静电防护管理规范最新版

3．7 漏电 测试工具如
批、电视机、功 示波器；由于使 220V 电 进 行 供 会产生对地的漏
－ 漏电电压较低，
不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏
电电压 AC 小于 1V。
3．8 电子元器件的静电耐压
表 2 一些器件类型的静电敏感电压值
器件类型
耐静电放电电压（V）
器件类型
VMOS
30-1800
运算放电器
MOSSEFT
100-200
JEFT
PROM
100
STTL
GaAsFET
100-300
SCL
CMOS
250-2000
DTL
HMOS
50-500
肖特基二极管
E/DMOS
200-1000
双极型晶体管
ห้องสมุดไป่ตู้
ECL
300-2500
石英压电晶体器件
4 职责
负责生产过程中的静电防护；非生产物料仓库管理员负责对修理位和烧录 IC 位等使用工具，如镊 子、烧录笔，防静电支架，防静电衣帽，防静电手套，指套等来料进行 ESD 抽检，静电衣帽每次抽 检 5%，静电手套/指套每次抽检 1%，工具、支架等每次抽检 10%，抽检结果记录在《防静电物料验 收记录表》中。 4.3 工程部动力设备室负责对接地主干线的检测和维护,防静电地板表面电阻，防静电地板接地电阻的检 测，每半年一次检测；各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护； 4.4 工厂各车间日常点检、周点检工作由生产车间指定人员 (一般由各生产线多能工或车间 ESD 专员)进 行，生产线月点检由各车间/部门 ESD 专员在每月中旬进行，记录在《生产线 ESD 月点检表》中，
3．4．2 导静电体
导体一般表面电阻率≥102 Ω和＜105Ω范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向
大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。
3．5 防静电材料定义
3.5.1 根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。
静电绝缘材料：表面电阻率≥1011Ω；
静电耗散材料：表面电阻率≥105Ω和＜1011Ω；
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1 目的
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防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使 ESD 防护工作具有较强的可操作性。 2 适用范围
从静电敏感器件进货到产品形成的全过程 3 定义
3．1 静电放电（ESD） 处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。 3．2 静电敏感器件（ESDS） 在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。 3．3 静电的发生及带电 3．3．1 静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒， 由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等， 所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子， 物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种 物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。 3．3．2 静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、 剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。 3．3．2．1 接触起电：当两种物质接触时，其间距小于 2.5×10-8cm 时在其间即发生电子的转移，界面 两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷 3．3．2．2 感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷 3．3．2．3 剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电 3．3．2．4 摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移 3．3．3 静电的危害 3．3．3.1 对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人 体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的 电击。 3．3．3.2 对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性 击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓
3．6 静电发生源
3．6．1 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带
上静电。
3．6．2 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。
3．6．3 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。
表 1 常见物体的静电发生序列
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静电导电材料：表面电阻率≥102Ω和＜105Ω；
静电屏蔽材料：表面电阻率＜102Ω；
3.5.2 ESD 防护项目的表面电阻的要求
工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表
面电阻为 104 — 1010Ω；
包装材料（如：胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等）的表面电阻为：105≤R＜1011Ω。
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＋
电 放、 用 电， 电；
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
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材料 空气 人手 兔毛 玻璃 云母 头发 尼龙 羊毛 丝绸 铝 纸
序号 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22
材料 棉布 钢 木材 琥珀 硬橡胶 镍、铜 黄铜、银 聚脂人造纤维 聚乙烯 聚丙烯 聚氯乙烯
耐静电放电电压（V） 190-2500 140-1000 300-2500 680-1000 380-7000 300-3000 380-7000 <10000
4.1 工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求； 4.2 电子仓负责静电敏感器件出库前的静电防护,IQA 部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间
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慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。
3．4 绝缘体与导体
3．4.1 绝缘体
绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于 1011Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，
物体仍处于带电状态。
如：普通塑料制品、乙烯等
静电防护管理规范
文件编号： 版 本：V3.0 生效日期：2013-03-20
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版次
V0 V1 V1.1 V1.2 V1.3
V2
V2.1 1、
V2.2
V2.3
V2.4
V2.5 V2.6 V3.0
文件编号： 第 1 页
文件修订履历
C S 部 部 门
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