全氟聚醚油(PFPE)在半导体行业中的应用
半导体设备用全氟醚的原理
半导体设备用全氟醚的原理
半导体设备中使用全氟醚的主要原理是利用其良好的绝缘性能和热稳定性，以保护和改善半导体材料的性能。
主要的原理包括以下几点：
1. 绝缘性能：全氟醚具有极高的绝缘强度和低的介电常数，能有效隔离半导体之间的电荷和电场，防止电荷和电流的漏电和串扰，从而提高半导体器件的可靠性和稳定性。
2. 热稳定性：全氟醚具有很高的热稳定性，能够耐受高温环境下的热膨胀和热震荡，不会导致半导体材料断裂或损坏。
3. 化学惰性：全氟醚具有很高的化学稳定性，不易与其他物质发生反应，不会引起半导体器件的腐蚀和氧化，从而保护半导体材料的表面和内部结构。
4. 润滑性能：全氟醚具有良好的润滑性能，可以减少半导体器件中摩擦和磨损的产生，延长器件的使用寿命。
综上所述，半导体设备使用全氟醚的原理主要是通过其绝缘性能、热稳定性、化学惰性和润滑性能，保护和改善半导体材料的性能，提高器件的可靠性和稳定性。
全氟聚醚分子式
全氟聚醚分子式
摘要：
一、全氟聚醚的定义与特性
二、全氟聚醚的应用领域
三、全氟聚醚的发展趋势与前景
正文：
全氟聚醚是一种聚合物，其分子式为CnF2n+1O。
作为一种特殊的高分子材料，它具有优异的化学稳定性和热稳定性，以及良好的润滑性能。
这些特性使其在众多领域有着广泛的应用。
全氟聚醚的主要应用领域包括航空航天、电子、化工、汽车等。
在航空航天领域，全氟聚醚被用作润滑剂，以降低发动机部件间的摩擦，提高发动机效率。
在电子行业，全氟聚醚可用作绝缘材料，以保护电子设备免受环境中的湿气、腐蚀等因素的影响。
此外，在化工和汽车行业，全氟聚醚也发挥着重要作用。
近年来，随着科技的不断发展，全氟聚醚的应用领域还在不断拓展。
例如，在新能源领域，全氟聚醚被用于锂电池的电解液，以提高锂电池的能量密度和循环稳定性。
在生物医学领域，全氟聚醚被用于药物载体和高性能医疗器械。
此外，全氟聚醚还在环保领域中找到了新的应用，如用作脱硫剂、脱硝剂等。
总之，全氟聚醚因其独特的性能，在多个领域展现出广阔的应用前景。
全氟聚醚应用研究
单位代码：10359 学号： 64 密级：公开分类号：TQ050.4Hefei University of Technology 硕士学位论文MASTER’S DISSERTATION 论文题目：间隔基结构对全氟聚醚疏水疏油性能的影响学位类别：专业硕士专业名称：材料工程作者姓名：张驭导师姓名：刘春华副教授完成时间：2016年3月合肥工业大学专业硕士学位论文间隔基对全氟聚醚疏水疏油性能的影响作者姓名：张驭指导教师：刘春华副教授专业名称：材料工程（化）研究方向：高分子材料的合成与应用2016年3月A Dissertation Submitted for the Degree of Master Effect of spacer on the performance of the hydrophobic and hydrophobic property of the whole fluorine polyetherByZhang YuHefei University of TechnologyHefei, Anhui,March, 2016合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大学专业硕士学位论文质量要求。
答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）主席：委员：导师：学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。
