：

同一光强场效应晶体管光响应流程：

1.暗态转移曲线：放置好探针位置，把测试门关好，静止10分钟，然后测量转移曲线。

2.亮态转移曲线：在测量完暗态转移曲线后，接下来就打开光源，测量转移曲线。

3.确定最大的光电流增益的栅电压：观察暗态转移曲线和亮态转移曲线的Log曲线，找出

光电流和暗电流差值最大的横坐标的点，这点就是最大的光电流增益的栅电压。

4.动态光响应图：测试时选择sampling模式，Timing设置（Interval：1s;#Samples:4000; Hold

Time:1s）然后定义X轴：time；y轴：Drian current. 暗态静止一段时间再测试，开始测试时保持暗态测量一点时间，等漏电流降到接近X轴后打开光源测试。

5.测试不同栅极电压的动态光响应图

6.测试不同源漏电流的动态光响应图

7.暗态输出曲线和亮态输出曲线的测量

不同光强和波长强场效应晶体管光响应流程：

1.暗态转移曲线：放置好探针位置，把测试门关好，静止10分钟，然后测量转移曲线。

2.亮态转移曲线：在测量完暗态转移曲线后，接下来就打开光源，选择不同的光强或者波

长的光测量转移曲线。

3.确定最大的光电流增益的栅电压：观察暗态转移曲线和亮态转移曲线的Log曲线，找出

光电流和暗电流差值最大的横坐标的点，这点就是最大的光电流增益的栅电压。

4.动态光响应图：测试时选择sampling模式，Timing设置（Interval：1s;#Samples:4000; Hold

Time:1s）然后定义X轴：time；y轴：Drian current. 暗态静止一段时间再测试，开始测试时保持暗态测量一点时间，等漏电流降到接近X轴后打开光源测试。选择不同的光强或者波长的光测。

5.测试不同栅极电压的动态光响应图

6.测试不同源漏电流的动态光响应图

7.暗态输出曲线和亮态输出曲线的测量