据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的内容外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得合肥工业大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。
对本文成果做出贡献的个人和集体，本人已在论文中作了明确的说明，并表示谢意。
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全氟聚醚的制备与应用
全氟聚醚的制备与应用
清楚，详细
摘要
全氟聚醚（Perfluoroalkyl Polyethers, PFPE）是一类具有优异性
能的高分子材料，已被广泛用于工业行业、汽车行业、航空航天行业和电
子产品行业等，以其具有优异的抗腐蚀性，耐辐射性，低粘度，抗氧化性，抗油、抗抗UV、抗酸碱等的特点，可用于制备润滑油、火焰抑制剂，减
震液等高端产品。
本文首先介绍了全氟聚醚的结构及其及其特性，然后综
合介绍了全氟聚醚的制备工艺，提供了不同法子合成全氟聚醚的详细步骤，最后总结介绍了全氟聚醚在不同行业中的应用，重点介绍了全氟聚醚的润
滑油，火焰抑制剂，减震液等应用。
关键词：全氟聚醚，抗腐蚀性，润滑油，火焰抑制剂，减震液
1引言
全氟聚醚（Perfluoroalkyl Polyethers, PFPE）是以全氟烷基醚
（CF3CF2CF2O）为起始材料，利用高分子聚合反应生成的一类高分子材料，具有优异的抗腐蚀性，耐辐射性，低粘度，抗氧化性，抗油、抗抗UV、
抗酸碱等特性，可用于工业行业、汽车行业、航空航天行业和电子产品行
业等，广泛的应用于制备润滑油、火焰抑制剂，减震液等高端产品中。
2结构与性能
全氟聚醚是一种全氟烷基醚（CnF2n+1O）的高分子聚醚聚合物，通常
以氟。
全氟聚醚的制备与应用
全氟聚醚的制备与应用全氟聚醚(英文名Perfluoro Polyethers，简写为PFPE)，是一种高分子聚合物，常温下为无色、无味、透明液体，只溶于全氟有机溶剂。
PFPE具有耐热、耐氧化、耐辐射、耐腐蚀、低挥发、不燃烧等特性，以及具有可与塑料、弹性体、金属材料相容等良好的综合性能，从而成为在苛刻环境下极为可靠的润滑剂(如作为航天机械元器件的润滑剂等)，广泛应用于化工、电子、电气、机械、磁介质、核工业、航天等领域。
1 全氟聚醚的特性全氟聚醚润滑剂与烃类润滑剂相比，分子结构基本相似，但由于以更强的C-F 键代替了烃类中的C-H键，并且C-O及C-C强共价键的存在(见表1)，以及PFPE 分子中性的特点，使得PFPE具有较高的化学惰性、极高的抗氧化性、抗强腐蚀性、润滑性能好及分解温度高热稳定性和氧化稳定性及良好的化学惰性和绝缘性质，是其他润滑剂所不能比拟的。
分子量较大的PFPE还具有低挥发性、较宽的液体温度范围及优异的粘度-温度特性。
与氯氟烃类润滑剂相比，全氟聚醚润滑剂具有更广的使用温度范围，同时不存在氯氟烃类在高温下易蒸发、低温时变粘变厚的缺点，又由于其分子中不含氯因而在高负载轴承使用中不会因为润滑剂受压而对轴承产生腐蚀。
与氟硅类润滑剂相比，虽然全氟聚醚润滑剂粘度、蒸发率与氟硅润滑剂相当，但其润滑效果及化学稳定性比氟硅类润滑剂好得多。
此外，PFPE主要物理化学性质还包括：剪切稳定性、生物惰性、低表面能、良好的润滑性及与塑料、金属和人造橡胶的相容性等。
2 全氟聚醚的制备PFPE润滑剂制备是通过全氟化单体的聚合而完成的，依据所用单体和聚合方法的不同，可以分别制得K型，Y型，Z型，D型4种不同分子结构的PFPE。
第一种为K型，是六氟丙烯(HFP)氧化物在催化剂CsF的作用下聚合而形成的一系列支链聚合物，结构式为：CF3CFCF2O[CF(CF3)CF2O]nCF(CF3)COF第二种为Y型，是在紫外光的作用下将六氟丙烯通过光氧化作用而形成的聚合物，结构式为：CF3O(C3F6O-)P(-CF2O-)QCF3常用的Y型的平均分子量一般在103-104之间。
全氟聚醚单体单元
全氟聚醚单体单元【原创实用版】目录1.全氟聚醚单体单元的概述2.全氟聚醚单体单元的结构和性质3.全氟聚醚单体单元的应用领域4.全氟聚醚单体单元的发展前景正文【全氟聚醚单体单元的概述】全氟聚醚单体单元（Perfluoropolyether，简称 PFPE）是一种高性能的特种氟橡胶，具有卓越的化学稳定性、耐高温性和耐氧化性。
作为一种新型的高分子材料，全氟聚醚单体单元在航空航天、汽车制造、电子电器等多个领域有着广泛的应用。
【全氟聚醚单体单元的结构和性质】全氟聚醚单体单元是由氟、碳和氧三种元素组成的聚合物，其分子结构中氟原子占据了所有的碳 - 氧键。
这使得全氟聚醚单体单元具有优异的化学稳定性和耐高温性，可以在极端环境下保持良好的物理和力学性能。
此外，全氟聚醚单体单元还具有优良的电绝缘性、低摩擦系数和良好的耐辐射性能。
【全氟聚醚单体单元的应用领域】全氟聚醚单体单元在许多领域都有广泛的应用，主要包括以下几个方面：1.航空航天：由于全氟聚醚单体单元具有优异的耐高温性能，可用于制造航空发动机的密封件等高温部件。
2.汽车制造：全氟聚醚单体单元可用于生产汽车发动机的密封圈、油封等部件，提高汽车的性能和可靠性。
3.电子电器：全氟聚醚单体单元可用于制造电线、电缆的绝缘层和半导体器件的封装材料，提高电子电器产品的工作稳定性。
4.医疗领域：全氟聚醚单体单元具有良好的生物相容性，可用于制作人工器官、药物载体等医疗用品。
【全氟聚醚单体单元的发展前景】随着科学技术的进步和社会经济的发展，全氟聚醚单体单元在各个领域的应用将更加广泛。
同时，研究人员也在不断研究全氟聚醚单体单元的新品种和新工艺，以满足更多领域的应用需求。
全氟聚醚用途
全氟聚醚用途嘿，朋友们！今天咱来聊聊全氟聚醚这玩意儿，可别小瞧它，它的用途那可真是多得像天上的星星一样数都数不过来呢！你想想看，全氟聚醚就像是一个神奇的小精灵，在各种领域里大显身手。
比如说在机械领域吧，它就像一个忠诚的卫士，默默地守护着那些精密的仪器和设备。
它能减少摩擦，让一切运转得更加顺畅，这可不是一般的厉害呀！要是没有它，那些机器说不定哪天就“闹脾气”罢工啦！在电子行业里，全氟聚醚也有着重要的地位呢！它就像是一个贴心的小助手，为各种电子元件提供保护。
它能防水防潮，哎呀，这可太重要啦！就好像给那些娇贵的电子元件穿上了一层坚固的铠甲，让它们能在各种恶劣的环境下依然安然无恙。
再说说化工行业，全氟聚醚在这里也是个厉害的角色呀！它能帮助一些化学反应更好地进行，就像是给化学反应加了一把火，让它们燃烧得更旺。
这难道不神奇吗？还有啊，在航空航天领域，全氟聚醚那也是不可或缺的。
它能让那些在太空中翱翔的飞行器更加可靠，更加稳定。
这可不是开玩笑的，要是在太空中出了点啥问题，那可真是不得了啊！你说全氟聚醚咋就这么牛呢？它就像一个万能钥匙，能打开各种领域的大门，为我们解决各种各样的难题。
它不声不响地发挥着自己的作用，却让我们的生活变得更加美好。
咱平时可能都没怎么注意到它，但它其实一直在默默地为我们服务呢！这就好像是那些在幕后默默付出的工作人员，虽然我们可能不知道他们的名字，但没有他们可真不行啊！你说，要是没有全氟聚醚，我们的世界会变成什么样呢？那些机器会不会经常出故障？那些电子元件会不会很容易就损坏？航空航天事业会不会受到影响？想想都觉得后怕呀！所以说呀，全氟聚醚可真是个宝贝呀！我们可真得好好珍惜它，让它继续为我们的生活添彩。
它虽然不引人注目，但它的重要性却是毋庸置疑的。
咱可得好好感谢这个神奇的小精灵，让我们的生活变得如此丰富多彩！。
全氟聚醚油(PFPE)在半导体行业中的应用
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟全氟聚醚油(PFPE)在半导体行业中的应用半导体工业在硅片加工过程中，必须使用真空泵。
真空泵油通常有两种：碳氢化合物油(Hydrocarbon)与全氟聚醚油(PFPE)。
碳氢化合物油极易燃烧，化学结构不稳定，容易降解，使得润滑性能容易降低，从而导致真空泵出现故障。
尤其因频繁地更换真空泵油，包括停机维修时间的增加，而影响生产效率。
而且，碳氢化合物油的可燃性也导致安全隐患，频繁更换真空泵油，存在大量的废弃物，对于环保方面是非常不利的。
总之，许多方面均会导致运行成本的上升。
全氟聚醚油(PFPE) 分子链饱和，不含氢元素，化学性能特别稳定，抗强氧化剂，与氧相容，不可燃，耐强酸、强碱等化学物质，高温性能稳定，并具有极低的蒸发速率和良好的润滑性能。
不仅安全，且使用寿命长。
半导体工业在芯片加工过程中必须使用一些特殊的气体与某些具有毒性的强氧化剂，因而要求在工艺加工过程中广泛使用的真空泵具有非常优越的适应性，PFPE 因其优异性能而得到广泛使用。
尤其在消除火灾或爆炸的危险隐患等方面更是性能卓越。
世界著名的真空泵制造商，如莱宝(LeyBold) 爱德华(Edwards)均使用PFPE 油作为其真空泵的介质，以保证其真空设备在特殊环境中继续保持优良的性能。
因此，PFPE 是半导体工业真空泵油的最佳选择，能够完全满足半导体工业中安全性、可靠性以及环保等要求。
美国杜邦公司KRYTOXb 系列产品最初的研发是起源于航天计划，比如阿波罗登月计划的导航系统用的润滑剂，并首获成功。
随后应全世界半导体工业的需求，杜邦公司KRYTOXbVPF 系列产品得到所有主要真空泵制造商如。
2024年全氟聚醚润滑脂市场前景分析
2024年全氟聚醚润滑脂市场前景分析1. 引言全氟聚醚润滑脂是一种重要的润滑材料，具有优异的性能和广泛的应用领域。
本文将对全氟聚醚润滑脂市场的前景进行分析，包括市场规模、发展趋势、竞争态势等方面。
2. 全氟聚醚润滑脂市场概述2.1 市场定义和分类全氟聚醚润滑脂是由全氟聚醚作为基础油，添加特定添加剂调制而成的一种特殊润滑材料。
根据不同的应用领域和工况要求，全氟聚醚润滑脂可分为高温润滑脂、低温润滑脂、食品级润滑脂等多个分类。
2.2 市场发展历程全氟聚醚润滑脂作为一种创新型润滑材料，起初主要用于高端领域，如航空航天、军工等。
随着技术的不断发展和应用领域的扩大，全氟聚醚润滑脂逐渐在工业制造、汽车、电子电气等领域得到广泛应用。
3. 全氟聚醚润滑脂市场规模与趋势3.1 市场规模根据市场研究数据显示，全氟聚醚润滑脂市场在过去几年里呈现出稳定增长的态势。
其中，工业制造和汽车行业是全氟聚醚润滑脂的主要应用领域。
3.2 市场趋势随着环保意识的提高，全氟聚醚润滑脂因其优异的环境适应性和替代性而受到越来越多的关注。
同时，在特殊工况下，对润滑脂性能的要求也越来越高，这将驱动全氟聚醚润滑脂市场的进一步发展。
4. 全氟聚醚润滑脂市场竞争态势4.1 主要厂商及产品全氟聚醚润滑脂市场存在较多的厂商竞争，主要包括A公司、B公司、C公司等多家知名企业。
这些企业通过不断创新、技术提升和产品优化来争夺市场份额。
4.2 竞争策略为了在激烈的市场竞争中脱颖而出，全氟聚醚润滑脂企业不断加强研发投入，提升产品质量和性能。
同时，企业还积极拓展市场渠道，加强营销推广，提高品牌知名度和影响力。
5. 全氟聚醚润滑脂市场发展机遇与挑战5.1 机遇全氟聚醚润滑脂具有优异的耐高温、耐腐蚀、抗磨损等特性，适用于各种复杂工况下的润滑需求。
随着工业制造、汽车、航天等领域的快速发展，全氟聚醚润滑脂市场将迎来更广阔的机遇。
5.2 挑战全氟聚醚润滑脂市场面临着一些挑战，包括技术门槛、市场竞争、成本压力等。
全氟聚醚油用途
全氟聚醚油用途
全氟聚醚油是一种具有广泛用途的特殊润滑剂，它的独特性能使其在多个领域发挥着重要作用。
全氟聚醚油在航空航天领域扮演着不可或缺的角色。
由于其出色的耐高温性能和化学稳定性，它被广泛应用于航空发动机润滑系统中。
全氟聚醚油能够在极端的高温环境下保持较低的粘度，确保发动机的正常运行。
同时，它还能有效抵御腐蚀和氧化，延长发动机寿命。
此外，在航天器的轴承、传动装置和阀门等关键部位，全氟聚醚油也能提供可靠的润滑保护。
全氟聚醚油在电子领域也有着广泛的应用。
在半导体制造过程中，全氟聚醚油被用作光刻胶的成膜剂，它能够在高温条件下形成均匀的薄膜，保证光刻胶的质量和成像效果。
此外，全氟聚醚油还广泛用于半导体设备的真空泵、润滑脂和密封材料中，确保设备的高效运行和长寿命。
全氟聚醚油在化工、医药、食品加工和纺织等行业也有着重要的应用。
在化工领域，全氟聚醚油常被用作有机合成反应的催化剂和溶剂，在催化剂表面形成稳定的薄膜，提高反应效率和选择性。
在医药领域，全氟聚醚油可用于制备药物微球和药物载体，提高药物的稳定性和生物利用度。
在食品加工过程中，全氟聚醚油可用作食品添加剂的润滑剂和防粘剂，提高生产效率和产品质量。
在纺织业中，全氟聚醚油常用于纺织机械的润滑和维护，保证纺织生产的顺利进
行。
全氟聚醚油的用途十分广泛，涉及到航空航天、电子、化工、医药、食品加工和纺织等多个领域。
它的独特性能和稳定性使其成为这些领域中不可或缺的功能性材料。
随着科技的不断进步和创新，相信全氟聚醚油在更多领域中会有更广阔的应用前景。
全氟辛基乙烯用途
全氟辛基乙烯用途咱今儿个就来唠唠这个“全氟辛基乙烯用途”，你别看这名字拗口，实际上这玩意儿可有意思了。
你想想，这个全氟辛基乙烯，简称PFVE，听着像不像咱小时候玩的“变形金刚”？这东西一听名字就知道是个化学品，但它可不是那种一听就头大的化学方程式，它可是个绝缘高手，简直就是电子的“防护服”！我记得那会儿，我有个朋友在化工厂上班，他一回家就跟我说：“哥们儿，我今天见到一个神奇的东西，硬得像铁，耐高温又不怕酸碱，简直就是化学界的‘金刚盾’！”我当时就好奇了，问他是什么，他说就是这个PFVE。
这全氟辛基乙烯主要用在哪里呢？首先，咱们先说说电线电缆。
你想想，电线电缆这玩意儿，里头电流那叫一个狂暴，稍不留神就可能出大乱子。
PFVE就像是给电线穿上了一层无敌的“武士铠甲”，保证电流乖乖听话，不敢轻举妄动。
还有个用途，咱得说说半导体行业。
你知道的，半导体那可是现代科技的“心脏”，一个小小的芯片就决定了手机、电脑的性能。
这PFVE就像是芯片的“保镖”，保护它不受外界干扰。
有一次我听一个工程师说：“这PFVE就像是芯片的‘安全气囊’，一有问题，它立马撑起来，保护芯片不受伤。
”再说说化工设备吧。
化工设备里头那可是化学反应的“战场”，温度高，压力大，化学物质多得像小山一样堆着。
PFVE在这儿就成了“防弹衣”，让设备在各种恶劣环境下还能安然无恙。
有一次我去参观一个化工厂，厂长指着一个大罐子说：“这罐子里的化学品那叫一个猛，换了别人早就烧穿了，但这PFVE一上，稳得像泰山！”还有个用途是医疗器械。
你想想，医疗器械那可是救命的东西，不能有一点点马虎。
PFVE在这儿就像是医生的“手术刀”，精准无误，保证病人安全。
有一次我听一个医生说：“这PFVE就像是病人的‘护身符’，一用上，病人就有了双重保障。
”当然了，PFVE还有很多其他用途，比如说在航空航天领域，它就像是火箭的“防护罩”，保护火箭在高空飞行时不被外界环境所伤。
有一次我碰到一个航空工程师，他说：“这PFVE就像是火箭的‘隐形衣’，让火箭在太空中也能安然无恙。
全氟聚醚 工作温度
全氟聚醚工作温度
全氟聚醚是一种高性能材料，广泛应用于高温、高压、化学腐蚀等极端环境下的工业领域。
其工作温度因材料型号和用途而异，一般可分为以下几类：
1. 热稳定型全氟聚醚：工作温度范围为-60℃至260℃，适用于高温环境下的密封、隔热、润滑等领域。
2. 耐化学腐蚀型全氟聚醚：工作温度范围为-50℃至200℃，具有优异的耐酸碱、耐腐蚀性能，适用于化工、医药、电子等领域。
3. 耐辐射型全氟聚醚：工作温度范围为-200℃至260℃，具有
极高的抗辐射性能，适用于核电、天文、半导体等领域。
总之，全氟聚醚的工作温度高度依赖于其化学结构、分子量、加工工艺等因素，不同型号的全氟聚醚有着不同的适用范围和温度限制。
选择合适的全氟聚醚材料应根据具体使用环境和要求进行综合考虑。
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全氟聚醚油(PFPE)在半导体行业中的应用
时间:2009-05-05 来源:杜邦中国集团有限公司北京办事处编辑:许蔓秋
半导体工业在硅片加工过程中，必须使用真空泵。
真空泵油通常有两种：碳氢化合物油(Hydrocarbon)与全氟聚醚油(PFPE)。
碳氢化合物油极易燃烧，化学结构不稳定，容易降解，使得润滑性能容易降低，从而导致真空泵出现故障。
尤其因频繁地更换真空泵油，包括停机维修时间的增加，而影响生产效率。
而且，碳氢化合物油的可燃性也导致安全隐患，频繁更换真空泵油，存在大量的废弃物，对于环保方面是非常不利的。
总之，许多方面均会导致运行成本的上升。
全氟聚醚油(PFPE) 分子链饱和，不含氢元素，化学性能特别稳定，抗强氧化剂，与氧相容，不可燃，耐强酸、强碱等化学物质，高温性能稳定，并具有极低的蒸发速率和良好的润滑性能。
不仅安全，且使用寿命长。
半导体工业在芯片加工过程中必须使用一些特殊的气体与某些具有毒性的强氧化剂，因而要求在工艺加工过程中广泛使用的真空泵具有非常优越的适应性，PFPE因其优异性能而得到广泛使用。
尤其在消除火灾或爆炸的危险隐患等方面更是性能卓越。
世界著名的真空泵制造商，如莱宝(LeyBold) 爱德华(Edwards)均使用PFPE 油作为其真空泵的介质，以保证其真空设备在特殊环境中继续保持优良的性能。
因此，PFPE 是半导体工业真空泵油的最佳选择，能够完全满足半导体工业中安全性、可靠性以及环保等要求。
美国杜邦公司KRYTOXb系列产品最初的研发是起源于航天计划，比如阿波罗登月计划的导航系统用的润滑剂，并首获成功。
随后应全世界半导体工业的需求，杜邦公司KRYTOXbVPF 系列产品得到所有主要真空泵制造商如LeyBold,Edwards，Ebara 等的认可，均符合或超过所有主要泵制造商有关品质担保的要求。
杜邦KRYTOXb具体性能如下：
◆ 化学稳定性：KRYTOXbVPF 化学性能非常稳定，耐强酸,包括极强的路易氏酸，耐强碱。
性能非常稳定，与接触的任何特种气体如氟气，SiH4 等，强腐蚀性物质，强氧化剂，还原剂等均不发生反应；
◆ 不燃烧性：KRYTOXb分子结构中不含氢元素，耐氧化，不会燃烧，无闪点，无燃点，可避免任何火灾的隐患，达到半导体行业安全性的要求；
◆ 热稳定性：极低的蒸发率和降解率，能够避免任何残留物的形成而影响半导体工业中反应室的纯净度及高真空度的维持；
◆ 卓越的润滑性能：尤其在比较宽的操作温度范围，在高负载，高压强的情况下，KRYTOXb均具有良好的润滑性能，能够减少磨耗，尤其对于真空泵及压缩机等设备维持优良的运行性能等等非常重要；
◆ 粘度和蒸气指标稳定可靠: 能够保持极低的回流率，从而能够持续地保证系统的高真空度。
综上所述，杜邦全氟聚醚产品-KRYTOXb VPF真空泵油完全能够满足半导体工业的要求，尤其是针对半导体芯片加工过程中如刻蚀剂和沉淀过程中所面临的特殊气体，强腐蚀性化学物质，均能保证其操作的安全与可靠。